第一节 重要提示
　　1、本年度报告摘要来自年度报告全文，为全面了解本公司的经营成果、财务状况及未来发展规划，投资者应当到上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）网站仔细阅读年度报告全文。
　　2、重大风险提示
　　报告期内，不存在对公司生产经营产生实质性影响的特别重大风险。公司已在报告中详细描述可能存在的相关风险，敬请查阅第三节管理层讨论与分析“四、风险因素”部分内容。
　　3、本公司董事会及董事、高级管理人员保证年度报告内容的真实性、准确性、完整性，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。
　　4、公司全体董事出席董事会会议。
　　5、容诚会计师事务所（特殊普通合伙）为本公司出具了标准无保留意见的审计报告。
　　6、公司上市时未盈利且尚未实现盈利
　　□是 √否
　　7、董事会决议通过的本报告期利润分配预案或公积金转增股本预案
　　公司2025年度利润分配方案拟定如下：本次利润分配以实施权益分派股权登记日登记的总股本为基数，向全体股东每10股派发现金红利7.00元（含税），不进行资本公积转增股本，不送红股。截至本报告披露日，公司总股本131,740,716股，以此计算合计派发现金红利92,218,501.20元（含税），占2025年度合并报表归属于上市公司股东净利润的31.81%。
　　如在分配方案披露之日起至实施权益分派股权登记日期间因新增股份上市、股份回购等事项导致公司总股本发生变化的，则以未来实施分配方案的股权登记日的总股本为基数，按照每股分配比例不变的原则对分配总额进行调整。公司2025年度利润分配方案已经公司第三届董事会第四次会议审议通过，尚需提交公司股东会审议通过后方可实施。
　　母公司存在未弥补亏损
　　□适用 √不适用
　　8、是否存在公司治理特殊安排等重要事项
　　□适用 √不适用
　　第二节 公司基本情况
　　1、公司简介
　　1.1公司股票简况
　　√适用 □不适用
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　　1.2公司存托凭证简况
　　□适用 √不适用
　　1.3联系人和联系方式
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　　2、报告期公司主要业务简介
　　2.1主要业务、主要产品或服务情况
　　公司以微纳直写光刻为核心技术，专注于高端直接成像设备与直写光刻设备的研发、制造、销售及维保服务。公司产品体系涵盖PCB直接成像设备及自动线系统、泛半导体直写光刻设备及自动线系统、其他激光直接成像设备，技术能力覆盖微米至纳米级多领域光刻工艺环节，为印制电路板与泛半导体产业提供高性能光刻装备及专业技术服务。
　　主要产品及应用领域如下表所示：
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　　2.2主要经营模式
　　1、盈利模式
　　公司作为聚焦PCB及泛半导体领域的高端装备解决方案提供商，以高端专用设备销售为核心营收与利润支柱，面向下游行业客户提供贴合先进制造工艺需求的专业化设备产品，并配套提供全生命周期的周期性设备维保、技术支持等增值服务，构建核心产品销售 + 持续性技术服务深度协同的核心盈利体系。同时，公司立足客户多元化、场景化的业务需求，辅以少量设备租赁业务，通过灵活的服务模式收取相应租赁费用，作为盈利结构的有益补充，进一步拓宽收入来源、优化盈利质量，保障公司经营业绩实现持续、稳健、高质量发展。
　　2、研发模式
　　公司不断完善IPD研发管理体系，研发模式以自主研发为主，技术开发管理部IPD项目组是研发项目的归口管理部门，负责组织项目立项、评审和验收等管理工作。报告期内，公司加速IPD项目执行，推动全流程标准化落地，优化了技术开发、产品开发的方法、流程及制度，持续推进产品平台建设和矩阵式管理，保证新产品开发成功率，构筑技术、产品和解决方案的竞争力，确保公司有效增长。
　　公司按照集成产品开发IPD模式进行产品开发，主要研发流程包括：（1）根据市场、客户需求及技术发展趋势，市场部门与产品线配合进行充分市场调研后发起项目立项并制定初步产品开发计划；（2）立项通过后，进行系统架构和核心技术可行性的分析验证，并确认产品开发计划；（3）系统详细设计，包括系统子模块设计（光学模块、机械模块、电子模块、数据处理、电子及软件）和多种可能性设计（可测试性、可维护性、可靠性等）（4）详细设计通过审核后，进入研发样机制造与测试验证；（5）研发样机验证通过后，安排小批量进行可生产性验证，并安排客户端验证；（6）客户端验证通过后，移交产品制造中心进行量产，转入产品生命周期维护阶段。在整个研发过程阶段节点，会分别从技术和商业成功两条主线安排评审，确保产品开发结果符合预期。
　　3、采购模式
　　在产品制造过程中，所需的主要材料包括核心组件和零部件。针对运动平台及组件、图形生成模块、光路组件、曝光光源、自动控制组件等核心组件及非标准零部件，公司通过提供设计方案、图纸和参数委托选定的优质供应商定制生产；或因功能模块的特殊需求以及出于成本控制和供应链安全的考虑，公司在评估模块自设计和集成能力的前提下，通过购买标准核心组件后再进行二次开发。针对常规标准零部件，公司面向市场进行独立采购。
　　为保证核心组件、零部件的品质，公司制定了严格、科学的采购制度，从供应商选择、价格谈判、质量检验到物料入库的全过程，均实行有效的内控管理。具体采购方式有以下三种：（1）谈判式采购：对于核心组件和非标准零部件，为了确保产品的质量可靠，只备选国内外几家知名的供应商，建立稳定的合作关系，定期谈判以最优供货条件确定最终的供货方；（2）竞争性采购：对于常规标准零部件采取竞争性采购，遴选的条件包括质量、价格、付款条件、交期、服务等；（3）零星采购：对于价值低且需求量大的零部件，采用网上询价的方式。
　　对于部分交货期较长的进口核心组件，为缩短公司产品交货期，公司根据市场及订单情况预测做适量的策略性库存储备。为保证核心组件和零部件的供货质量，公司建立了供应商考核评价体系，根据质量、价格、交期等考核指标对供应商进行综合评分，优胜劣汰。
　　4、生产模式
　　按照产品特点及市场销售规律，公司采用“标准化生产+定制化生产”安排生产计划，主要采用自主生产模式，部分电路板焊接等非核心工序委托外协厂商生产。
　　A：标准化生产+定制化生产
　　标准化生产模式主要是针对PCB直接成像设备的生产。PCB直接成像设备主要用于PCB规模化量产，一般情况下客户的定制化需求较少，客户需求标准相对统一，该设备主要采用标准化的生产模式。该模式下，公司根据客户下达的订单情况和对市场的需求预测来制定生产计划。对于市场需求稳定、销量高的设备，公司会维持一定数量的产品库存，以保证较短的交货周期。
　　定制化模式主要针对高端战略客户进行产品开发。此类产品需要根据客户的定制需求进行研发、生产，故主要采用定制化生产模式，实行以销定产。
　　B：自主生产+外协生产
　　生产过程中的零部件和模块组装、物理光学调试等核心工序由公司自主独立完成，公司从合作供应商处采购电子元器件、PCB 等原材料，然后将电路板焊接等非核心工序委托外协厂商完成。外协生产模式下，公司向外协厂商提供电子元器件、PCB 等原材料，外协厂商按照公司的产品规格、图纸、质量标准和工艺流程文件进行生产。市场上可供选择的同类型外协厂商较多，公司不存在依赖单一外协厂商的情形。
　　5、销售模式
　　公司采用直销为主，经销为辅的销售模式。
　　首先，公司获取客户资源的方式分为五种情况：一是公司随着产品性能及服务口碑的提升，建立了很好的品牌知名度，客户主动获取公司信息，与公司进行商洽；二是公司根据业务规划，主动与相关领域内的客户取得联系；三是已有的存量客户有新需求后，与公司进一步合作；四是公司通过展会、专业协会、技术交流会等相关活动获取客户信息；五是公司通过经销商、代理商获取客户信息。
　　其次，在销售与服务机构的设置方面，公司设有深圳分公司、苏州子公司、台湾办事处、江西办事处等，能够覆盖华南、华东、华中以及台湾地区的市场销售及售后服务。同时，公司通过经销代理商模式拓展海外市场，加大东南亚产业布局，同步辐射日韩等市场。通过多年的市场积累，公司的成功销售案例在下游客户市场中建立了良好的口碑，为公司开拓新客户提供了良好的市场基础。
　　第三，在销售服务的内部部门协同方面，公司的市场部、研发部门与客户有着良性且深入的沟通，切实解决客户的痛点问题，维持和不断强化与客户之间良好的供销关系。
　　第四，公司设备销售主要有三种形式：（1）直接与客户签订销售合同；（2）与客户先签订试用合同，试用期满后确认合格后再进一步签署销售合同。随着公司品牌及影响力提升，与客户签订试用合同的销售模式占比很小。（3）与经销代理商签署合同，由其负责相关区域产品推广及销售。
　　2.3所处行业情况
　　(1). 行业的发展阶段、基本特点、主要技术门槛
　　作为国内领先的直写光刻设备厂商，公司专注服务于电子信息产业中PCB领域及泛半导体领域的客户，通过优质的产品帮助客户在提升产品品质和降低生产成本的同时实现数字化、无人化、智能化发展。
　　在PCB领域，公司设备主要应用于PCB制程中的线路层及阻焊层曝光环节，2024年公司超越日资产商，成为全球最大的PCB直接成像设备制造商，全球市占率达15%；此外，公司在PCB领域了还布局有激光钻孔设备，利用与LDI的算法互通性，实现高精度生产需求，有效帮助客户提升良率。在泛半导体领域，应用场景涵盖先进封装、IC载板、FPD面板显示、掩模版制版、新型显示等领域，产品布局丰富。
