本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
　　重要内容提示：
　　公司董事会及董事、高级管理人员保证季度报告内容的真实、准确、完整，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。
　　公司负责人、主管会计工作负责人及会计机构负责人（会计主管人员）保证季度报告中财务信息的真实、准确、完整。
　　第三季度财务报表是否经审计
　　□是 √否
　　一、主要财务数据
　　（一）主要会计数据和财务指标
　　单位：元 币种：人民币
　　■
　　注：“本报告期”指本季度初至本季度末3个月期间，下同。
　　本报告期，公司实现营业收入67,304.17万元，同比增长34.73%，环比增长23.50%；年初至本报告期末，公司实现营业收入161,405.94万元，同比增长34.31%，主要得益于公司在突破核心技术、推进产业化及迭代升级各系列产品的过程中取得重要成果，在核心技术、客户资源、产品覆盖广度及深度等方面的综合竞争优势进一步增强，明场纳米图形晶圆缺陷检测设备、暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备、高深宽比刻蚀结构量测设备等各系列新产品，第四代无图形晶圆缺陷检测设备、第三代套刻精度量测设备等现有系列升级迭代产品，以及先进制程收入贡献增长，推动公司订单规模及营收规模持续增长。
　　本报告期，公司实现归属于上市公司股东的净利润3,230.70万元，同比增长783.70%，环比扭亏为盈，主要系规模效应逐步显现，以及先进制程收入贡献提升带动综合毛利率同环比改善，推动公司在保持高研发投入的情况下，盈利水平有较大幅度改善。年初至报告期末，公司实现归属于上市公司股东的净亏损9,513.07万元，亏损幅度较上半年收窄。随着新产品以及现有系列升级迭代产品逐步验证通过，收入贡献不断增长，公司未来经营规模及盈利能力持续向好。
　　（二）非经常性损益项目和金额
　　√适用 □不适用
　　单位：元 币种：人民币
　　■
　　对公司将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第1号一一非经常性损益》未列举的项目认定为非经常性损益项目且金额重大的，以及将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第1号一一非经常性损益》中列举的非经常性损益项目界定为经常性损益的项目，应说明原因。
　　□适用 √不适用
　　（三）主要会计数据、财务指标发生变动的情况、原因
　　√适用 □不适用
　　■
　　二、股东信息
　　（一）普通股股东总数和表决权恢复的优先股股东数量及前十名股东持股情况表单位：股
　　■
　　持股5%以上股东、前10名股东及前10名无限售流通股股东参与转融通业务出借股份情况
　　□适用 √不适用
　　前10名股东及前10名无限售流通股股东因转融通出借/归还原因导致较上期发生变化
　　□适用 √不适用
　　三、其他提醒事项
　　需提醒投资者关注的关于公司报告期经营情况的其他重要信息
　　□适用 √不适用
　　四、季度财务报表
　　（一）审计意见类型
　　□适用 √不适用
　　（二）财务报表
　　合并资产负债表
　　2026年9月30日
　　编制单位：深圳中科飞测科技股份有限公司
　　单位：元 币种：人民币审计类型：未经审计
　　■
　　公司负责人：陈鲁主管会计工作负责人：周凡女会计机构负责人：周凡女
　　合并利润表
　　2026年1一9月
　　编制单位：深圳中科飞测科技股份有限公司
　　单位：元 币种：人民币审计类型：未经审计
　　■
　　■
　　本期发生同一控制下企业合并的，被合并方在合并前实现的净利润为：0.00元, 上期被合并方实现的净利润为： 0.00 元。
　　公司负责人：陈鲁主管会计工作负责人：周凡女会计机构负责人：周凡女
　　合并现金流量表
　　2026年1一9月
　　编制单位：深圳中科飞测科技股份有限公司
　　单位：元 币种：人民币审计类型：未经审计
　　■
　　公司负责人：陈鲁主管会计工作负责人：周凡女会计机构负责人：周凡女
　　（三）2026年起首次执行新会计准则或准则解释等涉及调整首次执行当年年初的财务报表
　　□适用 √不适用
　　特此公告。
　　深圳中科飞测科技股份有限公司董事会
　　2026年10月29日
　　证券代码：688361 证券简称：中科飞测 公告编号：2026-039
　　深圳中科飞测科技股份有限公司
　　关于日常关联交易的公告
　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
　　重要内容提示：
　　● 是否需要提交股东会审议：否
