本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　一、本期业绩预告情况

　　（一）业绩预告期间

　　2021年1月1日至2021年12月31日。

　　（二）业绩预告情况

　　1、经财务部门初步测算，预计公司2021年年度实现归属于上市公司股东的净利润为10,114.34万元到11,873.36万元，与上年同期相比，将增加3,010.45万元到4,769.46万元，同比增加42.38%到67.14%。

　　2、归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润为8,326.7万元到9,774.82万元，与上年同期相比，将增加2,833.84万元到4,281.96万元，同比增加51.59%到77.95%。

　　（三）本次业绩预告未经注册会计师审计

　　二、上年同期业绩情况

　　2020年度，公司归属于上市公司股东的净利润：7,103.89万元；归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润：5,492.86万元。

　　三、本期业绩变化的主要原因

　　公司2021年年度业绩较上年同期增长的主要原因系公司所处下游泛半导体、PCB等行业持续保持高景气度，客户技术迭代需求增加，公司产能增加，直写光刻设备、直接成像设备及自动线设备等销量增加；公司深耕市场，建立了较高的品牌知名度；公司加大研发投入，新产品不断投入市场，产品性能进一步提高，国产替代进程加快。

　　四、相关风险提示

　　本次业绩预告是公司财务部门基于自身专业判断进行的初步核算，尚未经注册会计师审计。公司不存在影响本次业绩预告准确性的重大不确定因素。

　　五、其他说明事项

　　以上预告数据仅为初步核算数据，具体准确的财务数据以公司正式披露的经审计后的2021年年报为准，敬请广大投资者注意投资风险。

　　特此公告。

　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会

　　2022年1月21日