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　　注：相关章节、条款及交叉引用所涉及的序号根据上述内容做相应调整。除上述修订的条款外，《公司章程》其他条款不变。
　　除上述条款外，其他条款不变。修订的内容最终以工商登记机关核准的内容为准，修订后的《公司章程》于同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）予以披露。
　　三、制定、修订及废止公司部分治理制度的情况
　　为进一步促进公司规范运作，落实中国证监会关于上市公司内部监督、治理机构调整的相关规定，根据《公司法》《上海证券交易所科创板股票上市规则（2025年4月修订）》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一一规范运作（2025年5月修订）》等有关法律、法规及规范性文件的规定，结合公司实际情况，公司拟制定和修订部分治理制度。
　　此外，鉴于公司《独立董事年报工作制度》依据的法规条文已失效，相关独立董事的职责已通过公司《独立董事工作制度》进行规范，拟废止《独立董事年报工作制度》。
　　本次修订、制定的治理制度情况如下。
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　　修订后的《公司章程》及部分公司治理制度的具体内容详见上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）。为了保证本次章程修订有关事宜的顺利进行，公司董事会特提请股东大会授权董事长、总经理或其授权的其他人士办理后续变更登记、章程备案等相关事宜。待股东大会审议通过后，公司将及时办理变更登记及章程备案等法律手续，上述变更最终以市场监督管理部门核准的内容为准。
　　特此公告。
　　中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会
　　2025年8月29日
　　
　　证券代码：688012 证券简称：中微公司 公告编号：2025-054
　　中微半导体设备（上海）股份有限公司
　　关于增加2025年度日常关联交易预计额度的公告
　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
　　重要内容提示：
　　● 是否需要提交股东大会审议：是
　　● 日常关联交易对上市公司的影响：本次增加的关联交易属公司日常关联交易，是正常生产经营业务，以市场价格为定价依据，遵循平等自愿原则，交易风险可控，不存在损害公司及股东利益的情况，不会对关联人形成较大的依赖。
　　一、日常关联交易基本情况
　　（一）日常关联交易履行的审议程序
　　中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）于2025年8月28日召开第三届董事会第六次会议，审议通过《关于增加预计2025年度日常关联交易的议案》，本次增加日常关联交易预计金额合计为54,600万元人民币，涉及向关联人销售商品及提供劳务，向关联人采购商品、设备、接受劳务和承租房屋。关联董事尹志尧回避了表决，此议案获出席会议的非关联董事一致表决通过。
　　2025年8月28日，公司召开独立董事2025年第四次专门会议，审议通过《关于增加预计2025年度日常关联交易的议案》，此议案获全体独立董事一致表决通过。
　　公司董事会审计委员会已就该事项发表了书面审核意见：公司增加预计2025年度日常关联交易是公司按照公平、公正、公开原则开展，相关关联交易价格公允，不会损害公司和全体股东的利益。公司在不断致力于减少关联交易的同时，与关联方的关联交易将继续遵循公平、合理的原则，双方的交易行为均通过合同的方式予以约定。关联交易对公司的财务状况、经营成果不会产生任何不利影响，公司的主要业务也不会因此类交易而对关联方形成依赖。
　　本次关联交易事项涉及金额已达到3000万元以上，且占上市公司最近一期经审计总资产或市值1%以上，需提交公司股东大会审议，关联股东应在股东大会上对相关议案回避表决。
　　（二）本次增加的日常关联交易预计金额和类别
　　单位：人民币 万元
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　　注1：上表中本次预计金额占同类业务比例计算公式的分母为2024年同类业务金额。
　　（三）前次日常关联交易的预计和执行情况
　　单位：人民币 万元
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　　二、关联人基本情况和关联关系
　　（一）关联人的基本情况
