● 本报记者 吴科任
　　
　　从2001年启动干式真空泵开发，历经20余年的投入与迭代，中科仪才走到国内半导体干式真空泵头部位置，填补国内诸多技术空白，磨炼成补链强链路上的“尖兵”。
　　中科仪自带钻研基因，其前身于1958年建立，是中国科学院直属事业单位，2001年成立公司、完成转制。中科仪始终秉持长期主义精神，企业文化薪火相传，用东北人不服输的韧劲，甘坐十年冷板凳，锚定科研前沿，死磕工艺参数，打磨设备性能。
　　从青丝熬成白发，中科仪董事长郭东民还有更大愿景。近日，郭东民在接受中国证券报记者专访时展望了他的新发展蓝图：以半导体干式真空泵为核心基本盘，巩固国内细分龙头地位，并同步拓展光伏、锂电、科研领域第二增长曲线；打造国内领先的真空装备一体化平台型专精特新企业，全力支撑国内半导体全产业链自主可控。
　　比拼长期技术积累
　　“我已相伴中科仪近40载，之所以能耐住长期冷板凳，核心支撑来自三层信念：对产业刚需的底层判断，自主可控的产业使命，以及企业长期主义的发展理念。”郭东民表示。
　　干式真空泵（干泵）是芯片制造刻蚀、沉积等工序必备的核心部件。郭东民说：“彼时，国内全部依赖海外进口。而且，海外设备定价高、售后周期长、核心技术完全封锁，国内晶圆厂面临成本、供应链安全双重压力。”
　　真空仪器属于精密装备，无法短期速成。“中科仪不追求短期快速盈利，坚持用营收持续反哺研发。高端装备比拼的是长期技术积累，短期浮躁扩张只会透支技术根基，沉下心迭代产品、打磨工艺才是生存根本。”
　　近年来，中科仪多年技术储备加速落地。公司干式真空泵迅速覆盖半导体全制程规格，腐蚀、颗粒、真空度、稳定性等核心指标达到量产标准，进入国内各大头部晶圆、封测企业供应链，实现从样品验证到批量稳定供货的跨越。
　　财务数据的变化更为直观：中科仪营业收入从2018年的2.19亿元增至2025年的12.91亿元，年均复合增长率为28.86%；归母净利润从949.11万元增至8.44亿元，年均复合增长率为89.86%。
　　不盲目全品类扩张
　　观察国际半导体设备大公司的发展历程，要么像ASML深耕单一赛道，要么像应用材料不断扩展产品线、做成平台。迈向新发展阶段，中科仪又将采取哪一条路径角逐？郭东民的答案是：深耕真空主赛道，适度相关多元化，不盲目全品类扩张。
　　最近几年，部分国内设备企业走向平台化发展，郭东民向记者表示。
　　把长板锻造得更长，是郭东民认为的“最优解”。“干式真空泵作为半导体真空核心产品是公司的基本盘，要持续深耕，做到全规格、全制程覆盖，夯实细分行业龙头地位。我们不会盲目并购、研发和真空技术无关的半导体类设备，避免资源分散、研发精力被稀释。”
　　虽然拒绝无关联跨界，但中科仪会考虑围绕真空技术同源赛道做延伸，打造真空细分小平台。拓展光伏、锂电、科研真空领域干泵的应用，同时依托现有真空技术、客户资源实现协同，形成“Sub fab一站式服务”的产品矩阵。Sub fab全称为“Sub-Fabrication”，是半导体工厂中为工艺设备提供支持的基础设施集合，包括真空系统、尾气治理、电力质量治理等。
　　稳步拓展海外市场
　　正视差距，迎头追赶。“国外龙头在3nm、5nm先进制程的应用上，具有丰富的工艺应用经验，并积累了大量的技术应用数据。在这方面，我们仍存在应用量不足和经验欠缺的差距。”郭东民判断，依托国内集成电路技术发展趋势，干泵在14nm-7nm先进制程配套设备领域，预计1至3年全面追平。
　　加大基础技术、核心零部件的预研投入，已成为中科仪追赶国际一线的核心动作。郭东民介绍，公司计划联合国内技术前沿的高校和研究所，设立未来技术研发中心，用于前沿技术、核心零部件的预研开发，持续支撑公司的技术迭代、产品迭代，走在真空干泵技术的前沿。同时，公司希望扩大与国内先进制程晶圆厂的联合研发，依托产线真实工况积累海量数据，持续提升产品工艺适应能力。
　　多维度综合实力的提升，将与技术追赶同步推进。“十五五”期间，中科仪力争面板、光伏、锂电、工业和科研领域用真空设备业务成为公司第二大收入支柱，减少半导体行业周期波动对企业的影响，并进一步扩大营收规模；构建自主可控供应链；设立海外销售与服务分支机构，完成海外晶圆厂资质认证，稳步提升海外营收占比；持续用好北交所资本市场工具，通过定增、产业链并购等方式完善产品布局。
　　信心源于信念传承。“多年来，一代代科研人员、技术工人、经营管理层接续奋斗，从未中断真空技术的传承。”郭东民说，“正是这种薪火相传、精益求精、不服输的匠人精神，让我们在无人看好的岁月里，一步步完成从0到1、从样机到批量生产的跨越。”