公司代码：603690                             公司简称：至纯科技

　　第一节 重要提示

　　1 本年度报告摘要来自年度报告全文，为全面了解本公司的经营成果、财务状况及未来发展规划，投资者应当到www.sse.com.cn网站仔细阅读年度报告全文。

　　2 本公司董事会、监事会及董事、监事、高级管理人员保证年度报告内容的真实性、准确性、完整性，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。

　　3 公司全体董事出席董事会会议。

　　4 众华会计师事务所（特殊普通合伙）为本公司出具了标准无保留意见的审计报告。

　　5 董事会决议通过的本报告期利润分配预案或公积金转增股本预案

　　2022年度拟每10股派发现金红利1.324元（含税），并每10股派送红股2股（含税）（每股面值1元）

　　第二节 公司基本情况

　　1 公司简介

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　　2 报告期公司主要业务简介

　　集成电路领域，随着信息化、智能化技术的快速发展，半导体芯片及器件产品在半导体照明、新一代移动通信、智能电网、新能源汽车、消费类电子等领域得到广泛应用，集成电路市场规模实现快速增长。根据 WSTS 资料显示，全球半导体产业销售额已从 2000 年的 2,044 亿美元增长至 2021 年的 5,559 亿美元，并从中国台湾、日本、韩国向中国大陆转移。根据国际半导体设备与材料协会（SEMI） 的数据，2021年全球半导体设备市场规模达到1,030亿美元，较2020年增长42.24%，2022 年第三季度全球半导体设备出货金额达到 287.5 亿美元，环比增长 9%，同比增长 7%，其中中国大陆半导体设备出货金额占比约26.4%。

　　根据SEMI报告显示，中国大陆、中国台湾和韩国在2022年仍是设备支出的前三大目的地。中国大陆在继2020年首次占据榜首后，2023年将保持这个位置。尽管大多数地区的设备支出预计将在2023年减少，但在2024年将恢复增长。根据浙商证券统计数据显示，2022年中国大陆共有23座12英寸晶圆厂正在投产，总计月产能约为104.2万片，与总规划月产能156.5万片相比，产能装载率仅66.58%。预计中国大陆2022-2026年还将新增25座12英寸晶圆厂，总规划月产能超过160万片，预计截止至2026年底，中国大陆12英寸晶圆厂的总月产能将超过276.3万片，相比目前提高165.1%。

　　目前全球缺芯尚无明显改善迹象，在全球集成电路制造产能持续紧张背景下，近两年我国集成电路相关领域投资活跃，实现半导体器件设备、电子元件及电子专用材料制造投资额的大幅增长，中国大陆正在成为全球半导体产业扩张宝地。中国跃升全球半导体第一大市场，但自给率仅27%，中国近年出台的十三五计划，在《中国制造 2025》中明确制定目标至 2020 年晶圆自给率将达到 40%、2025 年达 50%，中国庞大资金与相关配套政策扶植下，估计未来几年半导体建设仍蓬勃发展。

　　公司目前80%的业务服务于集成电路领域，主营业务主要包括半导体制程设备、系统集成及支持设备的研发和生产销售，以及由此衍生的部件材料及专业服务。

　　1、制程设备

　　半导体设备是半导体技术迭代的基石，是半导体产业的发动机。芯片的制造过程可以分为前道工艺和后道工艺。前道工艺设备投资占总设备投资的80%以上。公司提供湿法清洗设备，包括湿法槽式清洗设备及湿法单片式清洗设备，聚焦晶圆制造的前道工艺，主要应用于扩散、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积等关键工序段前后。高端产品包括SPM高温硫酸、去胶、晶背清洗等清洗设备。

　　单片高温SPM工艺主要用在刻蚀以及离子注入之后的有机物清洗，目的是把晶圆表面反应后残余的光刻胶聚合物清除干净。单片SPM工艺应用贯穿整个先进半导体的前、中段工艺，清洗工艺次数超过30道，是所有湿法工艺中应用最多的一种设备。此外SPM工艺被广泛应用在浅槽隔离（STI）、接触孔刻蚀后（CT）等高深宽结构，以及鳍式晶体管（FinFET） 、电容（capacitor）等高度复杂图形区域，故SPM 工艺被公认是28/14nm性能要求最高的工艺，也是最具挑战的湿法工艺设备。在至纯科技的单片SPM获得突破之前，所有的单片SPM设备全部由国外厂商所垄断。此外公司开发硫酸回收系统与单片SPM设备搭配使用，最高可以实现80%以上的硫酸回收，单台每年可为用户节省160~180万美金的硫酸费用，同时降低用户对危废排放的压力。公司单片清洗机台设计采用类国际一流设备的架构，拥有自己专利和技术布局。目前产品的各项工艺指标与国际大厂设备是相匹配的，并可实现37纳米以下少于20个剩余颗粒的处理。

　　Backside clean（晶背清洗）工艺是在芯片制造工艺中相当重要的湿法工艺。半导体生产过程中，对于污染是很重视的，尤其是金属污染。一旦有金属污染将损失巨大。半导体生产设备中，最高单价的就是光刻机，晶圆背面清洗的功能就是将背面的金属污染物清除，把颗粒洗净，让晶圆以最佳状态进入光刻机，避免光刻机因晶圆背面缺陷问题(金属和颗粒)而停机。晶圆背面清洗的重要性及步骤数量随着工艺进步和金属层的增加而增加。目前国内晶圆厂商用的最多的是由海外大厂制造的机台，而公司目前已实现Backside etch（背面蚀刻）功能，达到客户的验收标准。通过背面单片机台清洗后，可实现40纳米以上少于10个剩余颗粒的处理。同时金属污染可控制在1E+9（原子/平方厘米）以内。目前产品的各项工艺指标可对标国际大厂设备指标。截至目前，核心工序段的高阶设备累计订单量近20台。

　　公司产品如下所示：

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　　1. 高纯系统集成及支持设备

　　泛半导体工艺伴随许多种特殊制程，会使用到大量超高纯（ppt级别）的干湿化学品，这是完成工艺成果的重要介质，其特点是昂贵并伴随排放，因此高纯工艺系统在这其中发挥着重要作用。

　　公司为集成电路制造企业及泛半导体产业提供高纯工艺系统的设计、安装、测试调试服务。高纯工艺系统的核心是系统设计，系统由专用设备、侦测传感系统、自控及软件系统、管阀件等组成；系统的前端连接高纯介质储存装置，系统的终端连接客户自购的工艺生产设备。

　　在集成电路领域，高纯工艺系统主要包括高纯特气系统、大宗气体系统、高纯化学品系统、研磨液供应及回收系统、前驱体工艺介质系统等。高纯工艺中的特气设备和系统服务于各类干法工艺机台，高纯化学品设备系统服务于各类湿法系统，专用设备和系统和机台的腔体连成一个工作面，对于良率有重要的影响。