　　深圳市志橙半导体材料股份有限公司成立于2017年12月26日，法定代表人朱佰喜，注册资本6,000万元人民币，注册地址位于深圳市宝安区松岗街道潭头社区健仓科技研发厂区办公楼307。其经营范围为研发、设计、销售：电子元器件、半导体产品、化合物半导体产品、光学电子产品、太阳能产品、金属材料和金属化合物材料；非危险性化学品的销售、半导体器件生产设备的销售、维护、维修服务；提供商务咨询服务。自营和代理各类商品及技术的进出口业务（国家限定企业经营或禁止进出口的商品和技术除外）。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）^电子元器件、半导体产品、化合物半导体产品、光学电子产品、太阳能产品、金属材料和金属化合物材料的制造。
　　睿励科学仪器（上海）有限公司成立于2005年6月27日，法定代表人杨峰，注册资本84071.5708万元人民币，注册地址位于中国（上海）自由贸易试验区华佗路68号6幢。其经营范围为研制、生产半导体设备，销售自产产品，提供相关的技术服务。【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】
　　客户A、客户B：根据《上海证券交易所科创板股票上市规则》的相关规定，本次交易对方客户A、客户B与公司构成关联关系，为公司关联法人，上述交易构成关联交易。鉴于上述关联交易涉及内容属于公司商业秘密，披露交易信息可能对上市公司经营产生不利影响，损害公司、公司股东及交易对方的利益。公司根据《上海证券交易所科创板股票上市规则》等法律法规及公司《信息披露暂缓与豁免业务管理制度》的有关规定，履行了信息豁免披露内部登记及审批程序，为维护上市公司及投资者利益，公司对本次关联交易的关联方基本情况进行了豁免披露。
　　（二）与上市公司的关联关系
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　　（三）履约能力分析
　　上述关联方依法存续经营，双方交易能正常结算，前期合同往来执行情况良好。公司将就上述交易与相关方签署相关合同或协议并严格按照约定执行，双方履约具有法律保障。
　　三、新增日常关联交易主要内容
　　（一）关联交易主要内容
　　公司的关联交易主要为向关联方销售商品及提供劳务，主要包括销售刻蚀设备、MOCVD设备、LPCVD设备及相应的备品备件、提供劳务等，关联销售价格主要根据客户在规格型号、产品标准、技术参数等方面的要求，依据市场公允价格确定，不同客户的产品在性能、结构等方面不同，销售价格会存在一定的差异。
　　（二）关联交易协议签署情况
　　为维护双方利益，公司与上述关联方将根据业务开展情况签订对应合同或协议。
　　四、新增日常关联交易目的和对上市公司的影响
　　公司与关联方交易均遵循公平、公正、公开的原则，依据市场价格定价、交易；上述新增关联交易均是公司的正常业务，有利于公司经营业务的发展，不存在损害公司和全体股东利益的行为；公司及关联人在业务、人员、资产、机构、财务等方面保持独立，上述新增关联交易不会对公司的独立性构成影响，公司的主要业务也不会因此类交易而对关联方形成依赖。
　　特此公告。
　　中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会
　　2025年8月29日
　　证券代码：688012 证券简称:中微公司 公告编号：2025-050
　　中微半导体设备（上海）股份有限公司
　　第三届监事会第五次会议决议公告
　　本公司监事会及全体监事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
　　一、监事会会议召开情况
　　中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”或“公司”）第三届监事会第五次会议于2025年8月28日召开。本次会议的通知于2025年8月15日通过电话及邮件方式送达全体监事。会议应出席监事3人，实际到会监事3人，会议由监事会主席邹非女士主持。会议的召集和召开程序符合有关法律、行政法规、部门规章、规范性文件和公司章程的规定，会议决议合法有效。
　　二、监事会会议审议情况
　　（一）审议通过《关于公司2025年半年度报告及摘要的议案》
　　公司监事会认为：董事会编制和审议公司2025年半年度报告及摘要的程序符合法律、行政法规及上海证券交易所、中国证券监督管理委员会的规定，报告内容真实、准确、完整地反映了公司2025年半年度的财务状况和经营成果等事项，不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏。公司《2025年半年度报告》编制过程中，未发现公司参与编制和审议的人员有违反公司保密规定的行为。全体监事一致同意《2025年半年度报告》及其摘要。
　　表决结果：3票赞成，0票反对，0票弃权。
　　具体内容详见公司同日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的相关公告及文件。
　　（二）审议通过《关于2025年半年度募集资金存放与使用情况专项报告的议案》
　　根据《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一一规范运作》及相关格式指引、《中微半导体设备（上海）股份有限公司募集资金管理制度》的规定，结合本公司的实际情况，公司编制了《中微半导体设备（上海）股份有限公司2025年半年度募集资金存放与使用情况的专项报告》。
