本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。

　　重要内容提示：

　　●被担保人名称：上海至纯系统集成有限公司（以下简称“系统集成”）、上海至纯半导体设备有限公司（以下简称“至纯半导体”）、江苏启微半导体设备有限公司（以下简称“江苏启微”）、上海波汇科技有限公司（以下简称“波汇科技”）、广州市浩鑫洁净工程技术有限公司（以下简称“广州浩鑫”）、珐成制药系统工程（上海）有限公司（以下简称“珐成制药”）。

　　●本次担保金额：

　　近日，因上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”或“至纯科技”）及子公司向银行申请综合授信即将到期，至纯科技及子公司系统集成、至纯半导体、江苏启微与汇丰银行（中国）有限公司上海分行重新签订了《保证书》、《授信合同》。至纯科技为系统集成、至纯半导体、江苏启微合计最高不超过人民币16,500万元的债务金额提供保证。至纯科技与系统集成、至纯半导体、江苏启微共用15,000万元人民币的授信额度，其中：至纯半导体授信额度不超过500万美元。本次综合授信公司提供担保金额合计人民币16,500万元。

　　因公司全资子公司波汇科技、广州浩鑫、珐成制药向银行申请贷款事宜，公司与中国银行股份有限公司上海市浦东开发区支行、中国光大银行股份有限公司上海分行分别签订了《最高额保证合同》。本次公司为波汇科技提供担保金额为2,490万元人民币，截至本公告日累计为其提供担保余额为5,700万元；本次公司为广州浩鑫提供担保金额为1,000万元人民币，截至本公告日累计为其提供担保余额为1,000万元；本次公司为珐成制药提供担保金额为1,000万元人民币，截至本公告日累计为其提供担保余额为5,997万元。

　　本次担保事项后的累计担保金额，均在公司 2021 年年度股东大会和2022年第三次临时股东大会批准的担保额度范围内。

　　●本次担保是否有反担保：无

　　●对外担保逾期的累计数量：无

　　●特别风险提示：本次被担保人系统集成、至纯半导体、广州浩鑫、珐成制药2021年末资产负债率超过70%，敬请投资者注意相关风险。

　　一、担保情况概述

　　经公司2021年年度股东大会和2022年第三次临时股东大会审议通过，同意公司2022年度为下属子公司提供担保总额度40亿元，其中为资产负债率超过70%的子公司提供担保额度17亿元，为资产负债率低于70%的子公司提供担保额度23亿元。详情请见公司分别于2022年4月30日和2022年8月2日在上海证券交易所网站《关于2022年度授信及担保额度预计的公告》（公告编号：2022-042）和《关于增加2022年度授信及担保额度预计的公告》（公告编号：2022-090）。

　　因公司及子公司向银行申请综合授信事宜，至纯科技及子公司系统集成、至纯半导体、江苏启微与汇丰银行（中国）有限公司上海分行分别签订了《保证书》、《授信合同》，详见2022年7月15日披露于上海证券交易所的《关于公司及其子公司向银行申请综合授信并对子公司提供担保的进展公告》（公告编号：2022-087）。近日，因授信即将到期，至纯科技及子公司系统集成、至纯半导体、江苏启微与汇丰银行（中国）有限公司上海分行重新签订了《保证书》、《授信合同》。至纯科技为系统集成、至纯半导体、江苏启微合计最高不超过人民币16,500万元的债务金额提供保证。至纯科技与系统集成、至纯半导体、江苏启微共用15,000万元人民币的授信额度，其中：至纯半导体授信额度不超过500万美元。本次综合授信公司提供担保金额合计人民币16,500万元。

　　因公司全资子公司波汇科技、广州浩鑫、珐成制药向银行申请贷款事宜，公司与中国银行股份有限公司上海市浦东开发区支行、中国光大银行股份有限公司上海分行分别签订了《最高额保证合同》。本次公司为波汇科技提供担保金额为2,490万元人民币，截至本公告日累计为其提供担保余额为5,700万元；本次公司为广州浩鑫提供担保金额为1,000万元人民币，截至本公告日累计为其提供担保余额为1,000万元；本次公司为珐成制药提供担保金额为1,000万元人民币，截至本公告日累计为其提供担保余额为5,997万元。