　　（1）PCB行业
　　● 人工智能热潮推动PCB行业持续高增，中国和亚太市场增速领先
　　在AI产业的推动下，2025年全球PCB市场规模达到849亿美元，同比增长15.4%，增速较2024年进一步提升，其中第四季度市场规模达到228亿美元，同比增长18%。结构上看，HDI板和高多层板成为这一轮增长的主力军，其中HDI板市场规模为157亿美元，同比增加25.6%；高多层板（18层以上）市场规模45亿美元，同比增加85.5%。此外，封装基板市场亦有较高增长，市场规模达到147亿美元，同比增长16.9%。
　　图：PCB市场规模环比和同比增长率
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　　数据来源：Prismark
　　AI服务器和数据中心建设或将成为PCB下游第一大应用。AI基础设施建设极大提升了对HDI板、高多层板以及封装基板的需求，从HDI板市场来看，2025年HDI板占整个PCB市场规模的18.51%，2029年这一比例将提升至19.49%，成为PCB下游的第一大应用领域。HDI市场增长源自AI服务器和数据中心的需求，2025年AI服务器和数据中心对HDI板的需求同比翻倍，且预计保持高增长趋势，Prismark预计2029年AI服务器和数据中心对HDI板的需求将达到46.97亿美元，2024-2029年复合增长率达到29.6%。总体来看，2029年AI服务器、数据中心对PCB的需求预计将达到257亿美元，占PCB整体市场的22%。
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　　数据来源：Prismark
　　分区域来看，中国和亚太其他地区增速领跑全球。2025年中国PCB市场规模达到485亿美元，同比增长17.6%；亚太其他地区市场规模为243亿美元，同比增长13.8%。在AI服务器等AI基础设置建设的推动下，2024-2029年中国、亚太其他地区的PCB市场规模平均增速分别为8.7%、8.6%。
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　　数据来源：Prismark
　　●AI需求推动PCB技术路径变革与上游设备能力迭代升级
　　随着AI服务器与高性能数据中心对算力密度的极致追求，PCB产品正加速向超高层数（20层以上）、极高密度互连（HDI Any-layer）及类载板（SLP）形态演进。相较于消费电子等其他应用领域的LDI设备，AI算力场景的LDI设备存在显著的技术代差与准入门槛，如AI服务器主板因层数多、材料复杂，在多次压合工艺中会产生剧烈的非线性涨缩与翘曲，需要设备有极高精度的层间对位能力。普通设备仅能进行简单的线性补偿，公司的高端LDI设备搭载了专有的高阶非线性形变校正算法与分区动态配准技术，能够实时补偿基板的复杂形变，确保在数十层堆叠中实现微米级（±5μm以内）的层间对位精度，这是保障AI芯片电气互连可靠性的核心指标；此外，在极限解析度与细线路良率上，针对AI芯片载板级封装需求（线宽/线距 〈10/10μm），高端设备采用了多波长耦合光源与大景深光学系统，有效克服了高多层板表面的高低起伏，确保了在更精细线宽下的侧壁陡直度与线宽一致性，突破了普通设备的光学衍射极限；最后，AI场景的LDI设备需要在完成大数据量吞吐的同时保证产能效率，AI高多层板的数据量呈指数级增长，单板数据量可达数百GB。需要设备配备高性能处理引擎，在处理海量数据的同时保持高速扫描曝光，兼顾精度和效率。
　　公司是国内极少数能满足AI服务器及数据中心严苛标准的高端LDI设备供应商，具备量产供货能力并进入行业头部客户供应链，已成功实现了对该类设备的国产化替代，确立了在高性能计算基础设施制造环节的领先优势与独占地位。
　　（2）泛半导体行业
　　根据国际半导体产业协会SEMI的数据，2025年全球半导体制造设备销售总额预计达到1,330亿美元，同比增长13.7%，创历史新高；且2026年和2027年有望继续攀升至1,450亿美元和1,560亿美元；半导体设备市场的强劲增长主要由人工智能相关投资拉动。分产品看，晶圆厂设备（含晶圆加工、晶圆厂设施和掩膜/掩膜版设备）2025年市场规模达到1,157亿美元；而测试设备和封装设备销售额增长则更为强劲，2025年测试设备市场规模同比增长48.1%达到112亿美元，封装设备市场规模同比增长19.6%达到64亿美元，封装设备增长的主要驱动力是先进封装、异构封装的加速渗透。
　　图：全球半导体设备市场规模
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　　来源：SEMI
　　●先进封装
　　摩尔定律的延伸受到物理极限，先进封装可以相对轻松地实现芯片的高密度集成、体积的微型化和更低的成本。先进封装在提高芯片集成度、缩短芯片距离、加快芯片间电气连接速度以及性能优化的过程中扮演了更重要角色。正成为助力系统性能持续提升的重要保障，并满足“轻、薄、短、小”和系统集成化的需求。在人工智能、高性能计算、5G和自动驾驶的推动下，先进封装市场规模保持较快增速，YOLE预计2030年先进封装市场规模将超过800亿美元，2024-2030年平均增长率达10.7%。其中2.5D/3D技术正成为AI相关需求的首选解决方案，随着2.5D/3D集成技术不断成熟，硅中介层面积显著扩大，重布线（RDL）线距微缩至5μm，封装性能与可靠性进一步提升，YOLE预计2029年2.5D/3D封装市场规模将达到280亿美元，平均增速高达37%。
　　直写光刻技术凭借无掩模、高分辨率及工艺灵活性优势，在先进封装制造中地位日益重要。其广泛应用于高密度互连、晶圆级封装（WLP）以及复杂封装结构的微细图形加工，助力实现高精度微纳加工需求。公司自主研发的晶圆级光刻设备WLP2000，最小解析半径为2μm，目前已成功导入多家先进封装厂商生产线，完成多项工艺验证，逐步实现规模化量产，推动产业技术升级和良率提升。未来先进封装与直写光刻技术的深度融合将持续驱动半导体封装工艺升级，满足人工智能、高频通信、新能源汽车等新兴应用对高性能封装的多样化需求。
　　●IC载板
　　在AI基础设施建设推动IC载板的尺寸增大，布线密度、信号完整性等要求不断提升，推动IC载板市场规模持续增长；Prismark数据显示2025年IC载板市场规模147.27亿美元，同比增长16.9%。展望未来，在AI服务器和数据中心的推动下，2029年IC载板市场规模有望达到200.87亿美元，2024-2029年复合增长率达到9.8%。
　　追求更精细的线宽及分辨率成为大厂的主要发展方向，直接成像技术取代传统曝光技术成为主流技术。公司针对IC封装载板现已开发出MAS4、MAS6、MAS8系列产品，MAS4已经实现了4μm线宽，达到海外一流竞品水平，设备在客户端验证顺利。公司产品凭借良好的技术、本地化服务优势取得了各大客户的认可，拓展了深南电路、鹏鼎控股、兴森科技、浩远电子、明阳电路、柏承微电子、英创力等优质客户。
　　●掩膜版制版
　　根据灼识咨询数据，全球掩膜版市场规模预计将从2024年的515亿元增长至2030年的约710亿元，复合年增长率为5.5%。厂商格局看，Photronics、Toppan（凸版印刷）与大日本印刷（DNP）三大国际企业仍主导全球市场，近年来中国大陆本土厂商如冠石科技、清溢光电、龙图光罩等不断推进国产化替代。此外，政策支持、资本投入、设备技术进步等多重因素共同作用，加速了掩模版产业的本地化发展。受益于先进制程升级、新兴终端应用增长（如AI、汽车电子、5G）及区域供应链调整，全球掩模版市场正朝向高技术、高门槛、高集中度与多极化并存的格局演化，未来竞争将更加聚焦于高端产品能力与区域产能布局的协同发展。
　　在掩膜版制造过程中，直写光刻技术凭借其数字图案调整及智能动态校正的优势，已成为理想的微纳米光刻解决方案。全球掩膜版制造领域直写光刻设备的市场规模预计将从2024年的约41亿元增长至2030年的约44亿元，复合年增长率为 1.3%。
　　●功率器件
　　2025年功率器件市场持续稳健发展，尤其在新能源汽车、工业控制、可再生能源和数据中心等终端应用需求强劲的带动下，SiC（碳化硅）和GaN（氮化镓）等第三代半导体器件快速渗透，成为推动产业增长的核心动力。QY Research预计未来全球功率器件市场规模将保持稳定增长，2025-2031年平均增长率为4.3%。
　　在这一背景下，功率器件对封装尺寸、导电效率、热管理能力和制造精度提出更高要求，进而推动光刻工艺向高解析度、小线宽方向演进。传统掩模光刻在非标准化、低批量、高精度需求下面临灵活性不足问题，直写光刻技术因具备无掩模、高分辨率、高精度以及工艺灵活性等优势，越来越多地被用于功率器件制造中的关键工序，如栅极图形、电极对准、隔离沟槽刻蚀等环节。公司推出的高精度直写设备MLF已进入多家功率半导体产线验证或导入阶段。在功率器件需求增长与制造复杂度提升相互的作用下，直写光刻在这一细分市场的渗透率上升，正逐步从研发辅助工具向量产关键设备角色转变。
　　●新型显示
　　2025年新型显示产业持续扩张，Micro-LED、OLED和Mini-LED等先进显示技术加快商业化进程，驱动上游制造工艺不断升级。在显示像素精度、器件微缩化和高PPI（像素密度）需求日益提升的背景下，传统掩模制程在面临多种面板尺寸、定制化设计和超微结构精度要求时逐渐暴露出灵活性不足、掩模成本高昂、迭代周期长等问题。直写光刻技术凭借其无掩模、高解析度、设计灵活、快速打样等优势，正日益成为新型显示制造，尤其是在Micro-LED芯片图案化、TFT基板驱动电极设计、彩色滤光片图案、光波导耦合结构等环节的关键工艺选择之一。
