本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。

　　重要内容提示：

　　●  被担保人名称及是否为关联担保：浙江至纯精密制造有限公司（以下简称“浙江精密”）、江苏启微半导体设备有限公司（以下简称“江苏启微”）、至微半导体（上海）有限公司（以下简称“至微半导体”）、合肥至微半导体有限公司（以下简称“合肥至微半导体”）、珐成制药系统工程（上海）有限公司（以下简称“珐成制药”）。本次担保为对全资及控股子公司提供的担保，不属于关联担保。

　　●  本次担保金额及已实际为其提供的担保余额：因公司全资及控股子公司浙江精密、至微半导体、合肥至微半导体向融资租赁公司办理售后回租的融资；江苏启微、珐成制药向银行申请授信贷款事项，公司与远东国际融资租赁有限公司、芯鑫融资租赁有限责任公司、上海浦东发展银行股份有限公司南通分行、广发银行股份有限公司上海分行分别签订了《保证合同》和《最高额保证合同》。本次公司为浙江精密提供担保金额为5,455.5334万元，截至本公告日累计为其提供担保余额为5,000万元；本次公司为江苏启微提供担保金额为4,000万元，截至本公告日累计为其提供担保余额为 21,540.16万元；本次公司为至微半导体提供担保金额为7,740万元，截至本公告日累计为其提供担保余额为70,319.40万元；本次公司为合肥至微半导体提供担保金额为95,000万元，截至本公告日累计为其提供担保余额为32,035.10万元；本次公司为珐成制药提供担保金额为1,000万元，截至本公告日累计为其提供担保余额为4,000万元；本次担保事项后的累计担保金额，均在公司股东大会批准的担保额度范围内。

　　●  本次担保是否有反担保：无

　　●  对外担保逾期的累计数量：无

　　●  特别风险提示：本次被担保人2023年末资产负债率均超过70%，敬请投资者注意相关风险。

　　一、担保情况概述

　　经上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”或“本公司”）2024年第二次临时股东大会审议通过，同意公司2024年度为下属子公司提供担保总额不超过85.00亿元，其中为资产负债率超过70%的子公司提供担保额度预计为81.50亿元，为资产负债率低于70%的子公司提供担保额度预计为3.50亿元。上述担保事项是基于对业务情况的预计。根据可能的变化，由公司管理层在上述预计担保额度内，根据实际情况审批并调剂具体的融资担保事宜。调剂方式为被担保方为资产负债率低于70%的控股子公司的担保额度可调剂给其他资产负债率低于 70%的控股子公司使用，资产负债率高于70%的控股子公司的担保额度可调剂给其他资产负债率高于70%的控股子公司使用。调剂范围为公司所有全资及控股子公司（不限于公告中的子公司，包括期间新增子公司）。详情请见公司于2024年4月30日在上海证券交易所网站披露的《关于2024年度授信及担保额度预计的公告》（公告编号：2024-038）。

　　近日，因公司全资及控股子公司浙江精密、至微半导体、合肥至微半导体向融资租赁公司办理售后回租的融资；江苏启微、珐成制药向银行申请授信贷款事项，公司与远东国际融资租赁有限公司、芯鑫融资租赁有限责任公司、上海浦东发展银行股份有限公司南通分行、广发银行股份有限公司上海分行分别签订了《保证合同》和《最高额保证合同》。本次公司为浙江精密提供担保金额为5,455.5334万元，截至本公告日累计为其提供担保余额为5,000万元；本次公司为江苏启微提供担保金额为4,000万元，截至本公告日累计为其提供担保余额为 21,540.16万元；本次公司为至微半导体提供担保金额为7,740万元，截至本公告日累计为其提供担保余额为70,319.40万元；本次公司为合肥至微半导体提供担保金额为95,000万元，截至本公告日累计为其提供担保余额为32,035.10万元；本次公司为珐成制药提供担保金额为1,000万元，截至本公告日累计为其提供担保余额为4,000万元；本次担保事项后的累计担保金额，均在公司股东大会批准的担保额度范围内。

　　二、被担保人基本情况

　　1、浙江至纯精密制造有限公司

　　■

　　上述数据为2023年度财务数据，以上数据已经审计。

　　2、江苏启微半导体设备有限公司

　　■

　　上述数据为2023年度财务数据，以上数据已经审计。

　　3、至微半导体（上海）有限公司

　　■

　　上述数据为2023年度财务数据，以上数据已经审计。

　　4、合肥至微半导体有限公司

　　■

　　上述数据为2023年度财务数据，以上数据已经审计。

　　5、珐成制药系统工程（上海）有限公司

　　■

　　上述数据为2023年度财务数据，以上数据已经审计。

　　三、协议主要内容

　　1、《保证合同》

　　（1）合同签署人

　　出租人（甲方）：远东国际融资租赁有限公司

　　保证人（乙方）：上海至纯洁净系统科技股份有限公司

　　承租人：浙江至纯精密制造有限公司

　　（2）担保额度：人民币叁仟肆佰玖拾壹万伍仟壹佰叁拾柒元整

　　（3）保证方式：不可撤销的连带责任保证

　　（4）保证范围：承租人在租赁合同项下应向甲方支付的租金、利息、违约金、损害赔偿金、租赁物件留购价款及其他应付款项和甲方为实现权利的费用（包括但不限于诉讼费用、仲裁费用、律师费用、公证费用、执行费用、财产保全担保费用等）

