本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　重要内容提示：

　　●  本次股票上市类型为股权激励股份；股票认购方式为网下，上市股数为1,232,247股。

　　本次股票上市流通总数为1,232,247股。

　　●  本次股票上市流通日期为2024年6月25日。

　　根据中国证监会、上海证券交易所、中国证券登记结算有限责任公司上海分公司有关业务规则的规定，中微半导体设备（上海）股份有限公司本公司于2024年6月20日收到中国证券登记结算有限责任公司上海分公司出具的《证券变更登记证明》，公司于2024年6月19日完成了2022年限制性股票激励计划第二个归属期及2023年限制性股票激励计划第一个归属期的股份登记工作。现将有关情况公告如下：

　　一、本次限制性股票归属的决策程序及相关信息披露

　　（一）2022年限制性股票激励计划

　　（1）2022年3月9日，公司召开第二届董事会第三次会议，会议审议通过了《关于公司〈2022年限制性股票激励计划（草案）〉及其摘要的议案》、《关于公司〈2022年限制性股票激励计划实施考核管理办法〉的议案》以及《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》等议案。公司独立董事就激励计划相关议案发表了独立意见。

　　同日，公司召开第二届监事会第二次会议，审议通过了《关于公司〈2022年限制性股票激励计划（草案）〉及其摘要的议案》、《关于公司〈2022年限制性股票激励计划实施考核管理办法〉的议案》、《关于核实公司〈2022年限制性股票激励计划激励对象名单〉的议案》，公司监事会对本激励计划的相关事项进行核实并出具了相关核查意见。

　　（2）2022年3月10日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《关于独立董事公开征集委托投票权的公告》（公告编号：2022-008），根据公司其他独立董事的委托，独立董事Chen,Shimin（陈世敏）先生作为征集人就2022年第二次临时股东大会审议的公司2022年限制性股票激励计划相关议案向公司全体股东征集投票权。

　　（3）2022年3月9日至2022年3月18日，公司对本激励计划拟激励对象的姓名和职务在公司内部进行了公示。在公示期内，公司监事会未收到与本激励计划激励对象有关的任何异议。2022年3月19日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《监事会关于公司2022年限制性股票激励计划激励对象名单的公示情况说明及核查意见》（公告编号：2022-010）。

　　（4）2022年3月25日，公司召开2022年第二次临时股东大会，审议并通过了《关于公司〈2022年限制性股票激励计划（草案）〉及其摘要的议案》、《关于公司〈2022年限制性股票激励计划实施考核管理办法〉的议案》、《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》。

　　（5）2022年3月26日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露《关于公司2022年限制性股票激励计划内幕信息知情人买卖公司股票情况的自查报告》（公告编号：2022-012）。

　　（6）2022年3月29日，公司召开第二届董事会第四次会议与第二届监事会第三次会议，审议通过了《关于向激励对象授予限制性股票的议案》。公司独立董事对前述事项发表了独立意见，监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。

　　（7）2023年3月31日，公司召开第二届董事会第十二次会议和第二届监事会第十次会议，审议通过了《关于作废处理2022年限制性股票激励计划部分限制性股票的议案》、《关于公司2022年限制性股票激励计划第一个归属期符合归属条件的议案》。公司独立董事对前述事项发表了独立意见，监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。

　　（8）2023年10月26日，公司召开第二届董事会第十七次会议、第二届监事会第十五次会议，审议通过了《关于调整公司2020年、2022年及2023年限制性股票激励计划授予价格的议案》。公司独立董事对相关事项发表了独立意见。

　　（9）2024年3月27日，公司召开第二届董事会第二十一次会议和第二届监事会第十八次会议，审议通过了《关于作废处理2022年限制性股票激励计划部分限制性股票的议案》、《关于公司2022年限制性股票激励计划第二个归属期符合归属条件的议案》。监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。

　　（10）2024年6月12日，公司召开第二届董事会第二十四次会议和第二届监事会第二十一次会议，审议通过了《关于调整公司2020年、2022年、2023年及2024年限制性股票激励计划相关事项的议案》。监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。

　　（二）2023年限制性股票激励计划

　　（1）2023年3月30日，公司召开第二届董事会第十一次会议，会议审议通过了《关于公司〈2023年限制性股票激励计划（草案）〉及其摘要的议案》《关于公司〈2023年限制性股票激励计划实施考核管理办法〉的议案》以及《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》等议案。公司独立董事就激励计划相关议案发表了独立意见。

　　同日，公司召开第二届监事会第九次会议，审议通过了《关于公司〈2023年限制性股票激励计划（草案）〉及其摘要的议案》《关于公司〈2023年限制性股票激励计划实施考核管理办法〉的议案》《关于核实公司〈2023年限制性股票激励计划激励对象名单〉的议案》，公司监事会对本激励计划的相关事项进行核实并出具了相关核查意见。