　　2025年初，国内外多家厂商加速布局相关技术，部分头部显示厂已将直写设备用于Micro-LED巨量转移前的图案修复与微结构加工，提高良率和设计自由度，适配OLED和Mini-LED柔性背板工艺流程。同时，AR/VR用超高精密微显示芯片的发展也为直写光刻带来新的增长点，尤其在波导器件图形加工和纳米级结构制造方面具备较强替代潜力。在政策支持和下游多样化显示应用驱动下，直写光刻在新型显示领域的技术渗透率持续上升，正在从样品开发、低量定制迈向中规模量产阶段，成为实现显示微结构创新和提升制造柔性的支撑力量。灼识咨询数据显示，2030年全球平板显示器面板制造领域直写光刻设备的市场规模将达到7亿元，2024-2030年复合年增长率为18%。
　　(2). 公司所处的行业地位分析及其变化情况
　　公司是光刻技术领域里拥有关键核心技术的PCB直接成像设备及泛半导体直写光刻设备的国产供应商之一，是国内最早从事直写光刻设备开发的企业之一，是国内首家光刻设备上市公司。核心技术团队成员具备三十多年的高端装备开发经验，深耕行业多年。在PCB领域，公司2024年在全球PCB直接成像设备供应商中排名第一，市占率达到15%，公司高端线路设备主要指标处于国际一流梯队，且部分指标已实现对海外品牌的赶超。在泛半导体领域，公司全面布局，IC载板产品性能已比肩国际厂商，6微米量产设备已在头部客户处批量完成验收。先进封装领域，公司晶圆级和板级直写光刻设备取得重大市场突破，客户覆盖国内多家头部封装厂商。同时不断推出用于IC掩模版制版、功率器件、MEMS芯片、陶瓷封装、新型显示等细分领域的泛半导体直写光刻设备，在半导体设备领域技术储备充足。
　　(3). 报告期内新技术、新产业、新业态、新模式的发展情况和未来发展趋势
　　随着AI的加速发展，行业头部公司不断推出新的技术路线，如在AI芯片的封装领域，技术路径由当前的CoWoS向CoPoS和CoWoP演变，下游PCB制造商和设备公司需要不断迭代自身工艺及产品以满足头部客户的需求。以CoWoP封装技术为例，其不再需要ABF载板，直接将芯片通过中介层键合到类载板（SLP）上，从而缩短电路路径、优化供电效率、提升散热性能和信号完整性，此外还能省去基板成本。相较于HDI板，SLP对设备解析能力、对位精度及线宽一致性提出了更高的要求；针对未来的CoWoP技术，芯碁推出了MAS 6P线路系列和NEX 30阻焊系列，为头部客户的CoWoP产品量产做好充分的技术储备。
　　随着AI芯片尺寸变大，设计变复杂，传统的圆形晶圆面积利用率和封装效率逐渐受限，全球头部公司如台积电等开始考虑摒弃传统的圆形晶圆，将芯片在方形面板上进行封装，从而提升产出效益、降低生产成本，如台积电预计推出的CoPoS技术；在CoPoS技术中，中介层由圆变方，且因为芯片尺寸增大，需要内埋的硅桥数量亦会增加，因此会出现更多的偏移、翘曲问题，直写光刻技术由于无需物理掩模版，可以实现实时纠偏、再布线，在CoPoS技术中的优势更加突出。
　　图：AI芯片封装技术路径
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　　来源：Prismark
　　3、公司主要会计数据和财务指标
　　3.1近3年的主要会计数据和财务指标
　　单位：元 币种：人民币
　　■
　　3.2报告期分季度的主要会计数据
　　单位：元 币种：人民币
　　■
　　季度数据与已披露定期报告数据差异说明
　　□适用 √不适用
　　4、股东情况
　　4.1普通股股东总数、表决权恢复的优先股股东总数和持有特别表决权股份的股东总数及前 10 名股东情况
　　单位: 股
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　　■
　　存托凭证持有人情况
　　□适用 √不适用
　　截至报告期末表决权数量前十名股东情况表
　　□适用 √不适用
　　4.2公司与控股股东之间的产权及控制关系的方框图
　　√适用 □不适用
　　■
　　4.3公司与实际控制人之间的产权及控制关系的方框图
　　√适用 □不适用
　　■
　　4.4报告期末公司优先股股东总数及前10 名股东情况
　　□适用 √不适用
　　5、公司债券情况
　　□适用 √不适用
　　第三节 重要事项
　　1、公司应当根据重要性原则，披露报告期内公司经营情况的重大变化，以及报告期内发生的对公司经营情况有重大影响和预计未来会有重大影响的事项。
　　报告期内，公司实现营业收入140,812.13万元，同比增长47.61%，归属于上市公司股东的净利润28,993.30万元，同比增长80.42%，公司主要业务增长来自于核心业务板块PCB业务与泛半导体业务协同发力、多点突破，有效承接行业增量需求。经营活动产生的现金流量净额同比上升228.39%,主要系销售回款增加所致。
　　2、公司年度报告披露后存在退市风险警示或终止上市情形的，应当披露导致退市风险警示或终止上市情形的原因。
　　□适用 √不适用
　　
　　证券代码：688630 证券简称：芯碁微装 公告编号：2026-012
　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司
　　关于2026年度向金融机构申请综合授信额度的公告
　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“公司”或“芯碁微装”）于2026年3月13日召开了第三届董事会第四次会议，审议通过了《关于2026年度向金融机构申请综合授信额度的议案》，同意公司在授权期限内向金融机构申请不超过人民币100,000.00 万元的综合授信额度。具体内容如下：
　　为促进公司持续发展，满足公司生产经营需求，公司拟向金融机构申请不超过人民币100,000.00 万元的综合授信额度，综合授信品种包括但不限于贷款、承兑汇票、贴现、信用证、押汇、保函、代付、保理等。实际融资金额应在授信额度内，并以金融机构与公司实际发生的融资金额为准，实际融资金额将视公司运营资金的实际需求决定。以上综合授信额度的授信期限自2025年年度股东会审议通过之日起，至2026年年度股东会召开之日止，在授信期限内，授信额度可循环使用且单笔融资不再上报董事会或股东会审议。
　　为确保公司向银行申请授信额度的工作顺利进行，董事会同意提请股东会授权公司董事长及其授权人员代表公司签署上述授信额度内的一切与授信有关的法律文件（包括但不限于签署授信、借款合同以及其他法律文件），并办理相关手续，由此产生的法律、经济责任全部由本公司承担。
　　上述事项尚需提交2025年年度股东会审议。
　　特此公告。
　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会
　　2026年3月14日
　　
　　证券代码：688630 证券简称：芯碁微装 公告编号：2026-010
　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司
　　2025年度利润分配预案的公告
　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。
　　重要内容提示：
　　●每股分配比例：每10股派发现金红利7.00元（含税），不进行资本公积金转增股本，不送红股。
　　●本次利润分配以实施权益分派股权登记日登记的总股本为基数，具体日期将在权益分派实施公告中明确。在实施权益分派的股权登记日前公司总股本发生变动的，拟维持每股分配比例不变，相应调整分配总额，并将另行公告具体调整情况。
　　●不触及《上海证券交易所科创板股票上市规则》（以下简称《科创板股票上市规则》）第12.9.1条第一款第（八）项规定的可能被实施其他风险警示的情形。
　　一、利润分配预案内容
　　（一）利润分配方案的具体内容
　　经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）审计，合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“公司”）2025年度合并报表归属于公司股东的净利润为289,933,018.30元，截至2025年12月31日， 母公司期末可供分配利润为748,552,440.49元。经公司第三届董事会第四次会议审议通过，本次利润分配方案如下：
　　公司拟以实施权益分派股权登记日登记的总股本为基数，向全体股东每10股派发现金红利7.00元（含税），不进行资本公积转增股本，不送红股。截至本公告披露日，公司总股本131,740,716股，以此计算合计派发现金红利92,218,501.20元（含税），占2025年度合并报表归属于上市公司股东净利润的31.81%。
　　如在分配预案披露之日起至实施权益分派股权登记日期间因新增股份上市、股份回购等事项导致公司总股本发生变化的，则以未来实施分配方案的股权登记日的总股本为基数，按照每股分配比例不变的原则对分配总额进行调整，并将另行公告具体调整情况。
　　本次利润分配方案尚需提交公司2025年年度股东会审议。
　　（二）是否可能触及其他风险警示情形