　　● 日常关联交易对上市公司的影响：本次深圳中科飞测科技股份有限公司（以下简称“公司”）与关联方发生的日常关联交易是基于公司业务发展及生产经营需要，均由交易双方根据自愿、平等、互利的原则进行，定价公允，不存在损害公司及股东利益，特别是中小股东利益的情形，不会对关联方形成依赖，不会对公司主要业务的独立性造成影响。
　　● 风险提示：本次日常关联交易是基于公司自身战略发展的需要和行业前景综合考虑，但未来可能面临市场需求、行业政策、经营管理、宏观经济等不确定因素的影响，敬请广大投资者注意投资风险。
　　一、日常关联交易基本情况
　　（一）已履行的审议程序
　　1、审计委员会审议意见
　　公司于2026年10月28日召开第二届董事会审计委员会第十五次会议，审议通过了《关于日常关联交易的议案》，董事会审计委员会认为：该交易事项系基于公司业务发展需要而发生的交易，交易根据自愿、平等、互利、公允的原则进行。公司主要业务不会因此对关联方形成依赖，不影响公司的独立性，不存在损害公司和股东利益的情形。
　　2、独立董事专门会议的审议意见
　　公司于2026年10月29日召开第二届董事会2026年第二次独立董事专门会议，审议通过了《关于日常关联交易的议案》，并形成以下意见：该交易主要为满足公司日常生产运营的需要，以公司正常经营业务为基础，交易遵循了客观、公平、公允的原则，关联交易的定价公允、合理，不会对公司独立性及规范运作产生不利影响，不存在损害公司及非关联股东利益的情形，同意将该议案提交董事会审议。
　　3、董事会审议情况和关联董事回避情况
　　公司于2026年10月29日召开第二届董事会第二十三次会议，审议通过了《关于日常关联交易的议案》。关联董事进行了回避表决，非关联董事一致表决通过。
　　4、本议案无需提交股东会审议。
　　（二）本次日常关联交易金额
　　公司拟与关联客户2签署一份销售商品的合同，合同金额为1,500.00万元。
　　至本次关联交易为止，过去12个月内（自关联关系形成之日起算）公司与同一关联人或与不同关联人进行的同一交易类别相关的关联交易金额未达到公司最近一期经审计总资产或市值1%以上。根据《上海证券交易所科创板股票上市规则》（以下简称“《科创板上市规则》”），本次议案无需提交股东会审议。本次关联交易不构成重大资产重组。
　　二、关联人基本情况和关联关系
　　根据《科创板上市规则》的相关规定，本次交易对方关联客户2与公司构成关联关系，为公司关联法人，上述交易构成关联交易。鉴于上述关联交易涉及内容属于公司商业秘密，公司根据《科创板上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一一规范运作》等法律法规及公司《信息披露暂缓与豁免业务管理制度》的有关规定，履行了信息豁免披露内部登记及审批程序，公司对本次关联交易的关联方基本情况和关联关系进行豁免披露。
　　关联方依法存续经营，双方交易能正常结算，前期合同往来执行情况良好，具备良好履约能力。公司将就上述交易与相关方签署相关合同或协议并严格按照约定执行，双方履约具有法律保障。
　　三、关联交易的定价情况
　　公司基于业务发展的需要向关联方销售商品，关联交易的定价遵循平等、自愿、等价、有偿的原则，有关协议或合同所确定的条款是公允的、合理的，关联交易的价格依据市场定价原则确定。
　　四、日常关联交易主要内容
　　（一）拟签订关联交易协议的主要内容
　　交易双方：关联客户2（甲方）、深圳中科飞测科技股份有限公司（乙方）
　　交易金额：合同金额为1,500.00万元。
　　支付方式：甲方按照合同约定进度向乙方支付费用。
　　生效时间：双方签字盖章之日起生效。
　　违约责任：按合同约定承担违约责任。
　　（二）关联交易协议签署情况
　　经董事会审议通过后，公司将根据业务开展情况与关联方签署具体的交易合同或协议。
　　五、日常关联交易目的和对上市公司的影响
　　公司与上述关联方的日常交易遵循平等、自愿、等价、有偿的原则，定价客观、合理、公允，上述关联交易是公司的正常业务，有利于公司经营业务的发展，不存在损害本公司及全体股东利益的情形，不会对公司独立性造成影响，公司的主要业务也不会因此类交易而对关联方形成依赖。
　　六、保荐人核查意见
　　经核查，保荐人认为：
　　公司本次日常关联交易事项已经公司独立董事专门会议和董事会审议通过，关联董事已回避表决，董事会审计委员会已就本次交易发表审核意见。本次日常关联交易事项无需提交股东会审议。公司上述关联交易的决策程序符合《科创板股票上市规则》《公司章程》等相关规定。公司上述关联交易为开展日常经营活动所需，交易定价遵循市场定价原则，不存在损害公司及全体股东利益，特别是中小股东利益的情形，不会对公司独立性产生不利影响，公司亦不会因此类交易而对关联方产生依赖。