　　表决结果：3票赞成，0票反对，0票弃权。
　　具体内容详见公司同日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的相关公告及文件。
　　（三）审议通过《关于使用自有资金支付募投项目所需资金并以募集资金等额置换的议案》
　　为提高募投项目实施效率，公司及全资子公司作为募投项目实施主体，使用自有资金先行支付在实施募投项目过程中涉及募投项目部分款项，在定期对各募投项目发生的费用进行归集核算后，再从募集资金专户划转等额资金至公司相关存款账户，该部分等额置换资金视同募投项目使用资金。
　　监事会认为：公司使用自有资金支付募投项目部分款项后续以募集资金等额置换的事项，不存在损害公司及股东利益的情形，不会对募投项目的实施产生实质性的影响，且履行的审议程序符合相关法律法规的规定，符合《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一一规范运作》等法律法规、规范性文件的规定，内容及程序合法合规。监事会同意公司使用自有资金支付募投项目所需资金并以募集资金等额置换。
　　表决结果：3票赞成，0票反对，0票弃权。
　　具体内容详见公司同日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的相关公告及文件。
　　特此公告。
　　中微半导体设备（上海）股份有限公司监事会
　　2025年8月29日
　　证券代码：688012 证券简称：中微公司 公告编号：2025-051
　　中微半导体设备（上海）股份有限公司
　　2025年半年度募集资金存放与实际使用情况专项报告
　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
　　根据《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一一规范运作》等相关规定，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”或“本公司”）董事会编制了2025年半年度（以下简称“报告期”或“本报告期”）募集资金存放与实际使用情况专项报告如下：
　　一、募集资金基本情况
　　（一）实际募集资金金额、资金到账情况
　　1、2019年首次公开发行股票募集资金
　　根据中国证券监督管理委员会于2019年7月1日签发的证监许可[2019]1168号文《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》，中微半导体设备（上海）股份有限公司获准向境内投资者首次公开发行人民币普通股53,486,224股，每股发行价格为人民币29.01元，股款以人民币缴足，计人民币155,163.54万元，扣除承销及保荐费用共计人民币8,782.84万元后，实际收到募集资金计人民币146,380.69万元，再扣除发行中介及其他发行费用人民币合计1,810.41万元后，实际募集资金净额为人民币144,570.28万元（以下简称“首发募集资金”），上述资金于2019年7月16日到位，业经普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）予以验证并出具了普华永道中天验字（2019）第0411号验资报告。
　　2、2020年度向特定对象发行A股股票募集资金
　　中国证券监督管理委员会于2021年3月3日出具证监许可[2021]645号文《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》核准了公司向特定对象发行80,229,335股人民币普通股A股股票。截至2021年6月22日止，公司完成了人民币普通股A股80,229,335股的发行，每股发行价格为人民币102.29元，股款以人民币缴足，合计人民币820,665.87万元，扣除承销及保荐费用共计人民币8,206.66万元（不含增值税）后，实际收到募集资金计人民币812,459.21万元，再扣除其他发行费用人民币合计642.96万元（不含增值税）后，实际募集资金净额为人民币811,816.24万元（以下简称“再融资募集资金”），上述资金于2021年6月22日到位，业经普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）予以验证并出具了普华永道中天验字（2021）第0638号验资报告。
　　（二）募集资金使用及结余情况
　　1、2019年首次公开发行股票募集资金
　　截至2025年6月30日，公司首发募集资金专户余额为人民币20.29万元（含募集资金利息收入扣减手续费净额）。具体情况如下：
　　■
　　2、2020年度向特定对象发行A股股票募集资金
　　截至2025年6月30日，公司再融资募集资金专户余额为人民币51,106.16 万元（含募集资金利息收入扣减手续费净额）。具体情况如下：