　　本次利润分配符合相关法律法规及公司章程的规定，不触及《科创板股票上市规则》第12.9.1条第一款第（八）项规定的可能被实施其他风险警示的情形，相关数据及指标如下表：
　　■
　　二、公司履行的决策程序
　　公司于2026年3月13日召开第三届董事会第四次会议，会议审议通过了《关于公司2025年度利润分配预案的议案》，公司董事会同意本次利润分配方案，并同意将该方案提交公司2025年年度股东会审议。
　　三、相关风险提示
　　（一）本次利润分配预案结合了公司发展阶段、现金流状态及未来的资金需求等因素，不会对公司经营现金流产生重大影响，不会影响公司正常经营和长期发展。
　　（二）其他风险说明
　　本次利润分配预案尚需提交公司2025年年度股东会审议通过后方可实施，敬请广大投资者注意投资风险。
　　特此公告。
　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会
　　2026年 3月14日
　　证券代码：688630 证券简称：芯碁微装 公告编号：2026-013
　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司
　　关于续聘会计师事务所的公告
　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、 误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依 法承担法律责任。
　　重要内容提示：
　　●拟聘任的会计师事务所名称：容诚会计师事务所（特殊普通合伙）
　　一、拟聘任会计师事务所的基本情况
　　（一）机构信息
　　1.基本信息
　　容诚会计师事务所（特殊普通合伙）（以下简称“容诚会计师事务所”或“容诚事务所”）由原华普天健会计师事务所（特殊普通合伙）更名而来，初始成立于1988年8月，2013年12月10日改制为特殊普通合伙企业，是国内最早获准从事证券服务业务的会计师事务所之一，长期从事证券服务业务。注册地址为北京市西城区阜成门外大街22号1幢10层1001-1至1001-26，首席合伙人刘维。
　　2.人员信息
　　截至2025年12月31日，容诚会计师事务所共有合伙人233人，共有注册会计师1507人，其中856人签署过证券服务业务审计报告。
　　3.业务规模
　　容诚会计师事务所经审计的2024年度收入总额为251,025.80万元，其中审计业务收入234,862.94万元，证券期货业务收入123,764.58万元。
　　容诚会计师事务所共承担518家上市公司2024年年报审计业务，审计收费总额62,047.52万元，客户主要集中在制造业、信息传输、软件和信息技术服务业、批发和零售业、科学研究和技术服务业、建筑业、水利、环境和公共设施管理业等多个行业。容诚会计师事务所对合肥芯碁微电子装备股份有限公司所在的相同行业上市公司审计客户家数为383家。
　　4.投资者保护能力
　　容诚会计师事务所已购买注册会计师职业责任保险，职业保险累计赔偿限额不低于2.5亿元，职业保险购买符合相关规定。
　　近三年在执业中相关民事诉讼承担民事责任的情况：
　　2023年9月21日，北京金融法院就乐视网信息技术（北京）股份有限公司（以下简称乐视网）证券虚假陈述责任纠纷案 [(2021)京74民初111号]作出判决，判决华普天健咨询（北京）有限公司（以下简称“华普天健咨询”）和容诚会计师事务所（特殊普通合伙）（以下简称“容诚特普”）共同就2011年3月17日（含）之后曾买入过乐视网股票的原告投资者的损失，在1%范围内与被告乐视网承担连带赔偿责任。华普天健咨询及容诚特普收到判决后已提起上诉，截至目前，本案尚在二审诉讼程序中。
　　5.诚信记录
　　容诚会计师事务所近三年（最近三个完整自然年度及当年）因执业行为受到刑事处罚 0 次、行政处罚1次、监督管理措施 12次、自律监管措施13次、纪律处分4次、自律处分1次。101名从业人员近三年（最近三个完整自然年度及当年）因执业行为受到刑事处罚 0 次、行政处罚4次（共2个项目）、监督管理措施20次、自律监管措施9次、纪律处分10次、自律处分1次。
　　（二）项目成员信息
　　1.项目组人员信息
　　项目合伙人：王彩霞， 2011年成为中国注册会计师， 2011年开始从事上市公司审计业务， 2009年开始在容诚会计师事务所执业， 2022年开始为公司提供审计服务；近三年签署过森泰股份（301429.SZ）、美邦股份（605033.SH）、芯碁微装（688630.SH）、井松智能（688251.SH）等多家上市公司审计报告。
　　项目签字注册会计师：姚娜， 2020年成为中国注册会计师，2018 年开始从事上市公司审计业务， 2018年开始在容诚会计师事务所执业， 2022年开始为公司提供审计服务；近三年签署过安科生物（300009.SZ）、芯碁微装（688630.SH）2家上市公司审计报告。
　　项目质量复核人：陈芳，2009 年成为中国注册会计师，2007年开始从事上市公司审计业务，2021年开始在容诚会计师事务所执业；近三年签署或复核过杭齿前进（601177.SH）、巨化股份（600160.SH）、万通智控（300643.SZ）、福赛科技（301529.SZ）等上市公司审计报告。
　　2.上述相关人员的诚信记录情况
　　签字注册会计师姚娜、项目质量复核人陈芳近三年内未曾因执业行为受到刑事处罚、行政处罚、监督管理措施和自律监管措施、纪律处分。
　　项目合伙人王彩霞于2024年4月受到中国证券监督管理委员会上海监管局出具的警示函监管措施 1 次，除此之外，近三年未受到刑事处罚、行政处罚及其他监督管理措施，未受到证券交易场所、行业协会等自律组织的自律监管措施、纪律处分。
　　3.独立性
　　容诚会计师事务所及上述人员不存在违反《中国注册会计师职业道德守则》和《中国注册会计师独立性准则第1号一一财务报表审计和审阅业务对独立性的要求》的情形。
　　（三）审计收费
　　审计收费定价原则：根据本公司的业务规模、所处行业和会计处理复杂程度等多方面因素，并根据本公司年报审计需配备的审计人员情况和投入的工作量以及事务所的收费标准确定最终的审计收费。
　　2025年度容诚事务所的审计服务报酬是75万元，其中年度财务审计费用为60万元，年度内控审计费用为15万元，较上期审计费用无变化。审计收费定价原则主要基于专业服务所承担的责任和投入的专业技术程度，综合考虑参与工作人员的经验、级别对应的收费率、投入的工作时间以及市场价格等因素定价。
　　董事会提请股东会授权管理层根据2026年公司审计工作量和市场价格情况等与容诚事务所协商确定2026年审计服务的具体报酬。
　　二、拟续聘会计事务所履行的程序
　　（一）审计委员会的履职情况及审查意见
　　公司董事会审计委员会对容诚事务所的资质进行了严格审核，对其专业能力、投资者保护能力、诚信情况、独立性等进行了充分地了解和评估，认为其可以满足公司审计业务要求，项目成员不存在违反《中国注册会计师职业道德守则》对独立性要求的情形,在为公司提供审计服务期间，切实履行了审计机构应尽的职责。审计委员会同意续聘容诚事务所为公司2026年度的财务审计机构及内部控制审计机 构，并同意将《关于续聘容诚会计师事务所（特殊普通合伙）为公司2026年度审计机构的议案》提交至董事会审议。
　　（二）董事会及监事会审议情况
　　公司于2026年3月13日召开第三届董事会第四次会议，审议通过了《关于续聘容诚会计师事务所（特殊普通合伙）为公司2026年度审计机构的议案》，同意公司继续聘请容诚事务所为公司2026年度审计机构。
　　（三）生效日期
　　本次续聘会计师事务所事项尚需提交公司股东会审议，并自公司股东会审议通过之日起生效。
　　特此公告。
　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会
　　2026年3月14日
　　
　　证券代码：688630 证券简称：芯碁微装 公告编号：2026-009
　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司
　　第三届董事会第四次会议决议的公告
　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
　　一、董事会会议召开情况
　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“公司”）第三届董事会第四次会议于2026年3月3日以电子邮件方式向全体董事发出通知，2026年3月13日在公司会议室以现场结合通讯的方式召开。会议应出席董事9名，实际出席董事9名，会议由董事长程卓召集并主持。本次会议召开符合《公司法》等法律法规及《公司章程》的有关规定。
　　二、董事会审议情况
　　（一）审议通过《关于公司2025年年度报告及摘要的议案》
　　表决结果：9票同意，0票反对，0票弃权；获全体董事一致通过。
　　本议案已经公司第三届董事会审计委员会第二次会议审议通过，此项议案尚需提交公司2025年年度股东会审议。
　　具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《2025年年度报告》及其摘要。
　　（二）审议通过《关于公司2025年度财务决算报告的议案》
　　表决结果：9票同意，0票反对，0票弃权；获全体董事一致通过。
　　本议案已经公司第三届董事会审计委员会第二次会议审议通过，此项议案尚需提交公司2025年年度股东会审议。
　　（三）审议通过《关于公司2025年度利润分配预案的议案》