　　综上，保荐人对中科飞测本次日常关联交易事项无异议。
　　七、上网公告文件
　　《国泰海通证券股份有限公司关于深圳中科飞测科技股份有限公司日常关联交易的核查意见》。
　　特此公告。
　　深圳中科飞测科技股份有限公司董事会
　　2026年10月30日
　　证券代码：688361 证券简称：中科飞测 公告编号：2026-038
　　深圳中科飞测科技股份有限公司
　　关于变更公司注册资本、修订《公司章程》并办理
　　工商变更登记、修订公司内部管理制度的公告
　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
　　深圳中科飞测科技股份有限公司（以下简称“公司”）于2026年10月29日召开第二届董事会第二十三次会议，审议通过了《关于变更公司注册资本、修订〈公司章程〉并办理工商变更登记的议案》《关于修订〈董事会秘书工作细则〉的议案》。具体情况如下：
　　一、公司注册资本变更的相关情况
　　2026年7月7日，公司已在中国证券登记结算有限责任公司上海分公司完成2024年限制性股票激励计划首次授予部分第二个归属期及预留授予部分第一个归属期的股份登记工作。本次限制性股票归属股份数量为1,888,434股，本次归属完成后，公司股份总数由350,163,237股变更为352,051,671股，注册资本由350,163,237元变更为352,051,671元。具体内容详见公司于2026年7月9日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《深圳中科飞测科技股份有限公司关于2024年限制性股票激励计划首次授予部分第二个归属期及预留授予部分第一个归属期归属结果暨股份上市的公告》（公告编号：2026-029）。
　　二、修订《公司章程》部分条款的相关情况
　　根据《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《上市公司章程指引》等法律、法规及规范性文件的规定，结合公司本次注册资本变更的实际情况，公司对《深圳中科飞测科技股份有限公司章程》（以下简称“《公司章程》”）相关条款修订如下：
　　■
　　除上述条款修订外，《公司章程》中其他条款不变。上述变更以市场监督管理部门最终核准的内容为准。
　　此议案尚需提交公司股东会审议，公司董事会提请股东会授权公司管理层或其授权代表办理工商变更登记、章程备案等相关事宜。
　　修订后的《公司章程》全文已于同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露。
　　三、修订公司内部管理制度情况
　　为进一步完善公司内部管理制度，提高公司治理水平，切实保护公司和股东的合法权益，根据《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上市公司董事会秘书监管规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一一规范运作》等相关法律、法规、规范性文件以及《公司章程》的规定，结合公司实际经营发展需要，公司对《董事会秘书工作细则》进行修订。该制度已经公司第二届董事会第二十三次会议审议通过，无需提交股东会审议。
　　特此公告。
　　深圳中科飞测科技股份有限公司董事会
　　2026年10月30日
　　证券代码：688361 证券简称：中科飞测 公告编号：2026-040
　　深圳中科飞测科技股份有限公司
　　关于2026年前三季度计提资产减值准备的公告
　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
　　一、计提减值准备的情况概述
　　深圳中科飞测科技股份有限公司（以下简称“公司”）根据《企业会计准则第8号一一资产减值》《企业会计准则第22号一一金融工具确认和计量》（以下合称“《企业会计准则》”）和相关会计政策的规定，结合公司的实际情况，为客观、公允地反映公司截至2026年9月30日的财务状况和2026年1-9月的经营成果，公司对截至2026年9月30日合并范围内存在减值迹象的资产进行了减值测试并计提了相应的减值准备，2026年1-9月公司确认计提的信用减值损失及资产减值损失共计人民币84,415,530.48元，具体情况如下：
　　单位：人民币元
　　■
　　二、计提减值准备事项的具体说明
　　（一）信用减值损失
　　公司以预期信用损失为基础，对应收账款、其他应收款及应收款项融资进行了减值测试。经测试，本次需计提信用减值损失金额共计17,083,461.02元。
　　（二）资产减值损失
　　公司以预期信用损失为基础，对合同资产进行了减值测试。对存货资产，在资产负债表日，存货成本高于其可变现净值的，计提存货跌价准备。经测试，本次需计提的资产减值损失金额合计67,332,069.46元。
