一 重要提示

　　1 本年度报告摘要来自年度报告全文，为全面了解本公司的经营成果、财务状况及未来发展规划，投资者应当到上海证券交易所网站等中国证监会指定媒体上仔细阅读年度报告全文。

　　2 本公司董事会、监事会及董事、监事、高级管理人员保证年度报告内容的真实、准确、完整，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。

　　3 公司全体董事出席董事会会议。

　　4 众华会计师事务所（特殊普通合伙）为本公司出具了标准无保留意见的审计报告。

　　5 经董事会审议的报告期利润分配预案或公积金转增股本预案

　　以股权登记日的总股本为基数，公司拟向股权登记日登记在册的全部股东每10股派发现金红利1.6383元（含税），预计共派发现金红利52,118,987.90元（含税），占合并报表本年实现归属于上市公司股东净利润的20.00%。

　　二 公司基本情况

　　1 公司简介

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　　2 报告期公司主要业务简介

　　（一）公司从事的主要业务

　　公司的主营业务主要包括高纯工艺系统的研发、生产和销售；半导体湿法清洗设备研发、生产和销售; 光传感应用及相关光学元器件的研发、生产和销售。

　　1、高纯工艺系统

　　泛半导体工艺伴随许多种特殊制程，会使用到大量超高纯（ppt级别）的干湿化学品，这是完成工艺成果的重要介质，其特点是昂贵并伴随排放。在集成电路领域，高纯工艺系统主要包括高纯特气系统、大宗气体系统、高纯化学品系统、研磨液供应及回收系统、前驱体工艺介质系统等。其中，各类高纯气体系统主要服务于几大干法工艺设备，各类高纯化学品主要服务于湿法工艺设备。公司在用户价值上聚焦六个词：“高纯、工艺、节能、环保、自动化、智能化”。公司在湿法工艺往深度走的同时，在减排和工艺数字化领域也投入研发，有具体的产品和服务的部署，该领域的投入兼具经济效益和社会效益。

　　高纯工艺系统的核心是系统设计，系统由专用设备、侦测传感系统、自控及软件系统、管阀件等组成；系统的前端连接高纯介质储存装置，系统的终端连接客户自购的工艺生产设备。

　　在高纯工艺系统业务，公司加大了对于工艺减排、产品服务化的布局。

　　高纯工艺系统的产品主要包括：气体高纯工艺设备及系统、化学品高纯工艺设备及系统、研磨液供应及回收系统、前驱体介质系统、大宗气体、半导体工艺尾气处理设备及系统、物料及水系统，广泛应用于集成电路、显示屏、光电、光伏及生物制药、食品饮料等领域。

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　　2、半导体湿法清洗设备

　　公司提供湿法设备，包含湿法槽式清洗设备及湿法单片式清洗设备，主要应用于集成电路、微机电系统、平板显示等领域。

　　随着半导体芯片工艺技术的发展，工艺技术节点进入28纳米、14纳米等更先进等级，随着工艺流程的延长且越趋复杂，每个晶片在整个制造过程中需要甚至超过200道清洗步骤，晶圆清洗变得更加复杂、重要及富有挑战性； 清洗设备及工艺也必须推陈出新，使用新的物理和化学原理，在满足使用者的工艺需求条件下，兼顾降低晶圆清洗成本和环境保护。

　　公司湿法工艺设备所部署的技术路线：提供槽式设备（槽数量按需配置）及单片机设备（8~12反应腔）均可以提供8~12寸晶圆制造的湿法工艺设备。该类设备可以应用在先进工艺上，主要为存储（DRAM，3D Flash）、先进逻辑产品以及一些特殊工艺上，例如薄片工艺、化合物半导体、金属剥离制程等。

　　在技术储备上，公司将持续投入资源开发符合高阶工艺应用的设备（如多反应腔、18腔等）。

　　公司的湿法工艺设备的子系统包含药液循环系统、温控系统、传送系统、自动控制系统、通信系统、传感控制系统、气体流场设计、反应药液回收环设计等。

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　　3、光纤传感器及光电子元器件

　　公司全资子公司波汇科技主要从事光纤传感器及光电子元器件的研发、生产及销售，专注于光纤传感及光电子元器件技术研发并在分布式光纤振动监测、温度监测、光纤光栅传感、算法仿真、智能视频、真空镀膜技术以及应用软件开发方面具有核心技术。主要产品有光纤电网综合监测系统、光纤石化油库管道综合监控系统、光纤桥梁结构健康监测系统、光纤轨道交通综合监测系统、光电子元器件（滤光片、激光管帽、磁光开光、标准具）、激光气体传感监测系统。主要应用于电力电网、石油石化、城市地下综合管廊、数据及通信等领域。

　　（二）经营模式

　　1、高纯工艺系统

　　公司通过获取客户需求与业务信息，以竞标为主、议标为辅的方式实现销售。公司以项目为单位为客户进行定制化的设计、生产和安装，以满足不同客户的生产工艺要求。根据不同项目要求分次进行采购为主，同时针对长交期或者产业上游元器件交期波动的情形进行一定量集中采购以实现提前备货。中标以后，由技术中心以项目为单位制定系统的整体设计方案；系统所用的专用设备由制造中心根据技术中心的要求制定设备的生产工艺流程，在公司的生产车间完成；工程中心负责管道、阀门、仪表、配件的客户现场预制，再根据设计方案的要求完成整个系统的安装。

　　2、半导体湿法清洗设备

　　公司主要采取自主研发的模式，研发流程主要包括概念与可行性阶段、 Alpha阶段、Beta阶段、量产阶段。在概念与可行性阶段，研发部根据市场情况需求提出新产品的构思，综合比对多种技术方案以确定合适客户需求的研发。在Alpha阶段，公司根据市场需求进行机台设计、组装开发和验证。在Beta阶段，公司将机台送往目标客户以完成生产线的大批量验证。在量产阶段，公司设备技术已经成熟，根据市场需求进行量产。