　　表决结果：9票同意，0票反对，0票弃权；获全体董事一致通过。
　　本议案已经公司第三届董事会审计委员会第二次会议审议通过，此项议案尚需提交公司2025年年度股东会审议。
　　具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《2025年度利润分配预案的公告》。
　　（四）审议通过《关于公司2025年度董事会工作报告的议案》
　　表决结果：9票同意，0票反对，0票弃权；获全体董事一致通过。
　　此项议案尚需提交公司2025年年度股东会审议。
　　（五）审议通过《关于公司2025年度独立董事述职报告的议案》
　　表决结果：9票同意，0票反对，0票弃权；获全体董事一致通过。
　　此项议案尚需提交公司2025年年度股东会审议。
　　具体内容详见公司同日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的《2025年度独立董事述职报告（钟琪）》、《2025 年度独立董事述职报告（周亚娜）》、《2025年度独立董事述职报告（王乐得）》、《2025年度独立董事述职报告（杨维生）》、《2025年度独立董事述职报告（胡刘芬）》。
　　（六）审议通过《关于独立董事独立性自查情况的议案》
　　表决结果：9票同意，0票反对，0票弃权；获全体董事一致通过。
　　具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《董事会对独立董事独立性自查情况的专项报告》。
　　（七）审议通过《关于公司2025年度总经理工作报告的议案》
　　表决结果：9票同意，0票反对，0票弃权；获全体董事一致通过。
　　（八）审议通过《关于公司 2025年度董事会审计委员会履职报告的议案》
　　表决结果：9票同意，0票反对，0票弃权；获全体董事一致通过。本议案已经公司第三届董事会审计委员会第二次会议审议通过。
　　具体内容详见公司同日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的《2025年度董事会审计委员会履职情况报告》。
　　（九）审议通过《关于审计委员会对会计师事务所2025年度履行监督职责情况报告的议案》
　　表决结果：9票同意，0票反对，0票弃权；获全体董事一致通过。本议案已经公司第三届董事会审计委员会第二次会议审议通过。
　　具体内容详见公司同日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的《董事会审计委员会对会计师事务所2025年度履行监督职责情况的报告》。
　　（十）审议通过《关于2025年度会计师事务所履职情况评估报告的议案》
　　表决结果：9票同意，0票反对，0票弃权；获全体董事一致通过。本议案已经公司第三届董事会审计委员会第二次会议审议通过。
　　具体内容详见公司同日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的《2025年度会计师事务所履职情况评估报告》。
　　（十一）审议通过《关于公司2025年度内部控制评价报告的议案》
　　表决结果：9票同意，0票反对，0票弃权；获全体董事一致通过。本议案已经公司第三届董事会审计委员会第二次会议审议通过。
　　具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《2025年度内部控制评价报告》。
　　（十二）审议通过《关于公司2025年度募集资金存放与使用情况的专项报告的议案》
　　表决结果：9票同意，0票反对，0票弃权；获全体董事一致通过。本议案已经公司第三届董事会审计委员会第二次会议审议通过。
　　具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《2025年度募集资金存放与使用情况的专项报告》。
　　（十三）审议通过《关于续聘容诚会计师事务所（特殊普通合伙）为公司2026年度审计机构的议案》
　　表决结果：9票同意，0票反对，0票弃权；获全体董事一致通过。
　　本议案已经公司第三届董事会审计委员会第二次会议审议通过，此项议案尚需提交公司2025年年度股东会审议。
　　具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《关于续聘会计师事务所的公告》。
　　（十四）审议通过《关于2026年度向金融机构申请综合授信额度的议案》
　　表决结果：9票同意，0票反对，0票弃权；获全体董事一致通过。
　　本议案已经公司第三届董事会审计委员会第二次会议、第三届董事会战略与发展委员会第二次会议审议通过。此项议案尚需提交公司2025年年度股东会审议。
　　具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《关于2026年度向金融机构申请综合授信额度的公告》。
　　（十五）审议通过《关于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的议案》
　　表决结果：9票同意、0票反对、0票弃权；获全体董事一致通过。
　　本议案已经公司第三届董事会审计委员会第二次会议审议通过，此项议案尚需提交公司2025年年度股东会审议。
　　具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《关于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的公告》。
　　（十六）审议通过《关于公司2026年度董事薪酬方案的议案》
　　表决结果：所有董事均为关联人，本议案直接提交公司2025年年度股东会审议。
　　本议案已经公司第三届董事会薪酬与考核委员会第二次会议审议，所有委员均为关联人，已回避表决并提交董事会审议。
　　（十七）审议通过《关于公司2026年度高级管理人员薪酬方案的议案》
　　表决结果：同意7票，反对0票，弃权0票，回避2票。董事方林、魏永珍为本议案的关联董事，已回避表决。
　　本议案已经公司第三届董事会薪酬与考核委员会第二次会议审议，委员方林为公司高管，回避审议，其余委员一致通过并提交董事会审议。
　　（十八）审议通过《关于投保董事、高级管理人员及招股说明书责任保险的议案》
　　表决结果：所有董事均为关联人，本议案直接提交公司2025年年度股东会审议。
　　本议案已经公司第三届董事会薪酬与考核委员会第二次会议审议，所有委员均为关联人，已回避表决并提交董事会审议。
　　具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《关于投保董事、高级管理人员及招股说明书责任保险的公告》。
　　（十九）审议通过《关于2025年度“提质增效重回报”专项行动方案评估报告暨2026年度“提质增效重回报”专项行动方案的议案》
　　表决结果：9票同意，0票反对，0票弃权；获全体董事一致通过。
　　具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《关于2025年度“提质增效重回报”专项行动方案评估报告暨2026年度“提质增效重回报”专项行动方案》。
　　（二十）审议通过《关于修订H股发行上市后适用的公司章程的议案》
　　表决结果：9票同意，0票反对，0票弃权；获全体董事一致通过。
　　此项议案尚需提交公司2025年年度股东会审议。
　　具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《关于修订H股发行上市后适用的公司章程的公告》。
　　（二十一）审议通过《关于制定〈董事和高级管理人员薪酬与绩效考核管理制度〉的议案》
　　表决结果：9票同意，0票反对，0票弃权；获全体董事一致通过。
　　本议案已经公司第三届董事会薪酬与考核委员会第二次会议审议通过，此项议案尚需提交公司2025年年度股东会审议。
　　具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《董事和高级管理人员薪酬与绩效考核管理制度》。
　　（二十二）审议通过《关于提请召开2025年年度股东会的议案》
　　表决结果：9票同意，0票反对，0票弃权；获全体董事一致通过。
　　具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《关于召开2025年年度股东会的通知》
　　特此公告。
　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会
　　2026年3月14日
　　证券代码：688630 证券简称：芯碁微装 公告编号：2026-018
　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司
　　关于召开2025年年度股东会的通知
　　本公司董事会及全体董事保证公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
　　重要内容提示：
　　●股东会召开日期：2026年4月3日
　　●本次股东会采用的网络投票系统：上海证券交易所股东会网络投票系统
　　一、召开会议的基本情况
　　（一）股东会类型和届次
　　2025年年度股东会
　　（二）股东会召集人：董事会
　　（三）投票方式：本次股东会所采用的表决方式是现场投票和网络投票相结合的方式
　　（四）现场会议召开的日期、时间和地点