　　三、本次计提减值准备对公司的影响
　　2026年1-9月，公司计提信用减值损失和资产减值损失合计84,415,530.48元，对报表利润总额影响数为84,415,530.48元（合并利润总额未计算所得税影响）。本次计提信用减值损失和资产减值损失数据未经审计，最终以会计师事务所年度审计确认的金额为准。
　　四、其他说明
　　本次计提减值准备符合《企业会计准则》及公司会计政策的相关规定，能够真实、客观地反映公司截至2026年9月30日的财务状况和2026年1-9月的经营成果，符合相关法律法规的规定和公司实际情况，不会影响公司的正常经营。敬请广大投资者注意投资风险。
　　特此公告。
　　深圳中科飞测科技股份有限公司董事会
　　2026年10月30日
　　证券代码：688361 证券简称：中科飞测 公告编号：2026-037
　　深圳中科飞测科技股份有限公司
　　关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的公告
　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
　　重要内容提示：
　　深圳中科飞测科技股份有限公司（以下简称“公司”）于2026年10月29日召开了第二届董事会第二十三次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用不超过人民币130,000万元（含本数）的2024年度向特定对象发行A股股票闲置募集资金进行现金管理，使用期限不超过董事会审议通过之日起12个月，在上述额度和期限内，资金可循环滚动使用。现将具体情况公告如下：
　　一、募集资金基本情况
　　根据中国证券监督管理委员会于2025年8月4日出具的《关于同意深圳中科飞测科技股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可〔2025〕1640号），公司2024年度向特定对象发行A股股票28,571,428股，发行价格87.50元/股，募集资金总额为人民币250,000.00万元，扣除各项发行费用（不含增值税）人民币1,923.26万元后，实际募集资金净额为人民币248,076.74万元。上述募集资金到位情况已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）审验，并出具容诚验字[2025]518Z0128号《验资报告》。
　　为规范公司募集资金管理和使用、保护投资者权益，公司设立了募集资金专项账户，并与保荐机构、存放募集资金的商业银行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》《募集资金专户存储四方监管协议》。募集资金到账后，已全部存放于经公司董事会批准开设的募集资金专项账户内。
　　二、募集资金投资项目情况
　　根据《深圳中科飞测科技股份有限公司向特定对象发行股票证券募集说明书（注册稿）》及实际募集资金净额情况，本次发行的募集资金扣除发行费用后，将用于投入以下项目：
　　单位：万元
　　■
　　注：关于调整后拟使用募集资金投资金额的相关内容详见公司于2025年10月31日披露在上海证券交易所网站的《深圳中科飞测科技股份有限公司关于调整募集资金投资项目拟投入募集资金金额的公告》。
　　目前，公司正按照募集资金使用计划，有序推进募集资金投资项目的进展。因募集资金投资项目的建设需要一定的周期，根据募集资金投资项目的实际建设进度，现阶段募集资金在短期内出现部分闲置的情况。在不影响募集资金投资项目建设需要，且不影响公司正常生产经营及确保资金安全的情况下，公司将合理利用暂时闲置募集资金进行现金管理，提高募集资金使用效率。
　　三、本次使用部分闲置募集资金进行现金管理的基本情况
　　1.投资目的
　　为提高资金使用效益、增加股东回报，在确保不影响募集资金投资项目建设和募集资金使用，并有效控制风险的前提下，公司拟使用部分暂时闲置的募集资金进行现金管理，以更好地实现公司现金的保值增值，保障公司股东的利益。
　　2.投资额度和期限
　　根据公司募集资金投资项目建设整体实施计划和资金使用规划，结合公司募集资金使用和管理的实际情况，公司拟使用不超过人民币130,000万元（含本数）的闲置募集资金进行现金管理，使用期限不超过董事会审议通过之日起12个月，在上述额度和期限内，资金可循环滚动使用。暂时闲置募集资金现金管理到期后将及时归还至募集资金专户。
　　3.投资产品品种及资金来源
