证券代码：688082 证券简称：盛美上海 公告编号：2025-085
　　盛美半导体设备（上海）股份有限公司
　　关于使用自有资金方式支付募投项目所需资金并
　　以募集资金等额置换的公告
　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
　　盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”、“盛美上海”）于2025年11月17日召开第三届董事会第一次会议，审议通过了《关于使用自有资金方式支付募投项目所需资金并以募集资金等额置换的议案》。为提升公司运营管理效率，同意公司在募集资金投资项目（以下简称“募投项目”）实施期间使用自有资金方式支付募投项目所需部分资金，后续以募集资金等额置换，从募集资金专户划转资金至公司非募集资金账户，该部分置换资金视同募投项目使用资金。保荐机构国泰海通证券股份有限公司（以下简称“保荐机构”）对本事项出具了明确的核查意见，现将具体情况公告如下：
　　一、募集资金的基本情况
　　根据中国证券监督管理委员会核发的《关于同意盛美半导体设备（上海）股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可[2025]1338号），公司于2025年9月26日向特定对象发行A股38,601,326股（以下简称“本次发行”），每股的发行价为人民币116.11元，募集资金总额为人民币4,481,999,961.86元，扣除各项发行费用人民币46,984,264.81元（不含增值税），实际募集资金净额为人民币4,435,015,697.05元。上述募集资金到位情况已经立信会计师事务所（特殊普通合伙）审验并出具信会师报字[2025]第ZI10808号《验资报告》予以确认。
　　为规范公司及子公司募集资金的管理、存放和使用，切实保护投资者权益，公司及子公司盛帷半导体设备（上海）有限公司（以下简称“盛帷上海”）开设了募集资金专项账户，并与保荐机构、存放募集资金的各商业银行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》《募集资金专户存储四方监管协议》。募集资金到账后，已全部存放于经公司董事会批准开设的募集资金专项账户内。
　　二、募集资金投资项目情况
　　根据《盛美半导体设备（上海）股份有限公司2024年度向特定对象发行A股股票募集说明书》以及《关于调整募集资金投资项目拟投入募集资金金额的公告》（公告编号：2025-075）的相关内容，本次发行募集资金扣除各项发行费用后，将用于投入以下项目：
　　单位：万元
　　■
　　三、募投项目实施期间使用自有资金支付募投项目所需资金并以募集资金置换的原因以及操作流程
　　根据中国证券监督管理委员会发布的《上市公司募集资金监管规则》第十五条第二款规定：“募集资金投资项目实施过程中，原则上应当以募集资金直接支付，在支付人员薪酬、购买境外产品设备等事项中以募集资金直接支付确有困难的，可以在以自筹资金支付后六个月内实施置换。”
　　公司及其子公司在募投项目实施过程中，根据募集资金专款专用原则，相关支出原则上应当以募集资金直接支付。在募投项目实施期间，公司及其子公司存在使用募集资金直接支付存在一定困难的实际情况，故使用自有资金支付募投项目的部分款项，并使用募集资金实施置换，主要原因如下：
　　在募集资金到位前、公司及子公司以自有资金实施募投项目期间，存在非募投项目实施主体为募投项目采购设备或原材料的情形，具体为“研发和工艺测试平台建设项目”的实施主体为盛帷上海，盛美上海以自有资金采购了部分该项目所需设备或原材料。
　　截至募集资金到位时，上述部分采购合同或订单仍有部分款项尚未支付，且相关供应商均已开具付款发票。为便于操作实践、推动项目按计划顺利实施，盛美上海拟按原合同约定履行付款义务，后续由盛帷上海使用募集资金予以置换，该部分置换资金视同募投项目使用资金。
　　为保证账目准确，并满足监管要求和管理需求，上述事项具体流程如下：