　　■
　　二、募集资金管理情况
　　中微公司已按照《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一一规范运作》等相关规定的要求制定《中微半导体设备（上海）股份有限公司募集资金管理制度》，对募集资金实行专户存储制度，对募集资金的存放、使用、项目实施管理、投资项目的变更及使用情况的监督等进行了规定。
　　1、2019年首次公开发行股票募集资金
　　截至2025年6月30日，尚未使用的首发募集资金存放专项账户的余额如下：
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　　本公司依照规定对IPO募集资金采取了专户存储管理，开立了IPO募集资金专户，并于2019年7月与保荐机构海通证券股份有限公司、募集资金专户监管银行招商银行股份有限公司上海金桥支行、中信银行股份有限公司上海分行及中国建设银行股份有限公司上海浦东分行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》。
　　2、2020年度向特定对象发行A股股票募集资金
　　截至2025年6月30日，尚未使用的再融资募集资金存放专项账户的余额如下：
　　■
　　本公司依照规定对再融资募集资金采取了专户存储管理，开立了再融资募集资金专户，并分别于2021年4月与保荐机构海通证券股份有限公司、募集资金专户监管银行招商银行股份有限公司上海分行营业部、中信银行股份有限公司上海浦东分行、上海浦东发展银行股份有限公司张江科技支行及中国建设银行股份有限公司上海浦东分行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》。
　　三、本报告期募集资金的实际使用情况
　　1．募集资金投资项目(以下简称“募投项目”)的资金使用情况
　　本报告期本公司募集资金实际使用情况详见附表1 IPO募集资金使用情况对照表和附表2 再融资募集资金使用情况对照表。
　　2．募投项目先期投入及置换情况
　　本报告期本公司不存在募投项目先期投入和置换情况。
　　3．用闲置募集资金暂时补充流动资金情况
　　本报告期本公司不存在使用闲置募集资金暂时补充流动资金的情况。
　　4．闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况
　　公司为提高募集资金使用效益，将部分暂时闲置募集资金通过通知存款、结构性存款等存款方式或购买安全性高、流动性好、一年以内的短期保本型理财产品等方式进行现金管理，投资产品的期限不超过12个月。
　　公司于2025年4月17日召开第三届董事会第二次会议及第三届监事会第二次会议，审议通过了《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过 350,000万元闲置募集资金进行现金管理，使用期限自前次募集资金现金管理的授权到期之日起12个月内有效，在不超过上述额度及有效期内，可循环滚动使用。
　　（1）2019年首次公开发行股票募集资金
　　于2025年半年度，本公司使用闲置IPO募集资金进行现金管理的情况如下：
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　　（2）2020年度向特定对象发行A股股票募集资金
　　于2025年半年度，公司使用闲置再融资募集资金进行现金管理的情况如下：
　　■
　　5．用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况
　　本报告期本公司不存在使用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况。
　　6．使用超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）的情况
　　本报告期本公司不存在使用超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）的情况。
　　7.节余募集资金使用情况
　　本报告期本公司不存在节余募集资金使用情况。
　　8.募集资金使用的其他情况
　　本报告期本公司不存在募集资金使用的其他情况。
　　四、变更募集资金投资项目的资金使用情况
　　截至2025年6月30日，公司募集资金投资项目不存在变更、对外转让或置换情况。
　　五、募集资金使用及披露中存在的问题
　　公司已经披露的募集资金相关信息及时、真实、准确、完整；已使用的募集资金均投向所承诺的募集资金投资项目，不存在违规使用募集资金的情形。
　　特此公告。
　　中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会
　　2025年8月29日
　　附件1：首发募集资金使用情况对照表：
　　金额单位：人民币万元
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　　附件2：再融资募集资金使用情况对照表：