　　2021年起，公司将高纯特气设备、高纯化学品供应设备、研磨液供应设备、前驱体供应设备、工艺尾气液处理设备、干法机台气体供应模块等工艺支持性的设备作为单独的分类。该类设备作为和氧化/扩散、刻蚀、离子注入、沉积、研磨、清洗等工艺机台的工艺腔体连为一个工作系统的支持性设备，是和工艺良率息息相关的必要设备，相当于一个工厂的心血管系统。该类设备随着进口替代的展开，在高纯工艺系统中占比越来越高。公司已经成为国内该类设备的领先者。

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　　3、部件材料及专业服务

　　（1）基于目前国内半导体关键零部件依赖进口的大背景，公司在海宁设立了半导体模组及部件制造基地。在湿法清洗设备关键零部件技术方面，公司投入了众多资源进行自主研发和合作开发，取得了一定的技术成果，为部件制造奠定了一定的技术基础。海宁部件基地目前为客户进行刻蚀设备腔体中的结构件的精密制造。该项业务的顺利开展有利于推动我国关键半导体零部件进口替代，有利于进一步丰富及优化公司的业务结构、增强公司的综合竞争力。

　　（2）部件清洗及晶圆再生服务

　　公司在合肥设立了晶圆再生、部件清洗及表面处理产线，并建有国内首条完整阳极处理线。晶圆再生产线是国内首条投产的12英寸晶圆再生产线，部件清洗及表面处理产线可为7纳米及以上制程的部件提供清洗及表面处理服务。

　　当客户设备部件出现阳极氧化层和基底暴露、表面损坏、涂层厚度低于规范标准等情况时，我们使用水刀、喷砂、阳极氧化、电浆熔射、电弧熔射等工艺对部件进行表面处理及物理、化学清洗，处理后通过量测设备进行各类指标的测量，将设备中的石英、陶瓷、不锈钢、铝等材质的部件恢复到设备原厂零部件出厂等级。目前部件再生服务已通过近十家客户在刻蚀、薄膜、扩散工艺环节部分产品的验证并正式接单。

　　报告期内合肥工厂还取得了合肥市级含砷处理资质、完成含砷工件专用制程线。

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　　（3）半导体级大宗气体整厂供气服务

　　公司为国内28纳米工艺节点的集成电路制造厂商提供配套，投资建设了半导体级的大宗气体工厂，为用户提供至少15年的高纯大宗气体整厂供应。公司已在上海嘉定建成首座完全国产化的12英寸晶圆先进制程大宗气体供应工厂，于2022年初顺利通气并已稳定运行一年以上。

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　　3 公司主要会计数据和财务指标

　　3.1 近3年的主要会计数据和财务指标

　　单位：元  币种：人民币

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　　3.2 报告期分季度的主要会计数据

　　单位：元  币种：人民币

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　　季度数据与已披露定期报告数据差异说明

　　□适用  √不适用 

　　4 股东情况

　　4.1 报告期末及年报披露前一个月末的普通股股东总数、表决权恢复的优先股股东总数和持有特别表决权股份的股东总数及前 10 名股东情况

　　单位: 股

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　　4.2 公司与控股股东之间的产权及控制关系的方框图

　　√适用  □不适用 

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　　4.3 公司与实际控制人之间的产权及控制关系的方框图

　　√适用  □不适用 

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　　4.4 报告期末公司优先股股东总数及前10 名股东情况

　　□适用 √不适用 

　　5 公司债券情况

　　□适用 √不适用 

　　第三节 重要事项

　　1 公司应当根据重要性原则，披露报告期内公司经营情况的重大变化，以及报告期内发生的对公司经营情况有重大影响和预计未来会有重大影响的事项。

　　参见“第三节 管理层讨论与分析”中的“三、报告期内公司从事的业务情况”。

　　2 公司年度报告披露后存在退市风险警示或终止上市情形的，应当披露导致退市风险警示或终止上市情形的原因。

　　证券代码：603690        证券简称：至纯科技          公告编号：2023-024

　　上海至纯洁净系统科技股份有限公司

　　第四届董事会第三十二次会议决议公告

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　　一、董事会会议召开情况

　　上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”或“本公司”）董事会已于2023年3月24日向全体董事发出了第四届董事会第三十二次会议通知，第四届董事会第三十二次会议于2023年4月6日上午以现场结合通讯方式召开，会议由董事长、总经理蒋渊女士主持。会议应参加表决董事5名，实际参加表决董事5名。公司监事和其他相关人员列席会议。会议的召开符合《公司法》《公司章程》的规定，所作决议合法有效。

　　二、董事会会议审议情况

　　1、审议通过《关于2022年年度报告及其摘要的议案》

　　表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。

　　本议案尚需提交公司股东大会审议。

　　详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《2022年年度报告》及其摘要。

　　2、审议通过《关于2022年度总经理工作报告的议案》

　　表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。

　　3、审议通过《关于2022年度董事会工作报告的议案》

　　表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。

　　本议案尚需提交公司股东大会审议。

　　详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《2022年度董事会工作报告》。

　　4、审议通过《关于2022年度独立董事述职报告的议案》

　　表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。

　　详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《2022年度独立董事述职报告》。

　　5、审议通过《关于2022年度董事会审计委员会履职情况报告的议案》

　　表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。

　　详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《2022年度董事会审计委员会履职情况报告》。

　　6、审议通过《2022年度企业社会责任报告》

　　表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。

　　详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《2022年度企业社会责任报告》。

　　7、审议通过《关于2022年度募集资金存放与实际使用情况的专项报告的议案》

　　表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。

　　详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《2022年度募集资金存放与实际使用情况的专项报告》。

　　8、审议通过《关于2022年度内部控制评价报告的议案》

　　表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。

　　详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《2022年度内部控制评价报告》。

　　9、审议通过《关于2022年度利润分配预案的议案》

　　表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。

　　本议案尚需提交公司股东大会审议。

　　详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《关于2022年度利润分配预案的公告》。

　　10、审议通过《关于公司2023年度授信及担保额度预计的议案》

　　表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。

　　本议案尚需提交公司股东大会审议。

　　详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《关于公司2023年度授信及担保额度预计的公告》。

　　11、审议通过《关于2022年日常关联交易实际发生情况及2023年度日常关联交易预计的议案》

　　表决结果：同意3票，反对0票，弃权0票，关联董事蒋渊、赵浩回避表决。

　　详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《关于2022年日常关联交易实际发生情况及2023年度日常关联交易预计的公告》。

　　12、审议通过《关于续聘公司2023年度审计机构的议案》

　　表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。

　　本议案尚需提交公司股东大会审议。

　　详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《关于续聘公司2023年度审计机构的公告》。

　　13、审议通过《关于修订<公司章程>的议案》

　　表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。

　　根据《上市公司章程指引》的有关规定，结合公司的实际情况，拟对《公司章程》部分条款进行修订完善，本议案尚需提交公司股东大会审议。

　　详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《关于修订<公司章程>的公告》《上海至纯洁净系统科技股份有限公司章程（2023年4月修订）》。

　　14、审议通过《关于第二期股权激励首次授予的股票期权第三个行权期行权条件成就的议案》

　　表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。

　　详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《关于第二期股权激励首次授予的股票期权第三个行权期行权条件成就的公告》。