　　召开日期时间：2026年4月3日 14 点 00分
　　召开地点：合肥市高新区长宁大道789号1号楼会议室
　　（五）网络投票的系统、起止日期和投票时间。
　　网络投票系统：上海证券交易所股东会网络投票系统
　　网络投票起止时间：自2026年4月3日
　　至2026年4月3日
　　采用上海证券交易所网络投票系统，通过交易系统投票平台的投票时间为股东会召开当日的交易时间段，即9:15-9:25，9:30-11:30，13:00-15:00；通过互联网投票平台的投票时间为股东会召开当日的9:15-15:00。
　　（六）融资融券、转融通、约定购回业务账户和沪股通投资者的投票程序
　　涉及融资融券、转融通业务、约定购回业务相关账户以及沪股通投资者的投票，应按照《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号 一 规范运作》等有关规定执行。
　　（七）涉及公开征集股东投票权
　　无
　　二、会议审议事项
　　本次股东会审议议案及投票股东类型
　　■
　　1、说明各议案已披露的时间和披露媒体
　　上述议案已于2026年3月13日经公司第三届董事会第四会议审议通过，具体内容详见公司于2026年3月14日上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）及指定信息披露媒体上披露的相关公告。公司将在本次股东会召开前，将会议资料上传至上海证券交易所网站进行披露。
　　2、特别决议议案：11
　　3、对中小投资者单独计票的议案：3、6、7、8、9、10、12
　　4、涉及关联股东回避表决的议案：9、10
　　应回避表决的关联股东名称：程卓、方林
　　5、涉及优先股股东参与表决的议案：无
　　三、股东会投票注意事项
　　（一）本公司股东通过上海证券交易所股东会网络投票系统行使表决权的，既可以登陆交易系统投票平台（通过指定交易的证券公司交易终端）进行投票，也可以登陆互联网投票平台（网址：vote.sseinfo.com）进行投票。首次登陆互联网投票平台进行投票的，投资者需要完成股东身份认证。具体操作请见互联网投票平台网站说明。
　　（二）同一表决权通过现场、本所网络投票平台或其他方式重复进行表决的，以第一次投票结果为准。
　　（三）持有多个股东账户的股东，可行使的表决权数量是其名下全部股东账户所持相同类别普通股和相同品种优先股的数量总和。
　　持有多个股东账户的股东通过本所网络投票系统参与股东会网络投票的，可以通过其任一股东账户参加。投票后，视为其全部股东账户下的相同类别普通股和相同品种优先股均已分别投出同一意见的表决票。
　　持有多个股东账户的股东，通过多个股东账户重复进行表决的，其全部股东账户下的相同类别普通股和相同品种优先股的表决意见，分别以各类别和品种股票的第一次投票结果为准。
　　（四）股东对所有议案均表决完毕才能提交。
　　四、会议出席对象
　　（一）股权登记日下午收市时在中国证券登记结算有限公司上海分公司登记在册的公司股东有权出席股东会（具体情况详见下表），并可以以书面形式委托代理人出席会议和参加表决。该代理人不必是公司股东。
　　■
　　（二）公司董事和高级管理人员。
　　（三）公司聘请的律师。
　　（四）其他人员
　　五、会议登记方法
　　（一）登记时间：2026年4月2日9:00-11:30，13:30-17:00
　　（二）登记方式：可采用现场登记、信函或传真方式登记，通过信函或传真方式登记的，信函或传真需在2026年4月2日17:00前送达，传真号：0551-63822005。
　　（三）登记地点：合肥市高新区长宁大道789号1号楼2楼证券部
　　（四）登记手续：
　　1、自然人股东亲自出席会议的，应出示本人身份证或其他能够表明其身份的有效证件或证明、股票账户卡；委托代理他人出席会议的，代理人还应出示本人有效身份证件、股东授权委托书。
　　2、法人股东出席会议的应由法定代表人或者法定代表人委托的代理人出席会议。
　　法定代表人出席会议的，应出示法人股东股票账户卡、本人身份证、能证明其具有法定代表人资格的有效证明；委托代理人出席会议的，代理人还应出示本人身份证、法人股东单位的法定代表人依法出具的书面授权委托书。出席会议的股东及股东代理人请携带相关证件原件到场。
　　3、公司不接受电话方式办理登记。
　　六、其他事项
　　（一）本次现场会议出席者食宿及交通费自理。
　　（二）会议联系方式
　　通讯地址：合肥市高新区长宁大道789号1号楼2楼证券部
　　邮编：230000
　　电话：0551-63826207
　　电子邮箱：yzwei@cfmee.cn
　　联系人：魏永珍
　　特此公告。
　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会
　　2026年3月14日
　　附件1：授权委托书
　　附件1：授权委托书
　　授权委托书
　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司：
　　兹委托 先生（女士）代表本单位（或本人）出席2026年4月3日召开的贵公司2025年年度股东会，并代为行使表决权。
　　委托人持普通股数：
　　委托人持优先股数：
　　委托人股东账户号：
　　■
　　委托人签名（盖章）： 受托人签名：
　　委托人身份证号： 受托人身份证号：
　　委托日期： 年 月 日
　　备注：
　　委托人应在委托书中“同意”、“反对”或“弃权”意向中选择一个并打“√”，对于委托人在本授权委托书中未作具体指示的，受托人有权按自己的意愿进行表决。
　　
　　证券代码：688630 证券简称：芯碁微装 公告编号：2026-015
　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司
　　关于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的公告
　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“公司”或“芯碁微装”）于2026年3月13日召开了第三届董事会第四次会议，审议通过了《关于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的议案》，同意公司在确保不影响募集资金安全和投资项目资金使用进度安排以及公司正常业务开展的前提下，使用不超过人民币25,000万元（含本数）的暂时闲置募集资金和不超过20,000万元（含本数）的暂时闲置自有资金进行现金管理，用于购买安全性高、流动性好、有保本约定的投资产品（包括但不限于协定存款、通知存款、定期存款、大额存单、收益凭证等）。在上述额度范围内，资金可以滚动使用，使用期限不超过股东会审议通过之日起12个月，该事项需经股东会审议。
　　董事会授权公司管理层在授权额度和期限内行使现金管理投资决策权并签署相关合同文件，具体事项由公司财务中心负责组织实施。公司保荐机构国泰海通证券股份有限公司（以下简称“保荐机构”）对上述事项出具了明确的同意意见。上述事项尚需提交股东会审批。现将有关事项公告如下：
　　一、募集资金基本情况
　　公司2022年度向特定对象发行A股股票的注册申请于2023年3月15日经中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）同意注册（《关于同意合肥芯碁微电子装备股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可[2023]563号）。本次向特定对象发行股票总数量为10,497,245股，发行价格为75.99元/股，实际募集资金总额为人民币797,685,647.55元，扣除本次发行费用（不含税）人民币8,322,726.38元后，实际募集资金净额为人民币789,362,921.17元。容诚会计师事务所（特殊普通合伙）对公司本次向特定对象发行股票的募集资金到位情况进行了审验，并于2023年7月26日出具了《验资报告》（容诚验字[2023]230Z0198号）。
　　为规范公司募集资金管理，保护投资者的权益，根据《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法》要求，公司已经与保荐机构、存放募集资金的商业银行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》。详细情况请参见公司已于2023年8月8日披露于上海证券交易所网站（http://www.sse.com.cn）的《关于开设募集资金专项账户并签订募集资金专户存储三方监管协议的公告》。
　　二、募集资金投资项目情况
　　截至 2025年12月31日，公司募集资金使用情况如下：
　　■
　　由于募投项目建设需要一定周期，根据募投项目建设进度，现阶段募集资金在短期内出现暂时闲置的情况。在不影响募集资金投资项目建设、不影响公司正常生产经营及确保资金安全的情况下，公司将合理利用闲置募集资金进行现金管理，提高募集资金使用效率。
　　三、本次使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的相关情况
　　（一）投资目的
　　为提高募集资金和自有资金使用效率，合理利用部分暂时闲置募集资金和自有资金，在确保不影响募集资金安全和投资项目资金使用进度安排，不变相改变募集资金用途且不影响公司正常业务开展的情况下，增加公司的收益，为公司及股东获取更多回报。