　　1、盛帷上海根据实际需要以及相关内控制度，与盛美上海签订采购等相关协议。盛美上海根据协议要求，进一步对上述事项进行采购并以自有资金垫付，同时分类汇总并保留相关支付单据；
　　2、根据《上市公司募集资金监管规则》及公司《募集资金管理制度》的相关规定，综合考虑募投项目用款情况，由相关负责部门业务经理提出申请，并匹配相应结算单、合同协议、订单、发票及报关单等，按照公司内控签核制度复核、审批付款申请单后，交由财务部门复核募集资金项目的结算，并报财务经理审批；
　　3、使用募集资金进行支付的付款申请单得到批准后，盛帷上海再根据所签订的协议，在盛美上海以自有资金方式支付后的6个月内，从募集资金专项账户中划拨款项至盛美上海的自有资金账户。公司编制相关明细账，明细账应逐笔记载相关交易的账户、金额、摘要等。保荐机构及保荐代表人应每月及时获取上述提及的明细账、协议、订单、发票、付款审批单、报关单等相应支付凭证，检查其流程的合规性以及交易发生的真实性，并将相关凭证与募集资金专户进行综合比对，确保公司募集资金存放和使用的合法合规性；
　　4、此外，保荐机构和保荐代表人对公司使用自有资金支付募投项目部分款项并以募集资金置换的情况进行持续监督，有权定期或不定期对公司采取现场核查、书面问询等方式行使监督权，公司及募集资金存放银行应当配合保荐机构的核查与问询。
　　四、对公司日常经营的影响
　　公司在募投项目实施期间，针对前述事项，使用自有资金支付募投项目所需资金，后续以募集资金置换，是基于募集资金相关制度规定及公司业务实际情况的操作处理，有利于提升公司运营管理效率，保障募投项目的顺利推进，符合公司及股东的利益，不会影响公司募投项目的正常开展，不存在改变或变相改变募集资金投向及损害公司和股东利益的情形。
　　五、公司履行的审议程序
　　公司于2025年11月12日、17日分别召开第二届董事会审计委员会2025年第六次会议和第三届董事会第一次会议，审议通过了《关于使用自有资金方式支付募投项目所需资金并以募集资金等额置换的议案》，同意公司在募投项目实施期间就前述事项使用自有资金方式支付募投项目所需部分资金，后续以募集资金置换，从募集资金专户划转资金至公司非募集资金账户，该部分置换资金视同募投项目使用资金。该事项在董事会权限范围内，无需提交股东会审议。
　　六、专项意见说明
　　（一）审计委员会意见
　　审计委员会认为：募投项目实施期间，公司就盛美上海为“研发和工艺测试平台建设项目”采购设备或原材料事项使用自有资金支付募投项目所需资金并以募集资金等额置换，履行了必要的决策程序，制定了相应的操作流程，上述事项的实施，不会影响募投项目的正常进行，不存在改变或变相改变募集资金用途和损害股东利益的情况，决策和审批程序符合《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一一规范运作》以及公司《募集资金管理制度》等相关法律法规和规范性文件的规定。
　　综上，审计委员会同意公司在募投项目实施期间就上述事项使用自有资金支付募投项目所需资金并以募集资金等额置换，并将该事项提交公司董事会审议。
　　（二）保荐机构核查意见
　　经核查，保荐机构认为：公司使用自有资金方式支付募投项目所需资金并以募集资金等额置换的事项已经审计委员会、董事会审议通过，履行了必要的审批程序，不存在变相改变募集资金用途，不会影响募集资金投资计划的正常进行和损害股东利益；相关事项符合《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一一规范运作》以及公司《募集资金管理制度》等相关法律法规和规范性文件的规定。保荐机构对公司使用自有资金方式支付募投项目所需资金并以募集资金等额置换的事项无异议。
　　七、上网公告附件
　　《国泰海通证券股份有限公司关于盛美半导体设备（上海）股份有限公司使用自有资金方式支付募投项目所需资金并以募集资金等额置换的核查意见》
　　特此公告。
　　盛美半导体设备（上海）股份有限公司
　　董事会
　　2025年11月19日
　　证券代码：688082 证券简称：盛美上海 公告编号：2025-083
　　盛美半导体设备（上海）股份有限公司