　　15、审议通过《关于第三期股权激励第二个解锁期的限制性股票解锁条件成就议案》

　　表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。

　　详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《关于第三期股权激励第二个解锁期的限制性股票解锁条件成就的公告》。

　　16、审议通过《关于第三期股权激励首次授予的股票期权第二个行权期行权条件成就的议案》

　　表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。

　　详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《关于第三期股权激励首次授予的股票期权第二个行权期行权条件成就的公告》。

　　17、审议通过《关于第四期股权激励首次授予的股票期权第一个行权期行权条件成就的议案》

　　表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。

　　详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《关于第四期股权激励首次授予的股票期权第一个行权期行权条件成就的公告》。

　　18、审议通过《关于注销第三、四期股权激励计划中部分股票期权的议案》

　　表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。

　　详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《关于注销第三、四期股权激励计划中部分股票期权的公告》。

　　19、审议通过《关于2022年度计提信用及资产减值准备的议案》

　　表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。

　　详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《关于2022度计提信用及资产减值准备的公告》。

　　20、审议通过《关于提请召开2022年年度股东大会的议案》

　　表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。

　　公司将于2023年4月28日召开2022年度股东大会，审议上述年度报告相关议案。

　　详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《关于召开2022年年度股东大会的通知》。

　　21、审议通过《关于公司符合向特定对象发行A股股票条件的议案》

　　表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。

　　为衔接配合2023年2月17日颁布的《上市公司证券发行注册管理办法》等规定的正式发布实施，公司认真对照《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《上市公司证券发行注册管理办法》等法律、法规、规章及其他规范性文件对上市公司向特定对象发行股票的有关要求和条件，董事会对公司的实际经营情况及相关事项进行了逐项自查，认为公司仍然符合现行向特定对象发行A股股票的有关规定，具备发行条件，独立董事发表了独立意见。

　　本议案尚需股东大会审议。

　　22、逐项审议通过《关于公司<2023年度向特定对象发行A股股票方案（修订稿）>的议案》

　　根据全面实行股票发行注册制制度规则的相关要求及公司股东大会的授权，董事会对方案的表述作相应修改，此外，本次发行募集资金项目名称根据备案最终名称进行调整。修订情况如下：

　　1、将原引用的《上市公司证券发行管理办法》修改为《上市公司证券发行注册管理办法》；

　　2、根据《上市公司证券发行注册管理办法》，将原表述的“非公开发行”修改为“向特定对象发行”；

　　3、根据《上市公司证券发行注册管理办法》，将原表述的“中国证监会关于本次非公开发行A股的核准批文/批复”“中国证监会核准”等修改为“上海证券交易所审核通过以及中国证监会同意注册”；

　　4、本次发行募集资金项目名称根据备案最终名称进行调整，“单片湿法工艺模块、核心零部件研发及产业化项目”修改为“单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目”，“至纯北方半导体研发生产中心项目”修改为“至纯湿法清洗设备及高纯工艺设备北方产业基地项目”。

　　《2023年度向特定对象发行A股股票方案（修订稿）》内容如下；

　　（1）发行股票的种类和面值

　　表决结果：同意 5 票，反对 0 票，弃权 0 票。

　　本次向特定对象发行股票种类为境内上市人民币普通股（A股），每股面值1.00元。

　　（2）发行方式和发行时间

　　表决结果：同意 5 票，反对 0 票，弃权 0 票。

　　本次发行采用向特定对象非公开发行的方式，在获得上海证券交易所审核通过以及中国证监会同意注册后由公司在规定的有效期内选择适当时机向特定对象发行股票。

　　（3）定价基准日、发行价格和定价原则

　　表决结果：同意 5 票，反对 0 票，弃权 0 票。

　　本次发行的定价基准日为本次发行股票发行期首日。发行价格不低于定价基准日前20个交易日公司股票交易均价（定价基准日前20个交易日股票交易均价=定价基准日前20个交易日股票交易总额÷定价基准日前20个交易日股票交易总量）的80%（以下简称“发行底价”）。

　　在定价基准日至发行日期间，若公司有派息、资本公积转增股本、派送股票红利等除权、除息事项的，本次发行股票的价格按照如下约定进行调整：

　　假设调整前的发行价格为P0，每股送股或转增股数为N，每股派息为D，调整后的发行价格为P1，则：

　　①派息：P1=P0-D

　　②资本公积转增股本或派送股票红利：P1=P0÷（1+N）

　　③上述事项同时进行：P1=（P0-D）÷（1+N）

　　在前述发行底价的基础上，最终发行价格将在公司取得上海证券交易所审核通过以及中国证监会关于本次向特定对象发行A股同意注册后，按照相关规定，由公司董事会及其授权人士在股东大会授权范围内与保荐机构及主承销商根据发行对象申购报价的情况，以市场询价方式确定。

　　（4）发行数量

　　表决结果：同意 5 票，反对 0 票，弃权 0 票。

　　截至2022年12月31日，上市公司总股本为321,079,574股。本次向特定对象发行股票数量不超过本次发行前上市公司总股本的30%，即不超过96,323,872股（含本数），并以上海证券交易所审核通过并经中国证监会同意注册的发行数量为准。

　　在定价基准日至发行日期间，若公司有派息、资本公积转增股本、派送股票红利等除权、除息事项的，本次发行股票数量应做相应调整。

　　在上述范围内，最终发行数量将在上市公司取得上海证券交易所审核通过以及中国证监会关于本次发行的同意注册后，按照相关规定，由上市公司股东大会授权董事会根据发行询价结果，与本次发行的保荐机构（主承销商）协商确定。

　　（5）发行对象和认购方式

　　表决结果：同意 5 票，反对 0 票，弃权 0 票。

　　本次发行的对象为不超过35名特定投资者，包括符合中国证监会规定的证券投资基金管理公司、证券公司、信托公司、财务公司、保险机构投资者、合格境外机构投资者以及其他符合相关法律、法规规定条件的法人、自然人或其他机构投资者。证券投资基金管理公司、证券公司、合格境外机构投资者、人民币合格境外机构投资者以其管理的二只以上产品认购的，视为一个发行对象；信托公司作为发行对象的，只能以自有资金认购。

　　最终具体发行对象将在本次向特定对象发行取得上海证券交易所审核通过以及中国证监会同意注册后，由上市公司股东大会授权董事会根据发行询价结果，与本次发行的保荐机构（主承销商）协商确定。若国家法律、法规对向特定对象发行股票的发行对象有新的规定，上市公司将按新的规定进行调整。

　　发行对象均以人民币现金方式认购公司本次发行的股票。

　　（6）限售期

　　表决结果：同意 5 票，反对 0 票，弃权 0 票。

　　本次发行对象认购的本次向特定对象发行 A 股股票，自本次发行结束之日起6个月内不得转让，上述股份锁定期届满后减持还需遵守《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》和《上海证券交易所股票上市规则》等法律、法规、规章、规范性文件以及上市公司《公司章程》的相关规定。

