附件1
　　■
　　附件2
　　■2023-026）。
　　2024年1月4日，公司召开2024年第一次临时股东大会，审议通过了《关于使用超募资金增加募投项目投资规模的议案》。
　　（三）前次募集资金项目的实际投资总额与承诺的差异内容和原因说明
　　公司前次募集资金项目的实际投资总额与承诺的差异内容详见本报告“附表1：前次募集资金使用情况对照表”。
　　“高端半导体质量控制设备产业化项目”的差异主要原因系项目处于建设期，募集资金将继续用于实施承诺项目所致；“研发中心升级建设项目”、“补充流动资金”差异主要原因系将累计收到的理财收益和银行存款利息扣除银行手续费的净额投入募投项目所致。
　　（四）前次募集资金投资项目对外转让或置换情况说明
　　1、募投项目和发行费用先期投入及置换情况
　　截至2023年5月31日止，公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用的实际投资额为13,422.23万元，符合条件可以使用募集资金置换的金额为13,422.23万元。公司于2023年6月14日分别召开了第一届董事会第二十四次会议和第一届监事会第二十次会议，分别审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入募投项目及支付发行费用的自筹资金的议案》，同意公司使用募集资金13,422.23万元置换预先投入募投项目及支付发行费用的自筹资金。上述置换事项及置换金额业经天职国际会计师事务所（特殊普通合伙）审验，并出具了“天职业字[2023]34265号”《以募集资金置换预先投入募投项目及已支付发行费用自筹资金的专项鉴证报告》。具体内容详见公司于2023年6月16日披露于上海证券交易所网站（http://www.sse.com.cn）的《中科飞测关于使用募集资金置换预先投入募投项目及支付发行费用的自筹资金的公告》（公告编号：2023-006）。截至2024年12月31日止，上述募集资金已于募集资金到位后6个月内全部置换完毕。
　　2、使用自有资金、银行信贷资金等支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换的情况
　　公司于2023年10月26日召开了第一届董事会第二十七次会议和第一届监事会第二十三次会议，审议通过了《关于使用自有资金、银行信贷资金等支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换的议案》，同意公司在募集资金投资项目（以下简称“募投项目”）实施期间，使用自有资金、银行信贷资金等支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换。具体内容详见公司于2023年10月27日披露于上海证券交易所网站（http://www.sse.com.cn）的《中科飞测关于使用自有资金、银行信贷资金等支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换的公告》（公告编号：2023-018）。截至2024年12月31日止，公司涉及使用自有资金、银行信贷资金等支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换的金额为22,823.80万元。
　　（五）闲置募集资金情况说明
　　1、公司使用闲置募集资金的情况
　　公司于2023年6月14日分别召开了第一届董事会第二十四次会议和第一届监事会第二十次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金（含超募资金）及自有资金进行现金管理的议案》。同意公司在确保不影响募集资金投资项目建设和募集资金使用，并有效控制风险的前提下，使用不超过人民币140,000万元（含本数）的闲置募集资金（含超募资金）进行现金管理，可用于购买安全性高、流动性好的投资产品，使用期限不超过董事会审议通过之日起12个月，在上述额度和期限内，资金可循环滚动使用。具体内容详见公司于2023年6月16日披露于上海证券交易所网站（http://www.sse.com.cn）的《中科飞测关于使用部分闲置募集资金及自有资金进行现金管理的公告》（公告编号：2023-004）。