　　第三届董事会第一次会议决议公告
　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
　　一、董事会会议召开情况
　　2025年11月17日，盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）第三届董事会第一次会议在中国（上海）自由贸易试验区丹桂路999弄B2栋会议室举行，本次会议应出席董事7名，实际出席会议的董事7名。全体董事认可本次会议的通知时间、议案内容等事项。本次会议的召集和召开程序符合《中华人民共和国公司法》（以下简称《公司法》）《中华人民共和国证券法》等法律法规及《盛美半导体设备（上海）股份有限公司章程》（以下简称《公司章程》）和《盛美半导体设备（上海）股份有限公司董事会议事规则》的相关规定，合法有效。
　　本次会议由公司全体董事共同推举HUI WANG先生主持。
　　二、董事会会议审议情况
　　（一）审议通过了《关于选举公司第三届董事会董事长的议案》
　　公司董事会同意选举HUI WANG先生担任公司第三届董事会董事长，并担任公司法定代表人，任期自董事会审议通过之日起至第三届董事会届满之日止。
　　表决情况：7票赞成，占全体董事人数的100%；0票弃权；0票反对。
　　详见同日在上海证券交易所（http://www.sse.com.cn）披露的《关于完成董事会换届选举及聘任高级管理人员的公告》（公告编号：2025-084）。
　　（二）审议通过了《关于选举公司第三届董事会各专门委员会委员的议案》
　　公司董事会同意选举产生第三届董事会战略委员会、审计委员会、提名委员会、薪酬与考核委员会、ESG委员会，具体如下：
　　■
　　公司第三届董事会各专门委员会委员的任期自董事会审议通过之日起至第三届董事会届满之日止。
　　表决情况：7票赞成，占全体董事人数的100%；0票弃权；0票反对。
　　详见同日在上海证券交易所（http://www.sse.com.cn）披露的《关于完成董事会换届选举及聘任高级管理人员的公告》（公告编号：2025-084）。
　　（三）审议通过了《关于聘任公司总经理的议案》
　　公司董事会同意聘任王坚先生担任公司总经理，任期自董事会审议通过之日起至第三届董事会届满之日止。
　　本议案已经董事会提名委员会审核通过，并同意提交董事会审议。
　　表决情况：7票赞成，占全体董事人数的100%；0票弃权；0票反对。
　　详见同日在上海证券交易所（http://www.sse.com.cn）披露的《关于完成董事会换届选举及聘任高级管理人员的公告》（公告编号：2025-084）。
　　（四）审议通过了《关于聘任公司其他高级管理人员的议案》
　　公司董事会同意聘任陈福平先生、王俊先生担任公司副总经理，聘任LISA YI LU FENG女士担任公司财务负责人，聘任罗明珠女士担任董事会秘书，任期自董事会审议通过之日起至第三届董事会届满之日止。
　　本议案已经董事会提名委员会审核通过，其中聘任公司财务负责人的议案已经董事会审计委员会审议通过，并同意提交董事会审议。
　　表决情况：7票赞成，占全体董事人数的100%；0票弃权；0票反对。
　　详见同日在上海证券交易所（http://www.sse.com.cn）披露的《关于完成董事会换届选举及聘任高级管理人员的公告》（公告编号：2025-084）。
　　（五）审议通过了《关于使用自有资金方式支付募投项目所需资金并以募集资金等额置换的议案》
　　本议案已经董事会审计委员会审议通过，并同意提交董事会审议。
　　表决情况：7票赞成，占全体董事人数的100%；0票弃权；0票反对。
　　详见同日在上海证券交易所（http://www.sse.com.cn）披露的《关于使用自有资金方式支付募投项目所需资金并以募集资金等额置换的公告》（公告编号：2025-085）。
　　（六）审议通过了《关于使用部分募集资金向全资子公司增资以实施募投项目的议案》
　　本议案已经董事会战略委员会、董事会审计委员会审议通过，并同意提交董事会审议。
　　表决情况：7票赞成，占全体董事人数的100%；0票弃权；0票反对。