　　在上述股份锁定期限内，发行对象所认购的本次发行股份因上市公司送股、资本公积金转增股本等事项而衍生取得的股份，亦应遵守上述股份限售安排。

　　（7）募集资金金额及用途

　　表决结果：同意 5 票，反对 0 票，弃权 0 票。

　　本次向特定对象发行募集资金不超过（含）人民币180,000.00万元，募集资金扣除发行费用后将用于投资以下项目：

　　单位：万元

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　　若实际募集资金数额（扣除发行费用后）少于上述项目拟以募集资金投入金额，在最终确定的本次募集资金投资项目范围内，公司将根据实际募集资金数额，按照项目的轻重缓急等情况，调整并最终决定募集资金的具体投资项目、优先顺序及各项目的具体投资额，募集资金不足部分由公司自有资金或自筹解决。

　　在本次发行A股募集资金到位之前，公司将根据项目进度的实际需要以自筹资金先行投入，并在募集资金到位之后按照相关法规规定的程序予以置换。

　　（8）本次发行前公司滚存利润的安排

　　表决结果：同意 5 票，反对 0 票，弃权 0 票。

　　本次发行完成前公司的滚存未分配利润将由本次发行后的新老股东按照发行后的持股比例共同享有。

　　（9）上市地点

　　表决结果：同意 5 票，反对 0 票，弃权 0 票。

　　本次发行的股票上市地点为上海证券交易所。

　　（10）本次发行决议的有效期

　　表决结果：同意 5 票，反对 0 票，弃权 0 票。

　　本次发行决议的有效期为自公司股东大会审议通过本次发行议案之日起十二个月。

　　23、审议通过《关于公司<2023年度向特定对象发行A股股票预案（修订稿）>的议案》

　　表决结果：同意 5 票，反对 0 票，弃权 0 票。

　　根据《上市公司证券发行注册管理办法》《上海证券交易所上市公司证券发行上市审核规则》等规定，公司根据实际情况编制了《2023年度向特定对象发行A股股票预案（修订稿）》。

　　24、审议通过《关于公司<2023年度向特定对象发行A股股票募集资金使用可行性分析报告（修订稿）>的议案》

　　表决结果：同意 5 票，反对 0 票，弃权 0 票。

　　根据《上市公司证券发行注册管理办法》《上海证券交易所上市公司证券发行上市审核规则》等规定，公司根据实际情况修订并编制了《2023年度向特定对象发行A股股票募集资金使用可行性分析报告（修订稿）》。

　　25、审议通过《关于公司2023年度向特定对象发行A股股票摊薄即期回报的风险提示、填补措施及相关主体承诺的议案》

　　表决结果：同意 5 票，反对 0 票，弃权 0 票。

　　根据《国务院办公厅关于进一步加强资本市场中小投资者合法权益保护工作的意见》（国办发[2013]110号）、《国务院关于进一步促进资本市场健康发展的若干意见》（国发[2014]17号）以及《关于首发及再融资、重大资产重组摊薄即期回报有关事项的指导意见》（证监会公告[2015]31号）等文件的要求，公司就本次发行对即期回报摊薄的影响进行了认真分析测算并提出了具体的填补回报措施，公司控股股东、实际控制人、全体董事、高级管理人员对公司填补回报措施能够得到切实履行作出了相关承诺。详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《2023年度向特定对象发行A股股票摊薄即期回报的风险提示、填补措施及相关主体承诺的公告》。

　　26、审议通过《关于提请股东大会授权董事会及其授权人士全权办理本次向特定对象发行A股股票相关事宜的议案》

　　表决结果：同意 5 票，反对 0 票，弃权 0 票。

　　为高效、有序地完成本次发行工作，根据相关法律、法规及规范性文件和《公司章程》的规定，公司董事会提请股东大会授权董事会或董事会授权人士（即公司管理层），全权办理与本次发行相关的全部事宜，包括但不限于：

　　1、根据具体情况制定和实施本次发行的具体方案，其中包括发行时机、发行数量、发行起止日期、发行价格、发行对象的选择、具体认购办法、认购比例等与本次发行具体方案有关的事项；

　　2、在股东大会审议批准的募集资金投向范围内，根据公司实际经营需要以及财务状况，决定本次发行募集资金投资项目的实际进度；根据本次发行募集资金投资项目实际进度及实际资金需求，调整或决定募集资金的具体使用安排；根据相关法律法规的规定、监管部门的要求及市场状况对募集资金投资项目进行必要的调整；

　　3、根据相关法律、法规及规范性文件的规定或相关证券监管部门的要求修改本次发行具体方案（但相关法律、法规及规范性文件和《公司章程》规定须由股东大会重新表决的事项除外）；

　　4、办理本次发行申报事宜；

　　5、决定并聘请本次发行的中介机构；

　　6、签署、修改、补充、递交、呈报、执行本次发行相关协议及文件，并办理与本次发行相关的一切必要或适宜的申请、报批、登记备案等手续；

　　7、在本次发行完成后，办理本次发行的股票在上海证券交易所及中国证券登记结算有限责任公司上海分公司登记、锁定和上市等相关事宜；

　　8、在本次发行完成后办理《公司章程》修订、工商变更登记等具体事宜；

　　9、如相关法律、法规及规范性文件和证券监管部门对向特定对象发行股票政策有新的规定，则根据法律、法规及规范性文件和证券监管部门新的政策规定，对本次具体发行方案作相应调整；

　　10、在相关法律、法规及规范性文件和《公司章程》允许的范围内，办理与本次发行有关的其他事项；

　　11、在保护公司利益的前提之下决定暂停、中止、延期或终止本次发行，撤回本次向特定对象发行股票申请文件。上述授权的有效期为公司股东大会审议通过之日起十二个月。公司在该有效期内取得中国证监会同意注册本次发行的，则该有效期自动延长至本次发行实施完成日。

　　本议案尚需提交公司股东大会审议。

　　27、审议通过《关于公司<2023年度向特定对象发行A股股票发行方案论证分析报告>的议案》

　　表决结果：同意 5 票，反对 0 票，弃权 0 票。

　　就本次发行，根据《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》及《上市公司证券发行注册管理办法》等法律、法规及规范性文件的相关规定，公司编制了《2023度向特定对象发行A股股票发行方案论证分析报告》。详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《2023年度向特定对象发行A股股票发行方案论证分析报告》。

　　本议案尚需提交公司股东大会审议。

　　28、审议通过《关于公司<前次募集资金使用情况的专项报告>的议案》

　　表决结果：同意 5 票，反对 0 票，弃权 0 票。

　　根据中国证监会《监管规则适用指引——发行类第7号》的有关规定，公司就本次发行编制了《前次募集资金使用情况的专项报告》，并聘请众华会计师事务所（特殊普通合伙）出具了《前次募集资金使用情况鉴证报告》。详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《前次募集资金使用情况的专项报告》。

