本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　重要内容提示：

　　●  截至2024年2月29日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）通过上海证券交易所交易系统以集中竞价交易方式累计回购股份372,306股，占公司总股本619,279,423股的比例为0.0601%，回购成交的最高价为131.9元/股，最低价为122.08元/股，支付的资金总额为人民币46,319,893.63元（不含印花税、交易佣金等交易费用）。

　　一、公司回购股份的基本情况

　　2024年2月2日，公司召开第二届董事会第十九次会议，审议通过了《关于以集中竞价交易方式回购公司股份方案的议案》。审议同意公司使用公司首次公开发行人民币普通股取得的超募资金及公司自有资金以集中竞价交易方式回购公司已发行的A股股份，公司本次回购股份拟在披露回购结果暨股份变动公告12个月后采用集中竞价交易方式出售。如有股权激励或员工持股计划等相关事项需变更回购股份用途的，公司将就后续调整事项变更回购股份用途，并按照相关规定履行相关审议程序及信息披露义务。本次回购资金总额不低于人民币30,000万元（含）且不超过人民币50,000万元（含），回购价格不超过200.00元/股（含），回购期限自公司董事会审议通过本次回购股份方案之日起3个月内。具体内容详见公司于2024年2月8日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《关于以集中竞价交易方式回购公司股份的回购报告书》（公告编号：2024-005）。

　　二、实施回购股份的进展情况

　　根据《上市公司股份回购规则》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第7号一一回购股份》等相关规定，公司应当在每个月的前3个交易日内公告截至上月末的回购进展情况，现将具体情况公告如下：

　　截至2024年2月29日，公司通过上海证券交易所交易系统以集中竞价交易方式累计回购股份372,306股，占公司总股本619,279,423股的比例为0.0601%，回购成交的最高价为131.90元/股，最低价为122.08元/股，支付的资金总额为人民币46,319,893.63元（不含印花税、交易佣金等交易费用）。

　　上述回购股份符合相关法律法规的有关规定和公司回购股份方案的要求。

　　三、其他事项

　　公司将严格按照《上市公司股份回购规则》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第7号一一回购股份》等相关规定及公司回购股份方案，在回购期限内根据市场情况择机实施回购计划，并根据回购股份事项进展情况及时履行信息披露义务，敬请广大投资者注意投资风险。

　　特此公告。

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会

　　2024年3月5日