本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
　　一、募集资金基本情况
　　中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”或“公司”）发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金已获得中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）证监许可〔2026〕1147号文同意注册批复，同意公司发行股份募集配套资金不超过15亿元的注册申请。
　　公司本次募集配套资金发行股份5,156,765股，每股发行价人民币290.88元，募集资金总额为人民币1,499,999,803.20元，扣除本次发行费用（不含增值税）人民币10,118,562.20元后，募集资金净额为人民币1,489,881,241.00元。上述资金到位情况已经由普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）审验，并出具了《验资报告》（普华永道中天验字（2026）第0016号）。
　　二、募集资金专户的开立及募集资金监管协议签订情况
　　经公司2025年年度股东会授权，公司于2026年6月3日召开了第三届董事会第十三次会议，审议通过了《关于开立募集资金专户并签订募集资金专户监管协议的议案》，同意公司及控股子公司拟开立募集资金专户，用于募集资金的集中存放、管理和使用，并与独立财务顾问、开户银行签订募集资金专户存储监管协议等相关文件。同时，授权公司总经理、财务负责人及其授权人士，全权负责办理本次募集配套资金涉及的募集资金专用账户开立事宜，包括但不限于办理开户手续、与相关开户银行及独立财务顾问签署募集资金监管协议等，并根据实际需要采取一切必要行动、履行全部法定及约定程序与手续。
　　为规范募集资金管理，切实保护投资者权益，根据《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一一规范运作》以及公司《募集资金管理制度》等相关规定，公司在国家开发银行上海市分行、平安银行上海分行营业部、中国建设银行股份有限公司上海浦东分行分别开设了募集资金专项账户，并与独立财务顾问中信证券股份有限公司（以下简称“中信证券”、“独立财务顾问”）以及开户银行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》（以下简称“三方监管协议”），协议内容与上海证券交易所《募集资金专户存储三方监管协议》不存在重大差异。公司本次开设募集资金专项账户的具体情况如下：
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　　三、《募集资金专户存储三方监管协议》的主要内容
　　以下所称甲方为公司，乙方为开户银行，丙方为中信证券。协议的主要内容如下：
　　1、甲方已在乙方开设募集资金专项账户（以下简称“专户”），该专户仅用于甲方高端半导体设备产业化项目、高端半导体设备研发中心项目、支付现金对价及中介机构费用以及补充流动资金的募集资金的存储和使用，不得用作其他用途。
　　2、甲乙双方应当共同遵守《中华人民共和国票据法》《支付结算办法》《人民币银行结算账户管理办法》等法律、法规、规章。
　　3、丙方作为甲方的独立财务顾问，应当依据有关规定指定财务顾问主办人或其他工作人员对甲方募集资金使用情况进行监督。
　　丙方承诺按照《证券发行上市保荐业务管理办法》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1 号一一规范运作》以及甲方制订的募集资金管理制度对甲方募集资金管理事项履行保荐职责，进行持续督导工作。
　　丙方可以采取现场调查、书面问询等方式行使其监督权。甲方和乙方应当配合丙方的调查与查询。丙方每半年对甲方募集资金的存放和使用情况进行一次现场检查。
　　4、甲方授权丙方指定的独立财务顾问主办人可以随时到乙方查询、复印甲方专户的资料；乙方应及时、准确、完整地向其提供所需的有关专户的资料。
　　独立财务顾问主办人向乙方查询甲方专户有关情况时应出具本人的合法身份证明；丙方指定的其他工作人员向乙方查询甲方专户有关情况时应出具本人的合法身份证明和单位介绍信。
　　5、乙方按月（每月5 日前）向甲方出具对账单，并抄送丙方。乙方应保证对账单内容真实、准确、完整。
　　6、甲方一次或12 个月内累计从专户中支取的金额超过5,000 万元人民币且达到发行募集资金总额扣除发行费用后的净额的20%的，甲方应当及时通知丙方，乙方应当及时以电子邮件方式通知丙方并同时提供专户的支出清单。
　　7、丙方有权根据有关规定更换指定的财务顾问主办人。丙方更换财务顾问主办人的，应将相关证明文件书面通知乙方，同时按本协议第十二条的要求向甲方、乙方书面通知更换后的财务顾问主办人联系方式。更换财务顾问主办人不影响本协议的效力。
　　8、乙方三次未及时向甲方/丙方出具对账单或向丙方通知专户大额支取情况，以及存在未配合丙方查询与调查专户资料情形的，甲方或者丙方可以要求甲方单方面终止本协议并注销募集资金专户。
　　9、如果本协议任何一方违反相关法律法规或本协议项下的任何规定而给其他方造成损失，违约方应承担由此产生的一切责任，并赔偿守约方因此而遭受的所有损失和费用。
　　10、本协议自甲、乙、丙三方法定代表人/负责人或其授权代表签署并加盖各自单位公章之日起生效，至专户资金全部支出完毕并依法销户且丙方督导期结束之日起失效。
　　11、本协议一式陆份，甲、乙、丙三方各持壹份，向上海证券交易所报备壹份，其余留甲方备用，均具有同等法律效力。
　　特此公告。
　　中微半导体设备（上海）股份有限公司
　　董事会
　　2026年7月14日