　　（2）2023年3月31日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《关于独立董事公开征集委托投票权的公告》（公告编号：2023-017），根据公司其他独立董事的委托，独立董事陈世敏先生作为征集人就2022年年度股东大会审议的公司2023年限制性股票激励计划相关议案向公司全体股东征集投票权。

　　（3）2023年4月4日至2023年4月13日，公司对本激励计划拟激励对象的姓名和职务在公司内部进行了公示。在公示期内，公司监事会未收到与本激励计划激励对象有关的任何异议。2023年4月14日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《监事会关于公司2023年限制性股票激励计划激励对象名单的公示情况说明及核查意见》。

　　（4）2023年4月20日，公司召开2022年年度股东大会，审议并通过了《关于公司〈2023年限制性股票激励计划（草案）〉及其摘要的议案》《关于公司〈2023年限制性股票激励计划实施考核管理办法〉的议案》《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》。

　　（5）2023年4月21日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露《关于公司2023年限制性股票激励计划内幕信息知情人买卖公司股票情况的自查报告》。

　　（6）2023年6月12日，公司召开第二届董事会第十五次会议与第二届监事会第十三次会议，审议通过了《关于调整公司2023年限制性股票激励计划相关事项的议案》《关于向2023年限制性股票激励计划激励对象授予限制性股票的议案》。公司独立董事对前述事项发表了独立意见，监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。

　　（7）2023年10月26日，公司召开第二届董事会第十七次会议、第二届监事会第十五次会议，审议通过了《关于调整公司2020年、2022年及2023年限制性股票激励计划授予价格的议案》。公司独立董事对相关事项发表了独立意见。

　　（8）2024年6月12日，公司召开第二届董事会第二十四次会议和第二届监事会第二十一次会议，审议通过了《关于调整公司2020年、2022年、2023年及2024年限制性股票激励计划相关事项的议案》《关于作废处理2023年限制性股票激励计划部分限制性股票的议案》《关于公司2023年限制性股票激励计划第一个归属期符合归属条件的议案》。监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。

　　二、本次限制性股票归属的基本情况

　　（一）归属数量：1,232,247股。

　　（二）归属人数：1278人。

　　（三）股票来源：公司向激励对象定向发行公司A股普通股股票。

　　（四）本次归属的股份情况：

　　1、2022年限制性股票激励计划

　　■

　　2、2023年限制性股票激励计划

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　　三、本次限制性股票归属股票的上市流通安排及股本变动情况

　　（一）本次归属股票的上市流通日：2024年6月25日

　　（二）本次归属股票的上市流通数量：1,232,247股

　　（三）董事和高级管理人员本次归属股票的限售和转让限制

　　本次归属限制性股票的激励对象中未涉及公司董事、高级管理人员。

　　（四）本次股本变动情况

　　单位：股

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　　由于本次限制性股票归属后，公司股本总数由620,073,253股增加至621,305,500股。本次归属未导致公司控制权发生变更。

　　四、验资及股份登记情况

　　立信会计师事务所（特殊普通合伙）于2024年6月12日出具了《中微半导体设备（上海）股份有限公司验资报告》（信会师报字[2024]第 ZK10355号）对公司2022年限制性股票激励计划第二个归属期及2023年限制性股票激励计划第一个归属期满足归属条件的激励对象出资情况进行了审验。

　　经审验，截至2024年6月5日止，公司收到1名股权激励对象认购2022年限制性股票13,565.00股,每股49.50元，实际收到限制性股票激励对象缴纳的认购款人民币 679,992.62元。

　　经审验，截至2024年6月5日止，公司收到1,277名股权激励对象认购2023年限制性股票1,218,682.00股，每股49.50元，实际收到限制性股票激励对象缴纳的认购款人民币60,394,158.60元。

　　2024年6月19日，公司2022年限制性股票激励计划第二个归属期及2023年限制性股票激励计划第一个归属期的股份登记手续已完成，中国证券登记结算有限责任公司上海分公司出具了《证券变更登记证明》。

　　五、本次归属后新增股份对最近一期财务报告的影响

　　根据公司2024年第一季度报告，公司2024年第一季度实现归属于上市公司股东的净利润249,135,780.57元，公司2024年第一季度基本每股收益为0.40元/股；本次归属后，以归属后总股本621,305,500股为基数计算，在归属于上市公司股东的净利润不变的情况下，公司2024年第一季度基本每股收益将相应摊薄。

　　本次归属的限制性股票数量为1,232,247股，约占归属前公司总股本的比例约为0.199%，对公司最近一期财务状况和经营成果均不构成重大影响。

　　特此公告。

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会

　　2024年6月21日