本公司董事会及除陈大同先生以外的全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　重要内容提示：

　　●中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）预计2022年营业收入约47.40亿元，较2021年增加约16.32亿元，同比增加52.50%。2022年新签订单金额为63.2亿元，较2021年增加约21.9亿元，同比增加约53.0%。

　　●公司预计2022年度实现归属于母公司所有者的净利润为108,000万元到120,000万元，与上年同期（法定披露数据）相比，将增加6,857.63万元到18,857.63万元，同比增加6.78%到18.64%。

　　●公司预计2022年度实现归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净利润为86,000万元到94,000万元，与上年同期（法定披露数据）相比，将增加53,560.40万元到61,560.40万元，同比增加165.11%到189.77%。

　　一、本期业绩预告情况

　　（一）业绩预告期间

　　2022年1月1日至2022年12月31日。

　　（二）业绩预告情况

　　1. 经财务部门初步测算，公司预计2022年营业收入约47.40亿元，较2021年增加约16.32亿元，同比增加52.50%（公司2021年营业收入为31.08亿元，同比增长36.72%）。公司从2012年到2021年十年的平均年营业收入增长率超过35%。2022年新签订单金额约63.2亿元，较2021年增加约21.9亿元，同比增加约53.0%。

　　2. 经财务部门初步测算，公司预计2022年度实现归属于母公司所有者的净利润为108,000万元到120,000万元，与上年同期（法定披露数据）相比，增加6,857.63万元到18,857.63万元，同比增加6.78%到18.64%。

　　3. 经财务部门初步测算，公司预计2022年度实现归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净利润为86,000万元到94,000万元，与上年同期（法定披露数据）相比，增加53,560.40万元到61,560.40万元，同比增加165.11%到189.77%。

　　（三）本次业绩预告未经注册会计师审计。

　　二、上年同期业绩情况

　　公司2021年度实现营业收入31.08亿元，比2020年增长 36.72%。

　　公司2021年度归属于母公司所有者的净利润101,142.37万元，归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净利润32,439.60万元。

　　三、本期业绩变化的主要原因

　　1.公司预计2022年营业收入同比增加约52.50%，主要原因是由于公司主打产品等离子体刻蚀设备是除光刻机外最关键、工艺难度最高的半导体前道加工设备。公司的等离子体刻蚀设备在国内外持续获得更多客户的认可，市场占有率不断提高，在国际最先进的5纳米芯片生产线及下一代更先进的生产线上均实现了多次批量销售。公司的另一个主打产品MOCVD设备在新一代Mini-LED产业化中，在蓝绿光LED生产线上取得了绝对领先的地位。另外，公司的各种新产品开发，比如用于更先进微观器件制程的薄膜设备和刻蚀设备，也取得了可喜的进展，即将为公司高速和持续的销售增长做出贡献。

　　2.扣非后归母净利润同比增加165.11%到189.77%的主要原因：2022年，公司克服了疫情的不利影响，做到了“封控不停产，营运零感染”。同时受益于半导体设备市场发展以及公司产品竞争优势，公司2022年营业收入约47.40亿元，较2021年增加约16.32亿元，同比增加52.50%；公司2022年毛利约21.71亿元，较2021年增加约8.23亿元，同比增加61.08%。

　　3.归母净利润同比增加6.78%到18.64%的主要原因：公司2022年收入和毛利增长下，扣非后归母净利润较上年同期增加约5.36亿元到6.16亿元，但2022年非经常性收益较上年同期减少约4.42亿元。非经常性损益的变动主要包括：（1）2022年计入非经常性损益的政府补助收益较上年同期减少约1.65亿元；（2）2022年公司因股权投资产生的公允价值变动收益和处置收益较上年同期减少约3.52亿元，主要是由于部分股权投资于2021年产生较大的公允价值变动收益，2022年的收益相对较小，以及公司持有的中芯国际的股票价格在2022年有所下降。

　　四、风险提示

　　公司不存在影响本次业绩预告内容准确性的重大不确定因素。

　　五、其他说明事项

　　以上预告数据仅为初步核算数据，具体准确的财务数据以公司正式披露的经审计后的2022年年报为准，敬请广大投资者注意投资风险。

　　特此公告。

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会

　　2023年1月31日