　　金额单位：人民币万元
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　　证券代码：688012 证券简称：中微公司 公告编号：2025-053
　　中微半导体设备（上海）股份有限公司
　　关于变更公司董事的公告
　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。
　　中微半导体设备（上海）股份有限公司（简称“公司”）董事会于近日收到股东巽鑫（上海）投资有限公司《董事提名函》，原任董事杨卓先生因工作职责变动无法继续履行公司董事职责，巽鑫（上海）投资有限公司作为中微公司持有3%以上股份的股东，根据《公司章程》相关规定，现提名袁训先生为公司第三届董事会新任董事候选人，任期至本届董事会任期届满之日止。
　　一、董事离任情况
　　(一)提前离任的基本情况
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　　(二)离任对公司的影响
　　鉴于杨卓先生的离任未导致公司董事会成员低于法定人数，按照《公司法》和《公司章程》等的相关规定，杨卓先生的离任自公司股东大会审议通过之日起生效。杨卓先生的离任不影响公司正常生产经营，也不存在应当履行而未履行的承诺事项，并将按照公司相关规定做好离任交接工作。
　　杨卓先生在担任公司董事职务期间勤勉尽责，为公司的规范运作和健康发展发挥了极为重要的积极作用，公司对杨卓先生在任职期间所做的卓越贡献表示衷心感谢！
　　二、关于变更董事的情况
　　根据《上海证券交易所科创板股票上市规则》、《公司章程》等相关法律法规和制度的规定，经公司董事会提名委员会审议通过提名袁训先生担任公司董事，任期与公司第三届董事会任期一致。
　　2025年8月28日，公司第三届董事会第六次会议审议通过了《关于更换公司董事并相应调整董事会专门委员会成员的议案》，同意提名袁训为公司第三届董事会董事候选人，任期自股东大会审议通过之日起至公司第三届董事会届满之日止。若袁训当选公司董事，将同时担任董事会审计委员会委员及战略委员会委员，任期自公司股东大会审议通过之日起至公司第三届董事会届满之日止。
　　本事项须提交股东大会审议。
　　袁训先生的简历见附件。
　　特此公告。
　　中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会
　　2025年8月29日
　　附袁训先生简历
　　袁训，1972年2月出生，中共党员，毕业于北京大学，硕士研究生学历。曾在北京华虹NEC集成电路设计有限公司、意法爱立信半导体(北京)有限公司、微软移动(中国)投资有限公司工作，2015年加入华芯投资管理有限责任公司，历任投资二部高级经理，战略发展部副总经理、总经理，投资四部总经理，投资四部兼投资三部总经理，现任业务三部总经理。
　　袁训先生未持有公司股票，除上述披露外，与公司的其他董事、高级管理人员不存在关联关系，未受过中国证监会及其他有关部门的处罚和证券交易所惩戒。
　　证券代码：688012 证券简称：中微公司 公告编号：2025-055
　　中微半导体设备（上海）股份有限公司
　　关于使用自有资金支付募投项目所需资金并以募集资金等额置换的公告
　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
　　根据《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1 号一一规范运作》及公司《募集资金管理制度》相关规定，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）于2025年8月28日召开第三届董事会第六次会议、第三届监事会第五次会议审议通过了《关于使用自有资金支付募投项目所需资金并以募集资金等额置换的议案》，同意公司及子公司作为实施主体在募投项目实施期间，根据实际情况先行使用自有资金支付募投项目所需资金，在履行内部相关审批程序后定期以募集资金等额置换。具体情况如下：
　　一、募集资金基本情况
　　（一）实际募集资金金额、资金到账情况
　　经上海证券交易所审核同意，并根据中国证券监督管理委员会于2021年3月3日出具证监许可[2021]645号文《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》，公司向特定对象发行80,229,335股人民币普通股A股股票。截至2021年6月22日止，公司完成了人民币普通股A股80,229,335股的发行，每股发行价格为人民币102.29元，股款以人民币缴足，合计人民币820,665.87万元，扣除承销及保荐费用共计人民币8,206.66万元（不含增值税）后，实际收到募集资金计人民币812,459.21万元，再扣除其他发行费用人民币合计642.96万元（不含增值税）后，实际募集资金净额为人民币811,816.24万元（以下简称“再融资募集资金”），上述资金于2021年6月22日到位，业经普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）予以验证并出具了普华永道中天验字（2021）第0638号验资报告。