　　详见同日在上海证券交易所（http://www.sse.com.cn）披露的《关于使用部分募集资金向全资子公司增资以实施募投项目的公告》（公告编号：2025-086）。
　　特此公告。
　　盛美半导体设备（上海）股份有限公司
　　董事会
　　2025年11月19日
　　证券代码：688082 证券简称：盛美上海 公告编号：2025-086
　　盛美半导体设备（上海）股份有限公司
　　关于使用部分募集资金向全资子公司增资以实施募投项目的公告
　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
　　重要内容提示：
　　● 增资标的名称：盛帷半导体设备（上海）有限公司（以下简称“盛帷上海”）
　　● 增资金额及来源：募集资金92,234.85万元
　　● 本次增资标的为公司全资子公司，相关事项已经公司第三届董事会第一次会议审议通过，在董事会权限范围内，无需提交股东审议。
　　● 本次增资不构成关联交易，亦不构成重大资产重组。
　　盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）于2025年11月17日召开第三届董事会第一次会议，审议通过了《关于使用部分募集资金向全资子公司增资以实施募投项目的议案》，同意公司使用募集资金92,234.85万元向公司全资子公司盛帷上海增资以实施“研发和工艺测试平台建设项目”。保荐机构国泰海通证券股份有限公司（以下简称“保荐机构”）对本事项出具了明确的核查意见。现将具体情况公告如下：
　　一、募集资金的基本情况
　　根据中国证券监督管理委员会核发的《关于同意盛美半导体设备（上海）股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可[2025]1338号），公司于2025年9月26日向特定对象发行A股38,601,326股（以下简称“本次发行”），每股的发行价为人民币116.11元，募集资金总额为人民币4,481,999,961.86元，扣除各项发行费用人民币46,984,264.81元（不含增值税），实际募集资金净额为人民币4,435,015,697.05元。上述募集资金到位情况已经立信会计师事务所（特殊普通合伙）审验并出具信会师报字[2025]第ZI10808号《验资报告》予以确认。
　　为规范公司及子公司募集资金的管理、存放和使用，切实保护投资者权益，公司及子公司盛帷上海开设了募集资金专项账户，并与保荐机构、存放募集资金的各商业银行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》《募集资金专户存储四方监管协议》。募集资金到账后，已全部存放于经公司董事会批准开设的募集资金专项账户内。
　　二、募集资金投资项目情况
　　根据《盛美半导体设备（上海）股份有限公司2024年度向特定对象发行A股股票募集说明书》以及《关于调整募集资金投资项目拟投入募集资金金额的公告》（公告编号：2025-075）的相关内容，本次发行募集资金扣除各项发行费用后，将用于投入以下项目：
　　单位：万元
　　■
　　三、本次向全资子公司增资的基本情况
　　公司于2025年11月12日分别召开第二届董事会战略委员会2025年第三次会议和第二届董事会审计委员会2025年第六次会议，于2025年11月17日召开第三届董事会第一次会议，审议通过了《关于使用部分募集资金向全资子公司增资以实施募投项目的议案》。鉴于公司2024年度向特定对象发行A股股票募集资金投资项目（以下简称“募投项目”）“研发和工艺测试平台建设项目”的实施主体为公司全资子公司盛帷上海，为保障募投项目的顺利实施，同意公司使用募集资金92,234.85万元向盛帷上海增资用以实施该募投项目。增资金额将全部作为注册资本，本次增资完成后，盛帷上海注册资本将由人民币70,000.00万元增加至162,234.85万元，盛帷上海仍为公司的全资子公司。
　　四、本次增资对象的基本情况
　　■
