本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　重要内容提示：

　　●本次限售股上市流通的数量为80,229,335股，占中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”或“公司”）目前股份总数的比例为13.02%，限售期为6个月；

　　●本次申请解除限售股份的股东数为20名；

　　●本次限售股上市流通日期为2022年1月4日。

　　一、本次上市流通的限售股类型

　　本次限售股上市类型为非公开发行限售股，情况如下：

　　2021年3月9日，公司收到中国证券监督管理委员会出具的《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可[2021]645号），同意公司向特定对象发行A股股票的注册申请。

　　2021年6月30日，公司在中国证券登记结算有限责任公司上海分公司办理完毕本次发行新增股份登记托管及股份限售手续，公司总股本由534,862,237股变更为615,091,572股。

　　本次上市流通的限售股股东数量为20名，解除限售的股份数量为80,229,335股，占公司目前股份总数的比例为13.02%，限售期截止日为2021年12月31日，上市流通日为2022年1月4日。

　　二、本次上市流通的限售股形成后至今公司股本数量变化情况

　　公司非公开发行后，公司总股本为615,091,572股。

　　公司于2021年8月18日收到中国证券登记结算有限责任公司上海分公司出具的《证券变更登记证明》，公司于2021年8月17日完成了2020年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期的股份登记工作，本次归属股票数量为115.2908万股，本次限制性股票归属后，公司股本总数由615,091,572股增加至616,244,480股。

　　三、本次上市流通的限售股的有关承诺

　　本次非公开发行限售股解除限售的全部20名发行对象承诺所认购的股份自发行结束之日起6个月不得转让。

　　除上述承诺外，本次申请上市的限售股股东无其他特别承诺。

　　截至本公告发布之日，本次申请上市的限售股持有人不存在相关承诺未履行而影响本次限售股上市流通的情况。

　　四、中介机构核查意见

　　经核查，海通证券认为：

　　中微公司本次限售股份上市流通符合《上海证券交易所科创板股票上市规则》等相关法律法规和规范性文件的要求；本次限售股份解除限售数量、上市流通时间等均符合有关法律、行政法规、部门规章、有关规则和股东承诺；截至本核查意见出具之日，中微公司关于本次限售股份相关的信息披露真实、准确、完整。

　　海通证券对中微公司本次限售股份解禁上市流通事项无异议。

　　五、本次上市流通的限售股情况

　　（一）本次限售股上市流通的数量为80,229,335股，占公司目前股份总数的比例为13.02%。

　　（二）本次申请解除限售股份的股东为20名。

　　（三）本次上市流通日期为2022年1月4日。

　　（四）限售股上市流通明细清单如下：

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　　限售股上市流通情况表：

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　　特此公告。

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司

　　董事会

　　2021年12月28日