本公司董事会、全体董事及相关股东保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
　　重要内容提示：
　　● 董事、高级管理人员持股的基本情况
　　本次股份减持计划实施前，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”、“公司”）董事长、总经理尹志尧先生直接持有公司股份4,022,536股，占公司总股本的0.6397%；公司董事、副总经理丛海先生直接持有公司股份44,013股，占公司总股本的0.0070%；公司董事、副总经理陶珩先生直接持有公司股份23,376股，占公司总股本的0.0037%；公司副总经理靳巨先生直接持有公司股份25,000股，占公司总股本的0.0040%；公司财务负责人、副总经理陈伟文先生直接持有公司股份403,775股，占公司总股本的0.0642%；公司原副总经理何奕先生直接持有公司股份60,000股，占公司总股本的0.0095%；公司副总经理姜银鑫先生直接持有公司股份14,176股，占公司总股本的0.0023%。
　　● 减持计划的实施结果情况
　　公司于2026年5月23日披露了《董事、高级管理人员减持股份计划公告》，上述主体分别出具《减持意向书》，因股权激励行权资金及缴税资金需要，上述减持主体计划自本公告披露之日起15个交易日后的3个月内，在符合法律法规规定的减持前提下，通过集中竞价等方式减持公司股份。
　　公司于2026年5月23日披露了《2025年年度权益分派实施公告》，公司以实施权益分派股权登记日的总股本为基数，以资本公积金向全体股东每股转增0.49股。公司总股本从628,840,931股增加至936,972,987股，上述减持主体的减持股份数量进行了相应调整。
　　截至本公告日，本次减持计划时间区间届满。
　　一、减持主体减持前基本情况
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　　上述减持主体无一致行动人。
　　二、减持计划的实施结果
　　（一）董高因以下事项披露减持计划实施结果：
　　披露的减持时间区间届满
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　　注：因公司实施2025年年度利润分配及资本公积金转增股本方案、部分限制性股票激励计划归属的股票上市，上述减持主体的持股数量进行了相应调整。具体内容详见公司在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《中微公司：2025年年度权益分派实施公告》（公告编号：2026-052）、《中微公司：关于2023、2024、2025年限制性股票激励计划归属结果暨股份上市的公告》（公告编号：2026-065）。
　　（二）本次减持是否遵守相关法律法规、本所业务规则的规定√是 □否
　　（三）本次实际减持情况与此前披露的减持计划、承诺是否一致√是 □否
　　（四）减持时间区间届满，是否未实施减持□未实施 √已实施
　　（五）实际减持是否未达到减持计划最低减持数量（比例）□未达到 √已达到
　　（六）是否提前终止减持计划□是 √否
　　（七）是否存在违反减持计划或其他承诺的情况□是 √否
　　特此公告。
　　中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会
　　2026年9月12日