　　注：上表中所列示的2024年12月31日/2024年度财务数据已经立信会计师事务所（特殊普通合伙）审计；2025年9月30日/2025年1-9月的财务数据未经审计。
　　五、本次增资对公司日常经营的影响
　　公司本次对盛帷上海进行增资，是基于公司募集资金使用计划实施的具体需要，有助于推进募投项目“研发和工艺测试平台建设项目”的建设，有利于提高募集资金使用效率，符合公司的发展战略，符合公司及全体股东的利益，未改变募集资金投资方向，不存在改变或变相改变募集资金用途的情形，不存在损害公司及股东利益的情况。
　　六、本次增资后募集资金管理
　　为确保募集资金使用安全，盛帷上海开设了募集资金专项账户，并与保荐机构、存放募集资金的商业银行签署了《募集资金专户存储四方监管协议》，具体内容详见公司于2025年9月27日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《关于开设募集资金专项账户并签订募集资金监管协议的公告》（公告编号：2025-067）。
　　公司及子公司将严格按照《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一一规范运作》等法律法规、规范性文件以及公司《募集资金管理制度》的相关规定，对募集资金进行管理和使用，并将根据相关事项进展情况，及时履行信息披露义务。
　　七、公司履行的审议程序
　　公司于2025年11月12日召开第二届董事会战略委员会2025年第三次会议和第二届董事会审计委员会2025年第六次会议，于2025年11月17日召开第三届董事会第一次会议，审议通过了《关于使用部分募集资金向全资子公司增资以实施募投项目的议案》，同意公司使用募集资金92,234.85万元向公司全资子公司盛帷上海增资以实施“研发和工艺测试平台建设项目”。该事项在董事会权限范围内，无需提交股东会审议。
　　八、专项意见说明
　　（一）审计委员会意见
　　审计委员会认为：公司本次向全资子公司增资，是基于募投项目“研发和工艺测试平台建设项目”建设的需要，有利于促进募投项目的实施，符合募集资金的使用计划。增资事项履行了必要的审议程序，不存在改变或变相改变募集资金用途的情形，不存在损害公司及股东利益的情况，符合《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一一规范运作》以及公司《募集资金管理制度》等相关法律法规和规范性文件的规定。
　　综上，审计委员会同意公司使用部分募集资金向全资子公司盛帷上海增资以实施募投项目，并将该事项提交公司董事会审议。
　　（二）保荐机构核查意见
　　经核查，保荐机构认为：公司使用部分募集资金向全资子公司增资以实施募投项目的事项已经战略委员会、审计委员会、董事会审议通过，履行了必要的审批程序，不存在变相改变募集资金用途，不会影响募集资金投资计划的正常进行和损害股东利益；相关事项符合《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一一规范运作》以及公司《募集资金管理制度》等相关法律法规和规范性文件的规定。保荐机构对公司使用部分募集资金向全资子公司增资以实施募投项目的事项无异议。
　　九、上网公告附件
　　《国泰海通证券股份有限公司关于盛美半导体设备（上海）股份有限公司使用部分募集资金向全资子公司增资以实施募投项目的核查意见》
　　特此公告。
　　盛美半导体设备（上海）股份有限公司
　　董事会
　　2025年11月19日
　　证券代码：688082 证券简称：盛美上海 公告编号：2025-084
　　盛美半导体设备（上海）股份有限公司关于完成
　　董事会换届选举及聘任高级管理人员的公告
　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
　　一、董事会换届选举情况
　　（一）董事换届选举情况