　　（二）投资产品品种
　　公司将按照相关规定严格控制风险，使用暂时闲置募集资金和自有资金投资安全性高、流动性好、产品期限不超过十二个月、有保本约定的投资产品（包括但不限于协定存款、通知存款、定期存款、大额存单、收益凭证等），且该等现金管理产品不得用于质押，不用于以证券投资为目的的投资行为。
　　（三）投资额度及期限
　　公司计划使用不超过人民币25,000万元（含本数）的暂时闲置募集资金和不超过20,000万元（含本数）的暂时闲置自有资金进行现金管理，使用期限不超过股东会审议通过之日起12个月。在上述额度和期限内，资金可循环滚动使用。
　　（四）实施方式
　　公司授权管理层在授权额度和期限内行使现金管理投资决策权并签署相关合同文件，具体事项由公司财务中心负责组织实施。
　　（五）信息披露
　　公司将依据上海证券交易所的相关规定，及时履行信息披露义务；不存在变相改变募集资金用途的情形。
　　（六）现金管理收益的分配
　　公司使用暂时闲置募集资金进行现金管理所获得的收益将优先用于补足募投项目投资金额不足部分以及公司日常经营所需的流动资金，并严格按照中国证券监督管理委员会及上海证券交易所关于募集资金监管措施的要求管理和使用。
　　四、对公司的影响
　　本次使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理是在符合国家法律法规，确保不影响公司募集资金投资项目的进度，有效控制投资风险的前提下进行的，不会影响公司日常经营和募集资金投资项目的正常开展，亦不会影响公司主营业务的正常发展，不存在损害公司和股东利益的情形。
　　通过对暂时闲置募集资金和自有资金进行适度、适时的现金管理，可以提高募集资金和自有资金使用效率，增加公司现金资产收益，为公司股东谋取更多的投资回报。
　　五、风险控制措施
　　（一）投资风险
　　本次现金管理方式是购买安全性高、流动性好、产品期限不超过十二个月、有保本约定的金融机构的投资产品（包括但不限于协定存款、通知存款、定期存款、大额存单、收益凭证等），该类投资产品主要受货币政策等宏观经济政策的影响。公司将根据经济形势以及金融市场的变化适时适量地介入，但不排除该项投资受到市场波动的影响。
　　（二）风险控制措施
　　1、公司将严格按照《上海证券交易所科创板股票上市规则》等相关法律法规、《公司章程》以及公司《募集资金使用管理办法》等有关规定办理相关现金管理业务。
　　2、严格筛选合作对象，选择信誉好、规模大、经营效益好、资金运作能力强的金融机构所发行的安全性高、流动性好的投资产品，并明确投资产品的金额、期限、投资品种、双方的权利义务及法律责任等。
　　3、公司财务中心建立台账管理，对资金运用情况建立健全完整的会计账目，做好资金使用的账务核算工作。
　　4、独立董事有权对资金使用情况进行监督与检查，必要时可以聘请专业机构进行审计。
　　六、保荐机构核查意见
　　经核查，保荐机构认为，公司本次使用部分闲置募集资金进行现金管理事项已经公司董事会审议通过，本次事项尚需提交股东会审议，公司已履行了现阶段相应的法律程序；公司通过投资安全性高、流动性好的理财产品，可以提高资金使用效率，不涉及变相改变募集资金用途，不影响募集资金投资计划的正常进行，符合《上市公司监管指引第2号一一上市公司募集资金管理和使用的监管要求》、《上海证券交易所股票上市规则》、《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法》等相关规定及公司募集资金管理制度。保荐机构对公司本次使用部分闲置募集资金进行现金管理事项无异议。
　　七、上网公告文件
　　1、《国泰海通证券股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的核查意见》
　　特此公告。
　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会
　　2026年3月14日
　　
　　证券代码：688630 证券简称：芯碁微装 公告编号：2026-016
　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司
　　关于公司董事、高级管理人员
　　薪酬方案的公告
　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“公司”）根据《中华人民共和国公司法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一一规范运作》《上市公司治理准则》等法律、法规、规范性文件以及《公司章程》的有关规定，综合考虑公司的实际情况及行业、地区的薪酬水平和职务贡献等因素，制定了2026 年度公司董事、高级管理人员薪酬方案。现将具体情况公告如下：
　　一、本方案适用对象及适用期限
　　适用对象：公司在任期内的全体董事、高级管理人员
　　适用期限：自公司股东会审议通过之日起至2026年年度股东会止。
　　二、薪酬方案具体内容
　　（一）董事薪酬
　　1、公司独立非执行董事实行津贴制，2026年津贴标准为10万元/年（含税），按半年度发放；
　　2、公司非执行董事（指未在公司及子公司担任其他职务的非独立董事）不从公司领取董事津贴；
　　3、公司执行董事（独立董事及非执行董事除外）依据其在公司中担任的职务领取薪酬绩效，不再另行领取董事津贴。
　　（二）高级管理人员薪酬
　　公司高级管理人员按照公司《董事和高级管理人员薪酬与绩效考核管理制度》的规定，依据其与公司签署的劳动合同、具体任职岗位、绩效考核结果等领取薪酬。
　　三、审议程序
　　2026年3月23日，公司召开第三届董事会第四次会议，因全体董事为利益相关者而需回避表决，故将《关于公司2026年度董事薪酬方案的议案》直接提交公司2025年年度股东会审议；会议同时审议通过了《关于公司2026年度高级管理人员薪酬方案的议案》，兼任高级管理人员的董事方林、魏永珍已回避表决。
　　特此公告。
　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会
　　2026年3月14日
　　
　　证券代码：688630 证券简称：芯碁微装 公告编号：2026-017
　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司
　　关于投保董事、高级管理人员及招股
　　说明书责任保险的公告
　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
　　为进一步完善公司风险管理体系，促进公司董事、高级管理人员充分履职，降低公司运营风险，保障广大投资者的利益，根据《公司章程》、《香港联交所上市规则》 附录C1《企业管治守则》第C.1.8条守则条文的要求及相关的境内外法律、法规及规范性文件及行业惯例，公司拟购买董事、高级管理人员及其他相关责任人员的责任保险及招股说明书责任保险（以下简称“董高及说明书责任险”）。购买董高及说明书责任险的方案相关情况如下：
　　1．投保人：合肥芯碁微电子装备股份有限公司
　　2．被保险人：公司及其子公司的董事、高级管理人员以及其他相关责任人员（最终以签署的保险合同为准）
　　3．赔偿限额：不超过人民币10,000万元/年（最终以签署的保险合同为准）
　　4．保险费：不超过人民币30万元/年（最终以签署的保险合同为准）
　　5．保险期限：
　　董事、高级管理人员以及其他相关责任人员的责任保险：保险期限12个月（后续每年可续保或重新投保）；
　　招股说明书责任险：保险期限72个月；
　　具体方案以最终签订的保险合同为准。
　　为提高决策效率，公司董事会提请股东会授权董事会及董事会授权人士根据《香港联交所上市规则》附录C1《企业管治守则》的要求及其他境外相关规定和市场惯例，并参考行业水平办理责任保险购买的相关事宜（包括但不限于确定其他相关责任人员；确定保险公司；确定保险金额、保险费及其他保险条款；选择及聘任保险经纪公司或其他中介机构；签署相关法律文件及处理与投保相关的其他事项等），以及在今后责任保险合同期满时或之前办理与续保或者重新投保相关事宜。
　　二、审议程序
　　公司于2026年3月13日召开第三届董事会第四次会议，审议了《关于投保董事、高级管理人员及招股说明书责任保险的议案》。鉴于公司全体董事与该议案存在利害关系，因此全体董事均回避表决。本议案将直接提交公司2025年年度股东会审议。
　　三、 备查文件
　　1．第三届董事会第四次会议决议；
　　2. 第三届董事会薪酬与考核委员会第二次会议决议。
　　特此公告。
　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会
　　2026年3月14日
　　证券代码：688630 证券简称：芯碁微装 公告编号：2026-014
　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司
　　关于公司2025年度募集资金存放、管理与实际使用情况的专项报告
　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。
　　根据中国证券监督管理委员会(以下简称“证监会”)《上市公司监管指引第2号一上市公司募集资金管理和使用的监管要求》及《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一一规范运作》的规定，合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“芯碁微装”或“公司”）董事会对2025年度募集资金存放与使用情况的专项报告说明如下：