　　本议案尚需股东大会审议。

　　29、审议通过《关于公司<未来三年（2023-2025年）股东分红回报规划>的议案》

　　表决结果：同意 5 票，反对 0 票，弃权 0 票。

　　为充分保护公司股东利益，尤其是中小投资者利益，公司制定了公司未来三年（2023-2025年）股东分红回报规划。详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《未来三年（2023-2025年）股东分红回报规划》。

　　本议案尚需股东大会审议。

　　30、审议通过《关于提请召开2023年第一次临时股东大会的议案》

　　表决结果：同意 5 票，反对 0 票，弃权 0 票。

　　公司将于2023年4月24日召开2023年第一次临时股东大会，审议此次向特定对象发行A股股票的相关议案。

　　详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《关于召开2023年第一次临时股东大会的通知》。

　　特此公告。

　　上海至纯洁净系统科技股份有限公司董事会

　　2023年4月8日

　　证券代码：603690          证券简称：至纯科技       公告编号：2023-040

　　上海至纯洁净系统科技股份有限公司关于公司2023年度向特定对象发行A股股票摊薄即期回报的风险提示、填补措施及相关主体承诺的公告

　　■

　　根据《国务院办公厅关于进一步加强资本市场中小投资者合法权益保护工作的意见》（国办发[2013]110号）、《国务院关于进一步促进资本市场健康发展的若干意见》国发[2014]17号）和中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）《关于首发及再融资、重大资产重组摊薄即期回报有关事项的指导意见》（证监会公告[2015]31号）等文件的要求，上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”或“发行人”）就本次非公开发行A股股票事项（以下简称“本次非公开发行”或“本次发行”）对即期回报摊薄的影响进行了认真分析测算，并提出了具体的填补回报措施，相关主体对发行人填补回报措施能够得到切实履行亦作出了承诺。具体情况如下：

　　重要声明：本分析测算不构成公司盈利预测，投资者不应据此进行投资决策，投资者据此进行投资决策并造成损失的，公司不承担赔偿责任。

　　一、本次向特定对象发行摊薄即期回报对公司主要财务指标的影响

　　（一）本次向特定对象发行摊薄即期回报分析的假设前提

　　（1）假设宏观经济环境、产业政策、行业发展状况等方面没有发生重大变化；

　　（2）暂不考虑股权激励计划、本次发行募集资金到账后对发行人生产经营、财务状况（如营业收入、财务费用、投资收益）等的影响；

　　（3）在预测公司总股本时，以公司2022年12月31日的总股本321,079,574股为基础，仅考虑本次向特定对象发行的影响，不考虑其他因素（如资本公积转增股本、股票股利分配、股权激励、股份回购、可转换公司债券转股等）导致发行人总股本发生的变化；

　　（4）公司2022年实现归属于上市公司股东的净利润28,244.20万元，归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润28,545.17万元。在此基础上，对应选取增长率为0%、10%及20%三种情形来测算公司2023年归属于上市公司股东的净利润及归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润；

　　（5）假设本次向特定对象发行募集资金总额为180,000.00万元，发行股份数量为发行数量上限，即96,323,872股，且不考虑发行费用影响；上述募集资金总额和发行股票数量仅为公司用于本测算的估计，最终募集资金和发行数量将根据中国证监会注册的情况、发行认购情况及发行费用等情况最终确定；

　　（6）假设本次向特定对象发行于2023年5月末实施完毕，该完成时间仅为公司用于本测算的估计，最终以经中国证监会同意注册并实际发行完成时间为准；

　　（6）假设暂不考虑公司利润分配情况的影响；

　　上述假设仅为测算本次向特定对象发行摊薄即期回报对公司主要财务指标的影响，不构成公司的盈利预测，亦不代表发行人对经营情况及趋势的判断。

　　（二）对公司主要财务指标的影响

　　基于上述假设，公司测算了本次发行对公司主要财务指标的影响，具体情况如下：

　　■

　　注：上述每股收益按照《公开发行证券的公司信息披露编报规则第9号-净资产收益率和每股收益的计算及披露》的规定计算。

　　二、对于本次向特定对象发行股票摊薄即期回报的风险提示

　　根据上述测算，本次发行后，公司总股本将会相应增加。但本次募集资金从资金投入到产生效益需要一定的时间，如果公司未来业务规模和净利润未能产生相应幅度的增长，公司每股收益等指标在短期内可能出现一定幅度的下降。特此提醒投资者关注本次向特定对象发行股票可能摊薄即期回报的风险。

　　三、本次向特定对象发行的必要性和合理性

　　本次向特定对象发行有利于发行人把握产业发展机遇，提升业务竞争力，落实公司发展战略，优化资本结构，增强抗风险能力及盈利能力。关于本次发行的必要性和合理性详见《上海至纯洁净系统科技股份有限公司2023年度向特定对象发行A股股票募集资金使用可行性分析报告（修订稿）》之“二、本次募集资金投资必要性与可行性分析”。

　　四、本次募集资金使用与公司现有业务的关系，公司从事募投项目在人员、技术、市场等方面的储备情况

　　（一）募集资金投资项目与公司现有业务的关系

　　公司本次向特定对象发行募集资金在扣除发行费用后将全部用于单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目，至纯湿法清洗设备及高纯工艺设备北方产业基地项目，启东半导体装备产业化基地二期项目和补充流动资金或偿还债务，拟投资项目均与公司现有业务发展方向一致，符合公司未来发展路径，具有良好的市场发展前景和盈利能力。通过本次募集资金的运用有利于进一步扩大公司的资产规模和业务规模，进一步增强公司资本实力，预计未来公司的可持续盈利能力、抗风险能力、市场竞争力以及公司的经营业绩均将得到明显增益，并直接和间接为公司中小股东持续创造价值。

　　（二）公司从事募投项目在人员、技术、市场等方面的储备情况

　　公司拥有众多行业专家人才，该等人员大都拥有相关领域全球领先企业的多年从业经历，技术实力强、管理水平高。通过多年在行业内的深耕，引进了湿法工艺装备方面的国外专业团队，并大规模培养了国内梯队，逐步提升设备的自研、自产。公司兼顾现有主营业务及外延发展，拥有一支专业度高、技术能力强的核心人才队伍。

　　公司建立了自主研发的科研创新体系，拥有上海市市级企业技术中心，下设联合实验室，同时旗下设有2个院士专家工作站（半导体领域和光电子领域）。公司具备高度自主研发水平，实现了设备高度自产，有效控制生产成本。目前公司拥有覆盖气体类系统，化学品系统、液体类系统等多项核心技术产品，多项核心产品处于研发阶段，技术储备充足，且公司研发费用持续增长，研发实力强劲。

　　通过多年的经验积累和技术开发，产品和服务不断完善，在高纯工艺系统和半导体清洗设备领域深耕多年，在行业中形成了良好的口碑和信誉，积累了一批长期稳定合作的高端客户和合作伙伴，且基本为各自行业的领军企业或主要企业。高纯工艺领域如上海华力、中芯国际、长江存储、合肥长鑫、士兰微、西安三星、无锡海力士等众多行业一线客户；半导体湿法设备领域如中芯国际、北京燕东、TI、华润等。