　　公司于2024年6月4日分别召开了第二届董事会第五次会议和第二届监事会第五次会议，分别审议通过了《关于使用部分闲置募集资金（含超募资金）及自有资金进行现金管理的议案》，同意公司在确保不影响募集资金投资项目建设和募集资金使用，并有效控制风险的前提下，使用不超过人民币80,000万元（含本数）的闲置募集资金（含超募资金）进行现金管理，可用于购买安全性高、流动性好的投资产品，使用期限不超过董事会审议通过之日起12个月，在上述额度和期限内，资金可循环滚动使用。具体内容详见公司于2024年6月5日披露于上海证券交易所网站（http://www.sse.com.cn）的《深圳中科飞测科技股份有限公司关于使用部分闲置募集资金及自有资金进行现金管理的公告》（公告编号：2024-027）。
　　截至2024年12月31日止，公司使用部分闲置募集资金进行现金管理余额为13,000.00万元，具体情况如下：
　　单位：万元
　　■
　　2、公司尚未使用募集资金情况
　　截至2024年12月31日止，公司募集资金未使用金额为45,687.44万元（其中包含募集资金利息收入扣减手续费净额及理财收益2,839.11万元），尚未使用募集资金占前次募集资金净额的26.90%，未使用完毕的原因主要系根据项目建设及资金支付进度，尚未使用完毕，剩余资金将按计划继续用于募集资金项目。
　　（六）前次募集资金使用的其他情况
　　1、使用部分超募资金永久补充流动资金和偿还银行贷款情况
　　2023年6月14日，公司召开第一届董事会第二十四次会议、第一届监事会第二十次会议，审议通过了《关于使用部分超募资金永久补充流动资金和偿还银行贷款的议案》，同意公司使用人民币20,500.00万元的超募资金永久补充流动资金和偿还银行贷款，占超募资金总额69,838.66万元的比例为29.35%。具体内容详见公司于2023年6月16日披露于上海证券交易所网站（http://www.sse.com.cn）的《中科飞测关于使用部分超募资金永久补充流动资金和偿还银行贷款的公告》（公告编号：2023-003）。
　　2023年7月3日，公司召开2023年第二次临时股东大会，审议通过了《关于使用部分超募资金永久补充流动资金和偿还银行贷款的议案》。
　　2024年6月4日，公司召开第二届董事会第五次会议、第二届监事会第五次会议，审议通过了《关于使用部分超募资金永久补充流动资金和偿还银行贷款的议案》，同意公司使用部分超额募集资金总计人民币19,307.74万元（截至2024年5月31日账户余额，含账户利息及现金管理收益等，实际金额以资金转出当日计算利息收入后的剩余金额为准）用于永久补充流动资金和偿还银行贷款，此金额占超募资金总额（69,838.66万元）比例为27.65%。具体内容详见公司于2024年6月5日披露于上海证券交易所网站（http://www.sse.com.cn）的《中科飞测关于使用部分超募资金永久补充流动资金和偿还银行贷款的公告》（公告编号：2024-028）。
　　2024年6月25日，公司召开2023年年度股东大会，审议通过了《关于使用部分超募资金永久补充流动资金和偿还银行贷款的议案》。
　　截至2024年12月31日，公司涉及用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款的金额为40,204.65万元。
　　2、使用募集资金向子公司实缴注册资本和提供借款以实施募投项目情况
　　2023年6月14日，公司召开第一届董事会第二十四次会议、第一届监事会第二十次会议，审议通过了《关于使用募集资金向子公司实缴注册资本和提供借款以实施募投项目的议案》，同意公司使用募集资金10,600.00万元向全资子公司广州中科飞测实缴注册资本并提供20,200.00万元借款以实施“高端半导体质量控制设备产业化项目”。根据项目实施需要逐步拨付（借款不计息），借款期限为实际借款之日起3年，借款资金可滚动使用，也可提前偿还。到期后，如双方均无异议，该笔借款可自动续期。具体内容详见公司于2023年6月16日披露于上海证券交易所网站（http://www.sse.com.cn）的《中科飞测关于使用募集资金向子公司实缴注册资本和提供借款以实施募投项目的公告》（公告编号：2023-005）。