　　盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）于2025年11月14日召开2025年第四次临时股东会，采用累积投票制的方式选举HUI WANG、王坚、黄晨为公司第三届董事会非独立董事；选举张苏彤、蒋守雷、陈大同为公司第三届董事会独立董事。公司于2025年11月13日召开职工代表大会，经出席会议的职工代表投票表决，选举杨霞云为公司第三届董事会职工代表董事。
　　本次股东会选举产生的3名非独立董事HUI WANG、王坚、黄晨，3名独立董事张苏彤、蒋守雷、陈大同与职工代表大会选举产生的1名职工代表董事杨霞云共同组成公司第三届董事会，任期自2025年第四次临时股东会审议通过之日起三年。其中，因张苏彤至2026年7月7日将连续担任公司独立董事满六年，公司届时将根据相关制度规定，在其任职到期前选举新任独立董事。
　　第三届董事会董事个人简历详见公司分别于2025年10月30日、2025年11月15日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《关于公司董事会换届选举的公告》（公告编号：2025-074）、《关于选举第三届董事会职工代表董事的公告》（公告编号：2025-081）。
　　（二）董事长及董事会专门委员会选举情况
　　2025年11月17日，公司召开第三届董事会第一次会议，全体董事一致同意选举HUI WANG担任公司第三届董事会董事长，并担任公司法定代表人。同时选举产生第三届董事会战略委员会、审计委员会、提名委员会、薪酬与考核委员会、ESG委员会，具体如下：
　　■
　　其中，审计委员会、提名委员会、薪酬与考核委员会中独立董事均占半数以上，并由独立董事担任主任委员，且审计委员会主任委员张苏彤为会计专业人士。公司第三届董事会董事长及各专门委员会委员的任期自第三届董事会第一次会议审议通过之日起至第三届董事会届满之日止。
　　二、高级管理人员聘任情况
　　2025年11月17日，公司召开第三届董事会第一次会议，审议通过《关于聘任公司总经理的议案》《关于聘任公司其他高级管理人员的议案》，同意聘任王坚担任公司总经理，聘任陈福平、王俊担任公司副总经理，聘任LISA YI LU FENG担任公司财务负责人，聘任罗明珠担任董事会秘书（上述人员简历附后），任期与公司第三届董事会任期相同。
　　上述高级管理人员均具备与其行使职权相适应的任职条件，其任职资格符合《中华人民共和国公司法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》等有关法律法规、规范性文件的规定，不存在受到中国证券监督管理委员会、上海证券交易所处罚的情形。
　　公司董事会提名委员会对上述高级管理人员的任职资格进行了审查，聘任公司财务负责人的议案已经公司董事会审计委员会审议通过。董事会秘书罗明珠已取得上海证券交易所科创板董事会秘书资格证书，符合《中华人民共和国公司法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一一规范运作》等规定的董事会秘书任职资格。
　　三、公司董事会秘书联系方式
　　电话：021-50276506
　　邮箱：ir@acmrcsh.com
　　联系地址：中国（上海）自由贸易试验区丹桂路999弄B2栋
　　特此公告。
　　盛美半导体设备（上海）股份有限公司
　　董事会
　　2025年11月19日
　　附件：高级管理人员简历
　　王坚：男，1965年2月出生，中国国籍，无境外永久居留权，机械专业硕士、计算机科学专业硕士。1986年7月至1987年4月任杭州西湖电视机厂技术员；1996年4月至1999年12月任日本富士精版印刷株式会社技术员；2001年12月至2019年4月历任盛美上海工艺工程师、副总经理；2019年5月至今任盛美上海总经理；2020年7月至今任盛美上海董事。成功研发无应力铜抛光和电化学镀铜技术，参与申请发明专利100余项，负责多项重大科研项目。
　　截至2025年11月17日，王坚直接持有公司股份530,607股。王坚除与公司实际控制人、董事长HUI WANG为兄弟关系外，与公司其他董事、高级管理人员均不存在关联关系；不存在《公司法》中规定的不得担任公司高级管理人员的情形，不存在被中国证监会确定为市场禁入者且尚在禁入期的情形，也不存在被证券交易所公开认定不适合担任上市公司高级管理人员的情形，未受过中国证监会、证券交易所及其他有关部门处罚和惩戒，不属于最高人民法院公布的失信被执行人，符合《公司法》等相关法律、法规和规范性文件要求的任职条件。