　　综上所述，为实施本次募集资金投资项目，公司在人员、技术、市场等方面均已做了良好的储备。

　　五、公司应对本次发行摊薄即期回报采取的措施

　　（一）不断完善公司治理，为公司发展提供制度保障

　　公司将严格遵循《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《上市公司治理准则》《上海证券交易所股票上市规则》等法律、法规和规范性文件的要求，不断完善公司治理结构，确保股东能够充分行使权利，确保董事会能够按照法律、法规和公司章程的规定行使职权、作出科学、迅速和谨慎的决策，确保独立董事能够认真履行职责，维护公司整体利益，尤其是中小股东的合法权益，确保监事会能够独立有效地行使对董事、高级管理人员及公司财务的监督权和检查权，为公司持续稳定的发展提供科学、有效的治理结构和制度保障。

　　（二）保证本次募集资金合理规范有效使用

　　公司董事会已对本次募集资金的可行性和必要性进行了充分论证，为规范募集资金的管理和使用，确保募集资金的使用规范、安全、高效，公司已依据照《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《上市公司证券发行管理办法》、《上海证券交易所股票上市规则》《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等法律法规的规定和要求，并结合公司实际情况，制定和完善了《上海至纯洁净系统科技股份有限公司募集资金管理制度》，对募集资金的专户存储、使用、用途变更等行为进行严格规范，以便于募集资金的管理和监督。同时，公司将根据相关法规和《上海至纯洁净系统科技股份有限公司募集资金管理制度》的要求，严格管理募集资金使用，保证募集资金按照既定用途得到充分有效利用。

　　（三）加强经营管理和内部控制，降低运营成本，加强人才引进

　　公司将继续加强日常经营管理和内部控制，并不断完善法人治理、优化组织结构，推进全面预算决策并加强成本管理，进而提升公司的日常经营效率，降低公司运营成本，提升经营业绩。此外，公司将不断加大人才引进力度，完善激励机制，吸引与培养更多优秀人才，进而帮助公司提高人员整体素质，提升整体运营效率。

　　（四）完善利润分配机制、强化股东回报

　　为完善和健全公司科学、持续、稳定的分红决策和监督机制，积极回报投资者，根据中国证监会《关于进一步落实上市公司现金分红有关事项的通知》《上市公司监管指引第3号—上市公司现金分红》等相关文件规定，同时结合公司实际情况和公司章程的规定，公司制定了《上海至纯洁净系统科技股份有限公司未来三年（2023年-2025年）股东分红回报规划》。公司将严格执行相关规定，切实维护投资者合法权益，强化中小投资者权益保障机制。本次发行后，公司将依据相关法律法规及公司章程规定，实施积极的利润分配政策，并注重保持连续性和稳定性，同时努力强化股东回报，切实维护投资者合法权益，并保障公司股东利益。

　　综上所述，公司将科学有效地运用本次发行募集资金，提升资金使用和经营效率，采取多种措施实现公司业务的可持续发展，持续提升经营业绩，在符合利润分配条件的前提下，积极推动对股东的利润分配，以提高公司对投资者的回报能力，有效降低股东即期回报被摊薄的风险。

　　公司制定的上述填补回报措施不等于对公司未来利润作出保证，投资者不应据此进行投资决策，特此提示。

　　六、公司控股股东、实际控制人关于填补即期回报措施能够得到切实履行的承诺

　　为保障公司本次发行摊薄即期回报填补措施能够得到切实履行和维护中小投资者利益，公司控股股东蒋渊、陆龙英及共青城尚纯科技产业投资合伙企业（有限合伙）、实际控制人蒋渊就公司本次发行摊薄即期回报采取填补措施作出了如下承诺：

　　1、不会越权干预公司的经营管理活动，不会侵占公司利益；

　　2、若违反上述承诺给公司或者股东造成损失的，本承诺人/本企业将依法承担补偿责任；

　　3、自本承诺函出具日至公司本次非公开发行实施完毕前，如中国证券监督管理委员会、上海证券交易所等证券监督机构就填补回报措施及其承诺作出另行规定或提出其他要求，且上述承诺不能满足该等规定的，本承诺人/本企业承诺届时将按照最新规定出具补充承诺。

　　七、公司董事、高级管理人员关于保证公司填补即期回报措施切实履行的承诺

　　为保障公司本次发行摊薄即期回报填补措施能够得到切实履行和维护中小投资者利益，公司全体董事、高级管理人员就公司本次发行摊薄即期回报采取填补措施作出如下承诺：

　　1、本人承诺不无偿或以不公平条件向其他单位或者个人输送利益，也不采用其他方式损害公司利益；

　　2、本人承诺对职务消费行为进行约束；

　　3、本人承诺不动用公司资产从事与履行职责无关的投资、消费活动；

　　4、本人承诺由董事会或薪酬委员会制定的薪酬制度与公司填补回报措施的执行情况相挂钩；

　　5、如公司未来实施股权激励方案，本人承诺股权激励方案的行权条件与公司填补回报措施的执行情况相挂钩；

　　6、自本承诺出具日至公司本次非公开发行实施完毕前，如中国证券监督管理委员会、上海证券交易所等证券监管机构就填补回报措施及其承诺作出另行规定或提出其他要求，且上述承诺不能满足该等规定的，本人承诺届时将按照最新规定出具补充承诺；

　　7、作为填补回报措施相关责任主体之一，本人若违反上述承诺或拒不履行上述承诺，本人同意中国证券监督管理委员会和上海证券交易所等证券监管机构按照其制定或发布的有关规定、规则，对本人作出相关处罚或采取相关管理措施。

　　特此公告。

　　上海至纯洁净系统科技股份有限公司董事会

　　2023年4月8日

　　证券代码：603690         证券简称：至纯科技          公告编号：2023-027

　　上海至纯洁净系统科技股份有限公司

　　关于2022年度利润分配预案的公告

　　■

　　重要内容提示：

　　? 每股分配比例

　　A股每10股派发现金红利1.324元（含税），并每10股派送红股2股（含税）（每股面值1元）

　　? 本次利润分配以实施权益分派股权登记日登记的总股本为基数，具体日期将在权益分派实施公告中明确

　　? 若在实施权益分派的股权登记日前公司总股本发生变动，拟维持现金分红总额不变，相应调整每股现金分红比例，同时维持每股送转比例不变，相应调整送转总额，并将在相关公告中披露。

　　一、利润分配预案内容

　　经众华会计师事务所（特殊普通合伙）审计，截至2022年12月31日，上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”）母公司累计未分配利润为525,302,446.07元。经董事会决议，公司2022年年度拟以实施权益分派股权登记日登记的总股本为基数分配利润。本次利润分配预案如下：

　　1、公司拟向全体股东每10股送2股（每股面值1元）。以截至2022年12月31日总股本321,079,574股（其中公司回购账户1,157,600股不参与送股）为基数，共送股63,984,394.8股，本次送股后，公司总股本将增加至385,063,968.8股。（最终以中国证券登记结算有限责任公司上海分公司登记结果为准）