　　2024年6月4日，公司召开第二届董事会第五次会议、第二届监事会第五次会议，审议通过了《关于使用部分募集资金向全资子公司提供借款以实施募投项目的议案》，同意公司根据募投项目的建设安排及实际资金需求情况，在不超过募投项目“高端半导体质量控制设备产业化项目”拟投入募集资金金额的情况下，公司拟通过提供借款的方式将募集资金划转至该募投项目实施主体所开设的募集资金专用账户，即公司的全资子公司广州中科飞测科技有限公司（以下简称“广州中科飞测”）的募集资金专用账户，并授权公司管理层负责借款手续办理以及后续的管理工作。前述借款不计利息，借款期限为实际借款之日起3年，借款资金可滚动使用，也可提前偿还；到期后，如双方均无异议借款可自动续期。具体内容详见公司于2024年6月5日披露于上海证券交易所网站（http://www.sse.com.cn）的《中科飞测关于使用部分募集资金向全资子公司提供借款以实施募投项目的公告》（公告编号：2024-029）。
　　截至2024年12月31日止，公司使用募集资金向广州中科飞测提供借款14,700.00万元，使用募集资金向广州中科飞测实缴注册资本为10,600.00万元。
　　三、前次募集资金投资项目实现效益情况说明
　　（一）前次募集资金投资项目实现效益情况对照表
　　前次募集资金投资项目实现效益情况对照表详见本报告附件2。对照表中实现效益的计算口径、计算方法与承诺效益的计算口径、计算方法一致。
　　（二）前次募集资金投资项目无法单独核算效益的情况说明
　　“研发中心升级建设项目”不直接产生经济效益，该项目建设完成后，公司研发实力和创新能力将得到提升，为公司前沿技术的开发提供技术支撑，增强公司整体的盈利能力和核心竞争力，其所实现的效益体现在公司的整体业绩中，因此无法单独核算效益情况。
　　“补充流动资金项目”不直接产生经济效益，该项目所实现的效益体现在公司的整体业绩中，因此无法单独核算效益情况。
　　（三）募集资金投资项目的累计实现的收益低于承诺的累计收益说明
　　不适用。
　　四、前次发行涉及以资产认购股份的资产运行情况说明
　　前次募集资金不涉及以资产认购股份的情况。
　　五、前次募集资金实际使用情况与已公开披露信息对照情况说明
　　前次募集资金实际使用情况不存在与已公开披露信息有差异的情形。
　　附件：
　　1、前次募集资金使用情况对照表
　　2、前次募集资金投资项目实现效益情况对照表
　　深圳中科飞测科技股份有限公司董事会
　　2025年4月4日
　　附件1:
　　前次募集资金使用情况对照表
　　截至2024年12月31日
　　编制单位：深圳中科飞测科技股份有限公司 金额单位：人民币万元
　　■
　　注：高端半导体质量控制设备产业化项目：公司于2023年12月15日召开第一届董事会第二十八次会议、第一届监事会第二十四次会议，审议通过了《关于使用超募资金增加募投项目投资规模的议案》，同意公司使用超募资金30,877.70万元增加“高端半导体质量控制设备产业化项目”投资规模，募集资金投入金额由30,800.00万元增加至61,677.70万元。具体内容详见公司于2023年12月16日披露于上海证券交易所网站（http://www.sse.com.cn）的《中科飞测关于使用超募资金增加募投项目投资规模的公告》（公告编号：2023-026）。
　　附件2
　　前次募集资金投资项目实现效益情况对照表
　　截至2024年12月31日
　　编制单位：深圳中科飞测科技股份有限公司 金额单位：人民币万元
　　■
　　证券代码：688361 证券简称：中科飞测 公告编号：2025-019
　　深圳中科飞测科技股份有限公司关于2024年年度
　　募集资金存放与实际使用情况的专项报告
　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
　　按照中国证监会《上市公司监管指引第2号一一上市公司募集资金管理和使用的监管要求（2022年修订）》、上海证券交易所颁布的《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一一规范运作》及相关格式指引的要求，现将公司2024年年度募集资金存放与实际使用情况报告如下：
　　一、募集资金基本情况