　　（5）保证期间：自本合同签署之日始至租赁合同项下主债务履行期届满之日起满三年的期间。

　　2、《保证合同》

　　（1）合同签署人

　　出租人（甲方）：远东国际融资租赁有限公司

　　保证人（乙方）：上海至纯洁净系统科技股份有限公司

　　承租人：浙江至纯精密制造有限公司

　　（2）担保额度：人民币壹仟玖佰陆拾肆万零壹佰玖拾柒元整

　　（3）保证方式：不可撤销的连带责任保证

　　（4）保证范围：承租人在租赁合同项下应向甲方支付的租金、利息、违约金、损害赔偿金、租赁物件留购价款及其他应付款项和甲方为实现权利的费用（包括但不限于诉讼费用、仲裁费用、律师费用、公证费用、执行费用、财产保全担保费用等）

　　（5）保证期间：自本合同签署之日始至租赁合同项下主债务履行期届满之日起满三年的期间。

　　3、《最高额保证合同》

　　（1）合同签署人

　　保证人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司

　　债权人：上海浦东发展银行股份有限公司南通分行

　　债务人：江苏启微半导体设备有限公司

　　（2）担保最高额度：人民币肆仟万元整

　　（3）保证方式：连带责任保证

　　（4）保证范围：本合同项下的保证范围除了本合同所述之主债权，还及于由此产生的利息（本合同所指利息包括利息、罚息和复利）、违约金、损害赔偿金、手续费及其他为签订或履行本合同而发生的费用、以及债权人实现担保权利和债权所产生的费用（包括不限于诉讼费律师费、差旅费等），以及根据主合同经债权人要求债务人需补足的保证金。

　　（5）保证期间：按债权人对债务人每笔债权分别计算，自每笔债权合同债务履行期届满之日起至该债权合同约定的债务履行期届满之日后三年止。

　　4、《保证合同》

　　（1）合同签署人

　　保证人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司

　　出租人：芯鑫融资租赁有限责任公司

　　承租人：至微半导体（上海）有限公司

　　（2）担保额度：人民币柒仟柒佰肆拾万元整

　　（3）保证方式：连带责任保证

　　（4）保证范围：全部租金、服务费、违约金、租赁物留购价款、增值税等税款、债权人遭受的损失及其他应付款；债权人实现担保权利而发生的所有费用；因主合同被部分或全部确认为无效、被撤销、被解除的，主合同债务人应返还财产、支付资金占用费及赔偿损失而形成的债务；生效法律文书迟延履行期间的双倍利息；主合同债务人应当向债权人支付的所有其他费用。

　　（5）保证期间：自主合同约定的主合同债务人履行债务期限届满之日起两年。

　　5、《保证合同》

　　（1）合同签署人

　　保证人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司

　　出租人：芯鑫融资租赁有限责任公司

　　承租人：合肥至微半导体有限公司

　　（2）担保额度：人民币玖仟伍佰万元整

　　（3）保证方式：连带责任保证

　　（4）保证范围：全部租金、服务费、违约金、租赁物留购价款、增值税等税款、债权人遭受的损失及其他应付款；债权人实现担保权利而发生的所有费用；因主合同被部分或全部确认为无效、被撤销、被解除的，主合同债务人应返还财产、支付资金占用费及赔偿损失而形成的债务；生效法律文书迟延履行期间的双倍利息；主合同债务人应当向债权人支付的所有其他费用。

　　（5）保证期间：自主合同约定的主合同债务人履行债务期限届满之日起两年。

　　6、《最高额保证合同》

　　（1）合同签署人

　　保证人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司

　　债权人：广发银行股份有限公司上海分行

　　债务人：珐成制药系统工程（上海）有限公司

　　（2）担保最高额度：人民币壹仟万元整

　　（3）保证方式：连带责任保证

　　（4）保证范围：主合同项下的债务本金、利息、罚息、复利、违约金、损害赔偿金、为实现债权而发生的费用（包括不限于诉讼费、仲裁费、律师费、差旅费、执行费、保全费、评估费、拍卖或变卖费、过户费、公告费）和其他所有应付费用。

　　（5）保证期间：自主合同债务人履行债务期限届满之日起三年。

　　四、履行的相关程序

　　本次担保事项已经公司2024年第二次临时股东大会审议通过，详见公司于2024年5月17日在上海证券交易所网站披露的《2024年第二次临时股东大会决议》（公告编号：2024-058）。

　　五、公司累计对外担保情况

　　截至本公告日，公司实际对外担保总额为250,210.52万元人民币，占上市公司2023年度经审计归属于上市公司股东净资产的51.16%。截至目前，公司不存在对全资及控股子公司以外的担保对象提供担保的情形，公司及控股子公司不存在逾期担保的情形。

　　特此公告。

　　上海至纯洁净系统科技股份有限公司董事会

　　2024年5月29日