　　2、公司拟向全体股东每10股派发现金红利1.324元（含税）。以截至2022年12月31日总股本321,079,574股（其中公司回购账户1,157,600股不参与利润分配）为基数，合计拟派发现金红利42,519,596.53元（含税）。同时公司2022年已实施的股份回购金额44,994,320.00元视同现金分红，因此，公司2022年度实际累计现金分红为87,513,916.53元，占归属于上市公司股东的净利润比例为30.98%。

　　如在本公告披露之日起至实施权益分派股权登记日期间，因可转债转股、回购股份、股权激励授予股份回购注销、重大资产重组股份回购注销等致使公司总股本发生变动的，公司拟维持现金分红总额不变，相应调整每股现金分红比例，同时维持每股送转比例不变，相应调整送转总额，并将在相关公告中披露。

　　本次利润分配预案尚需提交股东大会审议。

　　二、公司履行的决策程序

　　（一）董事会会议的召开、审议和表决情况

　　公司于2023年4月6日召开第四届董事会第三十二次会议审议通过了此次利润分配预案，同意本次利润分配预案并同意将该议案提交公司2022年年度股东大会审议。

　　（二）独立董事意见

　　结合公司股本、财务状况、发展计划及资金需求等因素，公司独立董事认为公司2022年度利润分配预案兼顾了股东合理回报及公司可持续发展的需要，现金分红水平具有合理性，符合公司利润分配政策，有利于维护股东的长远利益。同意将该议案提交股东大会审议通过后实施。

　　（三）监事会意见

　　公司2022年度利润分配预案符合《公司法》《证券法》和《公司章程》中对于分红的相关规定，符合公司股利分配政策，体现了公司对投资者的回报，2022年度利润分配预案具备合法性、合规性及合理性。监事会对于2022年度利润分配预案无异议。

　　四、相关风险提示

　　1、本次利润分配预案结合了公司发展阶段、未来的资金需求等因素，不会对公司经营现金流产生重大影响，不会影响公司正常经营和长期发展。

　　2、本次利润分配预案尚需提交2022年度股东大会批准，敬请广大投资者注意投资风险。

　　特此公告。

　　上海至纯洁净系统科技股份有限公司董事会

　　2023年4月8日

　　证券代码：603690        证券简称：至纯科技          公告编号：2023-032

　　上海至纯洁净系统科技股份有限公司关于2022年度计提信用及资产减值准备的公告

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　　上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”）第四届董事会第三十二次会议、第四届监事会第三十次会议审议通过了《关于2022年度计提信用及资产减值准备的议案》,该议案无需提交股东大会审议。根据《企业会计准则》及公司会计政策的相关规定，基于谨慎性原则，公司对各项需要计提减值的资产进行了评估，并对预计可收回金额低于其账面价值的各项资产计提减值准备。

　　公司2022年计提各项信用减值准备合计人民币11,121.45万元，资产减值准备754.89万元。 具体如下：

　　单位：人民币万元

　　■

　　一、计提减值准备对公司的影响

　　2022年度公司合并报表计提信用减值准备11,121.45万元，计提资产减值准备754.89万元，减少利润总额11,876.34万元。

　　二、计提信用及资产减值准备的具体说明

　　1、信用减值准备

　　公司于资产负债表日对应收款项预计可收回金额进行判断，无论是否存在重大融资成分，公司均按照整个存续期的预期信用准备计量。当单项应收票据及应收账款无法以合理成本评估预期信用准备的信息时，公司依据信用风险特征将其划分为若干组合，在组合基础上计算预期信用准备。如果有客观证据表明某项应收票据及应收账款已经发生信用减值，则本公司对该应收票据及应收账款单项计提坏账准备并确认预期信用准备。对于划分为组合的应收票据及应收账款，本公司参考历史信用准备经验，结合当前状况以及对未来经济状况的预测，通过违约风险敞口和整个存续期预期信用准备率，计算预期信用准备。当单项其他应收款无法以合理成本评估预期信用准备的信息时，本公司依据信用风险特征将其他应收款划分为若干组合，在组合基础上计算预期信用准备。经测试，2022年计提信用减值准备共计11,121.45万元。

　　2、资产减值准备

　　公司存货成本高于其可变现净值的，计提存货跌价准备，计入当期损益。公司确定存货的可变现净值，以取得的确凿证据为基础，并且考虑持有存货的目的、资产负债表日后事项的影响等因素。为执行销售合同或者劳务合同而持有的存货，其可变现净值以合同价格为基础计算。持有存货的数量多于销售合同订购数量的，超出部分的存货的可变现净值以一般销售价格为基础计算。

　　公司在确定与合同成本有关的资产的减值准备时，首先对按照其他相关企业会计准则确认的、与合同有关的其他资产确定减值准备；然后根据其账面价值高于本公司因转让与资产相关的商品预期能够取得的剩余对价以及为转让该相关商品估计将要发生的成本这两项的差额的，超出部分应当计提减值准备，并确认为资产减值准备。

　　经测试，2022年计提资产减值准备共计754.89万元。

　　三、独立董事关于公司计提减值准备的意见

　　公司本次计提信用及资产减值准备事项是基于谨慎性原则，符合《企业会计准则》和公司相关制度的规定，并履行了相应的决策程序。本次计提信用及资产减值准备能够真实公允地反映公司的实际资产、财务状况。同意本次计提信用及资产减值准备事项。

　　四、审计委员会关于公司计提减值准备的意见

　　审计委员会认为：公司本次计提信用及资产减值准备符合《企业会计准则》和公司会计政策的规定，能够更加真实公允地反映公司2022年度财务状况及经营成果，有助于向投资者提供更加准确的会计信息，不存在损害公司及全体股东特别是中小股东利益的情况。

　　五、监事会关于公司计提减值准备的意见

　　监事会认为：公司本次计提信用及资产减值准备的决策程序合法合规，符合《企业会计准则》及公司相关制度的规定，符合公司实际情况，同意本次计提信用及资产减值准备。

　　特此公告。

　　上海至纯洁净系统科技股份有限公司董事会

　　2023年4月8日

　　证券代码：603690         证券简称：至纯科技         公告编号：2023-035

　　上海至纯洁净系统科技股份有限公司

　　关于第三期股权激励首次授予的股票期权第二个行权期行权条件成就的公告

　　■

　　重要内容提示:

　　本次股票期权拟行权数量：120.336 万份

　　行权股票来源：公司向激励对象定向发行的本公司人民币A股普通股股票

　　上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”）于2023年4月6日召开第四届董事会第三十二次会议、第四届监事会第三十次会议，审议通过了《关于第三期股权激励首次授予的股票期权第二个行权期行权条件成就的议案》，公司第三期股权激励计划（以下简称“本次计划”）首次授予股票期权第二个行权期行权条件已经成就，现将有关情况公告如下：