　　二、被担保人基本情况

　　1、上海至纯系统集成有限公司

　　■

　　上述数据为2021年度财务数据，以上数据已经审计。

　　2、上海至纯半导体设备有限公司

　　■

　　上述数据为2021年度财务数据，以上数据已经审计。

　　3、江苏启微半导体设备有限公司

　　■

　　上述数据为2021年度财务数据，以上数据已经审计。

　　4、上海波汇科技有限公司

　　■

　　上述数据为2021年度财务数据，以上数据已经审计。

　　5、广州市浩鑫洁净工程技术有限公司

　　■

　　上述数据为2021年度财务数据，以上数据已经审计。

　　6、珐成制药系统工程（上海）有限公司

　　■

　　上述数据为2021年度财务数据，以上数据已经审计。

　　三、协议主要内容

　　1、《授信合同》、《保证书》

　　（1）合同签署人

　　保证人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司

　　债权人：汇丰银行（中国）有限公司上海分行

　　债务人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司、上海至纯系统集成有限公司、上海至纯半导体设备有限公司、江苏启微半导体设备有限公司

　　（2）最高债务保证金额：人民币165,000,000元

　　（3）总授信金额：最高不超过人民币150,000,000元，其中：上海至纯半导体设备有限公司授信不超过5,000,000美元。

　　（4）保证方式：连带责任保证

　　（5）保证范围：最高债务额及其产生的违约利息和其他开支（包括律师费）等。

　　（6）保证期间：至债权确定期间终止之日起三年。

　　2、《最高额保证合同》

　　（1）合同签署人

　　保证人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司

　　债权人：中国银行股份有限公司上海市浦东开发区支行

　　债务人：上海波汇科技有限公司

　　（2）担保最高额度：人民币贰仟肆佰玖拾万元整

　　（3）保证方式：连带责任保证

　　（4）保证范围： 担保主债权，及基于该主债权之本金所发生的利息(包括利息、复利、罚息)、违约金、损害赔偿金、实现债权的费用(包括不限于诉讼费用、律师费用、公证费用、执行费用等)、因债务人违约而给债权人造成的损失和其他所有应付费用等。

　　（5）保证期间：合同项下所担保的债务逐笔单独计算保证期间，各债务保证期间为该笔债务履行期限届满之日起三年。

　　3、《最高额保证合同》

　　（1）合同签署人

　　保证人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司

　　授信人：中国光大银行股份有限公司上海分行

　　受信人：广州市浩鑫洁净工程技术有限公司

　　（2）担保最高额度：人民币壹仟万元整

　　（3）保证方式：连带责任保证

　　（4）保证范围：受信人在主合同项下应向授信人偿还或支付的债务本金、利息（包括法定利息、约定利息及罚息）、复利、违约金、损害赔偿金、实现债权的费用（包括但不限于诉讼/仲裁费用、律师费用、公证费用、执行费用等）和所有其他应付的费用。

　　（5）保证期间：每一笔具体授信业务的保证期间单独计算，为自具体授信业务合同或协议约定的受信人履行债务期限届满之日起三年。

　　4、《最高额保证合同》

　　（1）合同签署人

　　保证人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司

　　授信人：中国光大银行股份有限公司上海分行

　　受信人：珐成制药系统工程（上海）有限公司

　　（2）担保最高额度：人民币壹仟万元整

　　（3）保证方式：连带责任保证

　　（4）保证范围：受信人在主合同项下应向授信人偿还或支付的债务本金、利息（包括法定利息、约定利息及罚息）、复利、违约金、损害赔偿金、实现债权的费用（包括但不限于诉讼/仲裁费用、律师费用、公证费用、执行费用等）和所有其他应付的费用。

　　（5）保证期间：每一笔具体授信业务的保证期间单独计算，为自具体授信业务合同或协议约定的受信人履行债务期限届满之日起三年。

　　四、履行的相关程序

　　本次担保事项已经公司2021年年度股东大会和2022年第三次临时股东大会审议通过，详见公司分别于2022年5月27日和2022年8月19日在上海证券交易所网站《2021年年度股东大会决议公告》（公告编号：2022-064）和《2022年第三次临时股东大会决议公告》（公告编号：2022-097）。

　　五、公司累计对外担保情况

　　截至本公告日，公司实际对外担保总额为158,775万元人民币，占上市公司2021年度经审计归属于上市公司股东净资产的39.05%。截至目前，公司不存在对全资及控股子公司以外的担保对象提供担保的情形，公司及控股子公司不存在逾期担保的情形。

　　特此公告。

　　上海至纯洁净系统科技股份有限公司董事会

　　2023年4月7日