　　（二）募集资金投资项目情况
　　根据《中微半导体设备（上海）股份有限公司2020年度向特定对象发行A股股票募集说明书》及《中微公司：关于调整向特定对象发行股票募投项目募集资金投入金额的公告》，本次募投项目情况如下：
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　　二、使用自有资金支付募投项目所需资金并以募集资金等额置换的原因
　　公司募投项目在实施过程中，原则上应当以募集资金直接支付。公司在募投项目实施期间，存在使用自有资金支付涉及募投项目部分款项的主要原因为：根据中国人民银行《人民币银行结算账户管理办法》规定，员工薪酬的支付应通过公司基本存款账户办理，不能通过募集资金专户直接支付；同时根据征收机关要求，公司人员的社会保险、住房公积金等均由公司基本存款账户统一划转，无法通过多个募集资金专户直接支付募投项目涉及的上述费用；公司募投项目的支出涉及使用外汇结算部分购买设备等款项，相关款项无法通过募集资金专户支付，拟通过公司自有资金账户先行支付。
　　因此，为提高募投项目实施效率，公司及全资子公司作为募投项目实施主体，使用自有资金先行支付在实施募投项目过程中涉及募投项目部分款项，在定期对各募投项目发生的费用进行归集核算后，再从募集资金专户划转等额资金至公司相关存款账户，该部分等额置换资金视同募投项目使用资金。
　　三、使用自有资金支付募投项目所需资金并以募集资金等额置换的操作流程
　　1、公司财务部门根据募投项目的实施情况，对照募投项目支出内容，每月编制以自有资金支付募投项目款项的明细表，由相关负责人审批。
　　2、公司财务部门经公司付款流程审批通过后，定期将以自有资金先行支付的募投项目款项从募集资金账户中等额转入公司自有资金账户。
　　3、公司财务部门建立自有资金置换募集资金款项的台账，在台账中逐笔记载募集资金专户转入基本存款账户或一般存款账户交易的时间、金额、账户等，并定期通知保荐代表人。
　　4、保荐机构和保荐代表人对公司使用自有资金支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换的情况进行持续监督，有权定期或不定期对公司使用募集资金情况进行检查，公司与募集资金存管银行应当配合保荐机构的监督检查工作。
　　四、本次事项对公司的影响
　　公司使用自有资金支付募投项目所需资金并以募集资金等额置换，有利于提高公司运营管理效率，保障募投项目的顺利推进，不会影响公司募投项目的正常开展。
　　上述事项不会对募投项目的实施造成实质性影响，不存在改变或变相改变募集资金投向或损害公司和股东利益的情形，不会对公司的正常经营产生重大不利影响，符合《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1 号一一规范运作》等法律、法规、规范性文件及公司制定的《募集资金管理制度》等规定的情形。
　　五、审议程序及专项意见
　　（一）董事会审议情况
　　公司于2025年8月28日召开第三届董事会第六次会议，审议通过了《关于使用自有资金支付募投项目所需资金并以募集资金等额置换的议案》，同意公司及子公司作为实施主体在募投项目实施期间，根据实际情况先行使用自有资金支付募投项目所需资金，在履行内部相关审批程序后定期以募集资金等额置换。
　　（二）监事会审议情况及监事会意见
　　公司于2025年8月28日召开了第三届监事会第五次会议，审议通过了《关于使用自有资金支付募投项目所需资金并以募集资金等额置换的议案》。监事会认为：公司使用自有资金支付募投项目部分款项后续以募集资金等额置换的事项，不存在损害公司及股东利益的情形，不会对募投项目的实施产生实质性的影响，且履行的审议程序符合相关法律法规的规定，符合《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一一规范运作》等法律法规、规范性文件的规定，内容及程序合法合规。监事会同意公司使用自有资金支付募投项目所需资金并以募集资金等额置换。
　　（三）保荐机构核查意见
　　经核查，保荐机构认为，公司使用自有资金支付募投项目所需资金并以募集资金等额置换事项已经公司董事会、监事会审议通过，履行了必要的审批程序，不影响募集资金投资项目的正常进行，不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情况，符合《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1 号一一规范运作》及《上市公司募集资金监管规则》等法律法规、规范性文件和公司《募集资金管理制度》的规定。保荐机构对公司使用自有资金支付募投项目所需资金并以募集资金等额置换事项无异议。
　　特此公告。
　　中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会
　　2025年8月29日