　　一、本次计划批准及实施情况

　　（一）本次计划已履行的决策程序

　　1、公司于2020年10月30日分别召开了第三届董事会第四十次会议、第三届监事会第三十一次会议，审议通过了《关于<上海至纯洁净系统科技股份有限公司第三期股票期权与限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》《关于<上海至纯洁净系统科技股份有限公司第三期股票期权与限制性股票激励计划实施考核管理办法>的议案》《关于提请股东大会授权董事会办理公司第三期股票期权与限制性股票激励计划相关事宜的议案》等议案，公司独立董事对此发表了独立意见。

　　2、2020年11月13日，公司内部公示了激励对象名单，公示时间自2020年11月13日起至2020年11月25日止。在公示期间，公司未接到任何人对公司本次激励对象提出的异议。监事会对激励对象名单进行了核查，并于2020年11月25日出具了《监事会关于公司第三期股权激励对象名单审核及公示情况的说明》。

　　3、公司于2020年12月1日召开2020年第三次临时股东大会，审议通过了《关于<上海至纯洁净系统科技股份有限公司第三期股票期权与限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》《关于<上海至纯洁净系统科技股份有限公司第三期股票期权与限制性股票激励计划实施考核管理办法>的议案》《关于提请股东大会授权董事会办理公司第三期股票期权与限制性股票激励计划相关事宜的议案》，并对本次激励计划内幕信息知情人买卖公司股票情况的自查报告进行了公告。

　　4、2021年1月13日，公司分别召开了第三届董事会第四十二次会议和第三届监事会第三十二次会议，审议通过了《关于调整公司第三期股权激励计划相关事项的议案》《关于首次向激励对象授予第三期股权激励股票期权与限制性股票的议案》，公司监事会对公司本次股权激励计划的调整事项进行了核查并发表了意见。公司独立董事对此发表了独立意见，公司监事会对调整后的激励对象名单再次进行了核实。上海博行律师事务所出具了本次调整及授予相关内容的法律意见书。2021 年 1 月 26 日在中国证券登记结算有限责任公司上海分公司办理完成43万股限制性股票、466.2万份股票期权的授予登记工作。

　　5、2021年4月29日，公司召开了第四届董事会第三次会议，审议通过了《关于回购注销第一、二、三期股权激励计划中部分限制性股票、股票期权的方案》，决定因4名激励对象离职、1名激励对象2020年度考核不合格，将回购注销第一期限制性股票激励计划预留授予的尚未解锁的3万股限制性股票、注销第二期股票期权与限制性股票激励计划首次授予的尚未行权的14.5万份股票期权及预留授予的尚未行权的3万份股票期权、注销第三期股票期权与限制性股票激励计划首次授予的尚未行权的2.5万份股票期权。

　　6、2021 年 10 月 8 日，公司分别召开了第四届董事会第八次会议、第四届监事会第七次会议审议通过了《关于向激励对象授予第三期股权激励预留权益的议案》，确定 2021 年 10 月 8 日为授予日，股票期权的行权价格为 48.83 元/份。公司独立董事和监事会对本次向激励对象授予预留权益事宜发表了同意的意见。2021年10月15日在中国证券登记结算有限责任公司上海分公司办理完成90万股股票期权的授予登记工作。

　　7、2022年4月28日，公司召开了第四届董事会第十八次会议，审议通过《关于调整第二期首次、预留授予及第三期首次授予的股票期权行权价格的议案》，因公司实施了2020年度利润分配，每股派发现金红利为 0.16363元（含税），故第二期股权激励计划首次授予的股票期权行权价格由18.4244元/份调整为18.26077元/份，第二期股权激励计划预留授予的股票期权行权价格由33.074元/份调整为32.91037元/份，第三期股权激励计划首次授予的股票期权行权价格由35.52元/份调整为35.35637元/份。

　　同时审议通过了《关于回购注销第二、三期股权激励计划中部分限制性股票、股票期权的方案》，决定因13名激励对象离职，根据《第二期股票期权与限制性股票激励计划》《第三期股票期权与限制性股票激励计划》的规定，公司将注销第二期股票期权与限制性股票激励计划首次授予的尚未行权的9.1万份股票期权及预留授予的尚未行权的3万份股票期权、注销第三期股票期权与限制性股票激励计划首次授予的尚未行权的14.3万份股票期权、回购注销第三期股票期权与限制性股票激励计划授予的尚未解除限售的3万股限制性股票。

　　8、2022年7月5日，公司召开了第四届董事会第二十一次会议、第四届监事会第二十次会议，审议通过了《关于第三期股权激励首次授予的股票期权第一个行权期行权条件成就的议案》《关于公司第三期股权激励授予的限制性股票第一个解锁期解锁条件成就的议案》《关于注销第三期股权激励计划中部分股票期权的议案》等议案，独立董事对此发表了同意的独立意见，监事会对此发表了审核意见。

　　2022年7月18日，第三期股权激励第一个解锁期的12万股限制性股票解锁上市流通。

　　2022年11月7日至2023年1月12日，公司第三期股权激励首次授予的股票期权第一个行权期已全部行权结束，新增非限售流通股1,292,700 股。

　　9、2022年10月27日，公司召开了第四届董事会第二十五次会议、第四届监事会第二十四次会议，审议通过了《关于第三期股权激励预留授予的股票期权第一个行权期行权条件成就的议案》，独立董事对此发表了同意的独立意见，监事会对此发表了审核意见。

　　（二）第三期股票期权的历次授予情况

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　　（三）股票期权授予后的调整情况

　　2022年4月28日，公司召开了第四届董事会第十八次会议，审议通过《关于调整第二期首次、预留授予及第三期首次授予的股票期权行权价格的议案》，因公司实施了2020年度利润分配，每股派发现金红利为 0.16363元（含税），故第三期股权激励计划首次授予的股票期权行权价格由35.52元/份调整为35.35637元/份。

　　（四）股权激励计划的行权情况

　　2022年10月27日，公司召开了第四届董事会第二十五次会议、第四届监事会第二十四次会议，审议通过了《关于第三期股权激励预留授予的股票期权第一个行权期行权条件成就的议案》，第三期股权激励预留授予的股票期权第一个行权期行权条件成就，104名激励对象于2022年11月7日至2023年1月12日完成本次行权，合计129.27万股。

　　2023年4月6日，公司召开了第四届董事会第三十二次会议、第四届监事会第三十次会议，审议通过了《关于公司第三期股权激励首次授予的股票期权第二个行权期行权条件成就的议案》，公司第三期股权激励计划首次授予股票期权第二个行权期行权条件已经成就，同意符合条件的96名激励对象合计120.336万份股票期权办理相关行权事宜。

　　本次为公司第三期股权激励首次授予股票期权的第二个行权期。

　　二、本次计划首次授予的股票期权第二个行权期行权条件成就的说明

　　（一）首次授予的股票期权第二个等待期已届满

　　公司第三期股票期权激励计划首次授予权益的授权日为2021年1月13日。根据《第三期股票期权与限制性股票激励计划（草案）》的规定，激励对象获授的全部股票期权适用不同的等待期，均自授权日起