　　陈福平：男，1981年8月出生，中国国籍，无境外永久居留权，电子信息专业博士。历任海力士半导体（中国）有限公司工程师、副经理，盛美上海项目经理、技术经理、技术总监、资深总监。现任盛美上海副总经理。
　　截至2025年11月17日，陈福平直接持有公司股份453,609股。陈福平与公司控股股东、实际控制人及公司其他董事、高级管理人员均不存在关联关系；不存在《公司法》中规定的不得担任公司高级管理人员的情形，不存在被中国证监会确定为市场禁入者且尚在禁入期的情形，也不存在被证券交易所公开认定不适合担任上市公司高级管理人员的情形，未受过中国证监会、证券交易所及其他有关部门处罚和惩戒，不属于最高人民法院公布的失信被执行人，符合《公司法》等相关法律、法规和规范性文件要求的任职条件。
　　王俊：男，1984年3月出生，中国国籍，无境外永久居留权，电子与通信工程专业硕士。2007年5月至2020年4月历任盛美上海电气工程经理、高级经理、电气工程总监，2020年5月至今任盛美上海工程部副总裁，资深工程部副总裁，负责所有设备电气控制系统的设计与团队建设。参与TEBO单片清洗设备和Tahoe单片槽式组合清洗设备相关专利申请，负责中国02科技重大专项研发项目“65-45nm 铜互连无应力抛光设备研发”、“铜互连镀铜设备研发与应用”及上海市战略性新兴产业重大项目“单片槽式组合清洗机研发与产业化”项目电气控制系统的开发。
　　截至2025年11月17日，王俊直接持有公司股份103,846股。王俊与公司控股股东、实际控制人及公司其他董事、高级管理人员均不存在关联关系；不存在《公司法》中规定的不得担任公司高级管理人员的情形，不存在被中国证监会确定为市场禁入者且尚在禁入期的情形，也不存在被证券交易所公开认定不适合担任上市公司高级管理人员的情形，未受过中国证监会、证券交易所及其他有关部门处罚和惩戒，不属于最高人民法院公布的失信被执行人，符合《公司法》等相关法律、法规和规范性文件要求的任职条件。
　　LISA YI LU FENG：女，1958年4月出生，美国国籍，无其他国家永久居留权，会计学硕士。历任Lumenis Inc.区域财务总监、Amlogic (CA) Co., Inc.财务总监、ACM RESEARCH, INC. 财务总监。现任盛美上海财务负责人。
　　截至2025年11月17日，LISA YI LU FENG直接持有公司股份260,100股。LISA YI LU FENG与公司控股股东、实际控制人及公司其他董事、高级管理人员均不存在关联关系；不存在《公司法》中规定的不得担任公司高级管理人员的情形，不存在被中国证监会确定为市场禁入者且尚在禁入期的情形，也不存在被证券交易所公开认定不适合担任上市公司高级管理人员的情形，未受过中国证监会、证券交易所及其他有关部门处罚和惩戒，不属于最高人民法院公布的失信被执行人，符合《公司法》等相关法律、法规和规范性文件要求的任职条件。
　　罗明珠：女，1983年8月出生，中国国籍，无境外永久居留权，大专学历。历任盛美上海总裁助理、总裁办公室经理、总裁办公室总监。2018年10月至今担任盛奕半导体科技（无锡）有限公司董事，2019年11月至今担任盛美上海董事会秘书。罗明珠已获得上海证券交易所科创板颁发的董事会秘书资格证书。
　　截至2025年11月17日，罗明珠直接持有公司股份265,783股。罗明珠与公司控股股东、实际控制人及公司其他董事、高级管理人员均不存在关联关系；不存在《公司法》中规定的不得担任公司高级管理人员的情形，不存在被中国证监会确定为市场禁入者且尚在禁入期的情形，也不存在被证券交易所公开认定不适合担任上市公司高级管理人员的情形，未受过中国证监会、证券交易所及其他有关部门处罚和惩戒，不属于最高人民法院公布的失信被执行人，符合《公司法》等相关法律、法规和规范性文件要求的任职条件。