　　公司将按照相关规定严格控制风险，拟使用部分闲置募集资金用于购买安全性高、满足保本要求、流动性好、期限不超过12个月的产品，包括但不限于结构性存款、定期存款、通知存款、大额存单等，且该等现金管理产品不得用于质押。产品专用结算账户（如适用）不得用于存放非募集资金或用作其他用途，不用于以证券投资为目的的投资行为。
　　4.实施方式
　　董事会同意公司在上述额度范围内授权董事长行使该项投资决策权、签署相关合同文件等事宜，具体事项由公司财务部负责组织实施，包括但不限于：选择合格的专业金融机构、明确现金管理的金额和期间、选择现金管理产品的品种、签署合同及协议等。
　　5.信息披露
　　公司将依据中国证券监督管理委员会、上海证券交易所的相关规定，及时履行信息披露义务，不会变相改变募集资金用途。
　　6.现金管理收益的分配
　　公司使用部分闲置募集资金进行现金管理的所得收益将归公司所有，并严格按照中国证券监督管理委员会及上海证券交易所关于募集资金监管措施的要求管理和使用资金，现金管理产品到期后将归还至募集资金专户。
　　四、现金管理的风险及其控制措施
　　（一）投资风险
　　1、虽然投资产品都经过严格的评估，但金融市场受宏观经济的影响较大，不排除该项投资受到市场波动的影响。
　　2、公司将根据经济形势以及金融市场的变化适时适量的介入，因此短期投资的实际收益不可预期。
　　3、相关工作人员的操作和监控风险。
　　（二）针对投资风险拟采取的措施
　　1、公司将严格按照《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一一规范运作》等相关法律法规以及《公司章程》《深圳中科飞测科技股份有限公司募集资金管理和使用办法》的有关规定办理相关现金管理业务。
　　2、公司财务部将及时与银行核对账户余额，做好财务核算工作，及时分析和跟踪理财产品投向，在上述理财产品投资期间，与相关金融机构保持密切联系，及时跟踪理财资金的运作情况，加强风险控制和监督，严格控制资金的安全。一旦发现存在可能影响公司资金安全的风险因素将及时采取保全措施，控制投资风险。
　　3、公司审计委员会、独立董事有权对资金使用情况进行监督与检查，必要时可以聘请专业机构进行审计。
　　4、公司将严格根据法律法规及上海证券交易所规范性文件的有关规定，及时履行信息披露义务。
　　五、对公司日常经营的影响
　　公司将严格按照《企业会计准则第22号一一金融工具确认和计量》等有关规定对公司购买的理财产品进行核算。公司基于规范运作、防范风险、谨慎投资、保值增值的原则，使用部分闲置募集资金进行现金管理，是在确保不影响募集资金投资项目建设、不影响公司正常运营及确保资金安全的情况下进行的，不会影响公司日常经营和募集资金项目建设的正常开展，不存在变相改变募集资金用途的情况。通过适度现金管理，可以有效提高资金使用效率，获得一定的投资效益，为公司和股东谋取更多的投资回报。
　　六、履行的决策程序
　　公司于2026年10月29日召开了第二届董事会第二十三次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用不超过人民币130,000万元（含本数）的2024年度向特定对象发行A股股票闲置募集资金进行现金管理，使用期限不超过董事会审议通过之日起12个月，在上述额度和期限内，资金可循环滚动使用。
　　七、专项意见说明
　　（一）审计委员会意见
　　公司审计委员会认为：在保障募集资金安全的前提下，公司拟使用部分闲置募集资金进行现金管理，符合《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一一规范运作》等相关规定及《深圳中科飞测科技股份有限公司募集资金管理和使用办法》的规定，有利于提高闲置募集资金的存放收益。公司使用部分闲置募集资金进行现金管理没有与募集资金投资项目的实施计划相抵触，不会影响募集资金投资项目建设和募集资金正常使用，符合公司和全体股东的利益，不存在损害公司及全体股东，特别是中小股东的利益的情形。
　　（二）保荐人核查意见
　　经核查，保荐人认为：
　　公司本次拟使用闲置募集资金进行现金管理事项已经公司董事会审议通过，履行了必要的审批程序，符合《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一一规范运作》等有关规定。公司使用部分暂时闲置募集资金进行现金管理，不会影响上市公司募集资金投资项目的正常实施，不存在变相改变募集资金用途的行为，有利于提高资金使用效率，符合公司和全体股东的利益。
　　综上，保荐人对公司本次使用部分闲置募集资金进行现金管理事项无异议。
　　八、上网公告文件
　　《国泰海通证券股份有限公司关于深圳中科飞测科技股份有限公司使用部分闲置募集资金进行现金管理的核查意见》。
　　特此公告。
　　深圳中科飞测科技股份有限公司董事会
　　2026年10月30日
　　证券代码：688361 证券简称：中科飞测