　　一、募集资金基本情况
　　（一）实际募集资金金额、资金到账时间
　　根据中国证券监督管理委员会于2023年3月15日出具的《关于同意合肥芯碁微电子装备股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可[2023]563号），同意公司向特定对象发行股票注册申请。公司向特定对象发行10,497,245股人民币普通股，募集资金总额为人民币 797,685,647.55元，扣除相关发行费用（不含税）人民币8,322,726.38元，募集资金净额为人民币789,362,921.17元。上述资金已于2023年7月25日全部到位，并存放于公司开设的募集资金专项账户内。容诚会计师事务所（特殊普通合伙）对前述事项进行了审验，并出具《合肥芯碁微电子装备股份有限公司验资报告》（容诚验字[2023]230Z0198号）。
　　（二）本年度使用金额及年末余额
　　截至2025年12月31日，募集资金存放银行产生利息净额共计人民币17,816,354.25元（为活期利息理财利息扣除手续费净额）。截至2025年12月31日，已使用募集资金金额为人民币539,444,803.09元，本年度已使用募集资金金额为人民币161,230,794.92元，进行现金管理余额为人民币220,000,000.00元，募集资金存储账户余额为人民币47,734,472.33元。详见下表：
　　募集资金基本情况表
　　单位：万元 币种：人民币
　　■
　　二、募集资金管理情况
　　（一）募集资金管理情况
　　为规范募集资金的管理和使用，提高募集资金使用效益，根据《上市公司监管指引第2号一一上市公司募集资金管理和使用的监管要求》、《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一一规范运作》等有关法律法规的规定，切实保护投资者利益，公司根据实际情况，制定了《合肥芯碁微电子装备股份有限公司募集资金管理制度》。根据该制度，公司对募集资金实行专户存储，对募集资金的存储、审批、使用、管理与监督做出了明确的规定，保证了募集资金的规范使用。
　　（二）募集资金三方监管协议情况
　　经公司股东大会授权，公司于2023年7月6日召开第二届董事会第八次会议，审议通过了《关于公司设立2022年度向特定对象发行A股股票募集资金专用账户的议案》。为规范公司募集资金管理， 保护投资者权益，提高募集资金使用效率，根据《上市公司监管指引 第 2 号一一上市公司募集资金管理和使用的监管要求（2022 修订）》、 《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引1号一一规范运作》 及公司《募集资金管理制度》等有关规定，公司、海通证券股份有限 公司与招商银行股份有限公司合肥分行、中信银行股份有限公司合肥分行、中国光大银行股份有限公司合肥分行和徽商银行股份有限公司合肥分行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》。前述协议与上海证券交易所《募集资金专户存储三方监管协议（范本）》不存在重大差异。
　　（三）募集资金专户存储情况
　　截至2025年12月31日，募集资金存放情况如下表所示：
　　募集资金存储情况表
　　单位：元 币种：人民币
　　■
　　三、2025年年度募集资金的实际使用情况
　　（一）募投项目的资金使用情况
　　报告期内，公司募集资金实际使用情况详见附表2025年年度募集资金使用情况对照表。募投项目实际投资进度与投资计划不存在显著差异，也不存在无法单独核算效益的情形。
　　（二）募投项目先期投入及置换情况
　　报告期内公司不涉及对预先投入募投项目自筹资金置换的情形。
　　（三）用闲置募集资金暂时补充流动资金情况
　　截至2025年12月31日，公司不存在闲置募集资金暂时补充流动资金的情形。
　　（四）对闲置募集资金进行现金管理、投资相关产品情况
　　2025年4月23日公司召开了第二届董事会第十九次会议和第二届监事会第十七次会议，审议通过了《关于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的议案》，同意公司在确保不影响募集资金安全和投资项目资金使用进度安排以及公司正常业务开展的前提下， 使用不超过人民币40,000万元（含本数）的暂时闲置募集资金和不超过30,000万元（含本数）的暂时闲置自有资金进行现金管理，用于购买安全性高、流动性好、有保本约定的投资产品（包括但不限于协定存款、通知存款、定期存款、大额存单、收益凭证等）。在上述 额度范围内，资金可以滚动使用，使用期限不超过股东会审议通过 之日起12个月。
　　截至2025年12月31日，公司对募集资金进行现金管理情况详见下表：
　　单位：人民币元
　　■
　　（五）用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况
　　截至2025年12月31日，公司无此种情形。
　　（六）超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）的情况
　　截至2025年12月31日，公司无此种情形。
　　（七）节余募集资金使用情况
　　因募投项目均尚未实施完毕，报告期内，公司不存在使用节余募集资金的情形。
　　四、变更募集资金投资项目的资金使用情况
　　（一）变更募集资金投资项目情况
　　报告期内公司募集资金投资项目未发生变更。
　　（二）募集资金投资项目对外转让或置换情况
　　报告期内公司募集资金投资项目不存在对外转让或置换的情况。
　　五、募集资金使用及披露中存在的问题
　　公司已按《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上市公司监管指引第2号一一上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一一规范运作》和《管理办法》等相关规定及时、真实、准确、完整地披露了公司募集资金的存放及实际使用情况，不存在募集资金管理违规的情况。
　　六、会计师事务所对公司2025年度募集资金存放与使 用情况出具的鉴证报告的结论性意见
　　容诚会计师事务所（特殊普通合伙）认为：公司《2025年度募集资金存放与使用情况的专项报告》在所有重大方面按照《上市公司监管指引第2号一 一上市公司募集资金管理和使用的监管要求》及交易所的相关规定编制，公允反映了公司2025年度募集资金实际存放与使用情况。
　　七、保荐机构对公司2025年度募集资金存放与使用情况所出具的专项核查报告的结论性意见
　　经核查，保荐机构认为：公司2025年度募集资金的存放与使用符合《证券发行上市保荐业务管理办法》、《上市公司监管指引第2 号一一上市公司募集资金管理和使用的监管要求》、《上海证券交易所科创板股票上市规则》、《上海证券交易所科创板上市公司自律监 管指引第1号一一规范运作》等相关规定及公司募集资金管理制度， 对募集资金进行了专户存储和使用，截至2025年12月31日，公司不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情形，不存在违规使用募集资金的情形，公司募集资金使用不存在违反国家反洗钱相关法 律法规的情形。保荐机构对公司2025年度募集资金存放与使用情况无异议。
　　特此公告。
　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会
　　2026年3月14日
　　附表1：
　　募集资金使用情况对照表
　　单位：元 币种：人民币
　　■
　　
　　证券代码：688630 证券简称：芯碁微装 公告编号：2026-011
　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司
　　关于修订公司于H股发行上市后适用的《公司章程》的公告
　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“公司”）于 2026年3月13日召开第三届董事会第四会议，审议通过了《关于修订公司于H股发行上市后适用的公司章程的议案》。现将具体情况公告如下：
　　一、 修订《公司章程》的相关情况
　　基于公司发行H股并上市需要，根据公司发行H股并上市进程以及香港中央结算有限公司（HKSCC）对在境内注册成立的发行人在香港发行股票并上市的要求，结合公司的实际情况及需求，对H股发行上市后适用的《公司章程》进行修订，具体修订内容如下（修订处加粗表示）：
　　■
　　除上述修订的条款外，H股上市后适用的公司章程其他条款保持不变，修订后的《公司章程（H股适用）》尚需提交公司股东会审议，并自公司发行的境外上市股份（H 股）于香港联合交易所有限公司挂牌上市之日起生效并实施。修订后的《公司章程（H股适用）》全文同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）予以披露。
　　特此公告。
　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会
　　2026年3月14日
　　公司代码：688630 公司简称：芯碁微装