　　公司主要根据生产计划、物料清单及相关原材料的库存情况制定相应的采购计划，公司注重供应商的选择，目前已与全球多家供应商建立了长期、稳定的合作关系。

　　公司采用“以销定产”的生产模式，根据客户的销售订单情况及相关技术规格制定生产计划并组织生产，由公司销售部门直接销售给客户，并完成合同回款、客户信息与结果反馈等工作。

　　3、光纤传感器及光电子元器件

　　在电力、石油石化领域，公司主要是通过招投标方式获取最终客户的销售合同，一般的销售流程为：获取客户采购信息，确认参加报价或者竞标，按照客户要求进行报价或者竞标，成功后获取供货资格，最后签订销售合同。

　　在城市地下综合管廊、轨道交通领域则是通过总承包商向最终用户提供产品解决方案。通过总承包商获取客户合同后采购本公司的定制化产品，从而实现销售。

　　公司滤光片、激光管帽等光电子元器件业务直接客户为光通信器件厂商。根据客户需求，在完成招投标流程并中标后，公司将样品送至客户处进行质量、规格等相关测试。待测试满足标准后，公司与客户签订销售订单，产品产出后发货至客户处，待客户验收无误后确认收入。

　　公司建立了合格供应商制度，采购以项目为导向，根据项目进度编制采购计划，对于自制产品常用材料会安排做部分安全库存备货，并结合交期和优先等级进行以销定产的生产排产模式。

　　（三）行业情况

　　1、高纯工艺系统

　　在应用领域上，高纯工艺系统的使用范围越来越广。不纯物控制技术最初应用在半导体行业。随着半导体制程工艺的广泛应用，现代制造业形成了一个泛半导体产业，即皆以半导体制程为产品的制造流程，其中的制程包括如掺杂、光刻、刻蚀、CVD成膜等均需使用相当多的高纯度气体和高纯度化学品，从而产生对高纯工艺系统的大量需求。

　　目前少数本土供应商的产品和服务已经顺利进入全球一线客户，竞争地位不断增强，正逐步实现进口替代，包括系统的替代、设备的替代、乃至元器件层的替代。行业内技术领先且具有承接大项目实力与经验的本土企业较少，行业内呈现出高等级高纯工艺市场集中度较高、低等级市场较为分散的竞争格局，本土主流供应商的竞争地位将不断增强。

　　目前公司高纯工艺系统已经切入一线用户，用户有中芯国际、华虹华力、华润、士兰微、长江存储、长鑫存储、海力士，三星，台积电，力晶等等，是下游行业的领先者。

　　2、半导体湿法清洗设备

　　随着半导体芯片工艺技术节点进入28纳米、14纳米等更先进等级，工艺流程的延长且越趋复杂，产线成品率也会随之下降。造成这种现象的一个原因就是先进制程对杂质的敏感度更高，小尺寸污染物的高效清洗更困难。解决的方法主要是增加清洗步骤。每个晶片在整个制造过程中需要甚至超过200道清洗步骤，晶圆清洗变得更加复杂、重要及富有挑战性。

　　目前中国市场和国际市场范围内，主要的湿法设备厂商以日本和欧美为主，国内目前有三家在湿法工艺设备端提供中高阶湿法制程设备，分别是至纯科技、北方华创和盛美，国内厂商的市场占比在逐年上升中。目前至纯科技是国内能提供到28纳米节点全部湿法工艺的本土供应商。

　　目前公司湿法设备已经切入一线用户，用户有中芯国际、华虹集团、长鑫存储、华为、华润、燕东、台湾力晶等等，均为所在下游行业的领先者。其中公司单片湿法设备获得国内重要用户的多个订单，高温硫酸、晶背清洗、后段去胶、长膜前单片机型入选，进一步填补国产装备在湿法清洗领域的空白。截止到2020年12月31日，湿法设备累计申请专利122项（其中发明专利74项），已授权实用新型专利23项。公司12寸单片湿法清洗设备和槽式湿法设备将有效代表本土品牌参与到中国大陆和中国大陆以外高端清洗设备市场；公司的湿法设备历经IP自主、供应链自主研发，在国内（启东）湿法设备制造基地制造，并有序展开扶持供应链的本地化。伴随自主研发的多个型号单片式清洗设备获得商用推进，公司的投资价值和潜力进一步凸显，业务潜力有望进一步释放。

　　3、光纤传感器及光电子元器件

　　近年来，在智慧城市、物联网、智能移动终端、智能制造、机器人、智能电网、石油石化、新能源等下游应用市场的推动下，中国光传感器市场快速成长，成为拉动全球光传感器市场增长的主要力量。光纤传感器为光传感领域下属细分子行业，以光纤传感技术为核心技术。光纤传感技术是一种以光纤中的导波原理为理论基础的新型传感技术，以光纤为媒介感知和探测外界被测信号。我国信息技术的迅猛发展以及物联网产业的兴起带动了光纤传感器行业的快速发展。目前，光纤传感器的用途已非常广泛，电力电网、输油管道、城市地下综合管廊、轨道交通、隧道、大楼整体建筑等领域都可以通过铺设光纤与互联网连接起来，将监测信息传给任意设定的终端进行远程监测与控制，使各类大型基础设施的安全状况可以获得连续不间断的监控，并提供预警信息，从而构成一个大规模、高度可靠和低能耗的光联网基础感知神经网络，融入物联网技术发展的需求当中去，推动物联网产业的发展。

　　光通信器件按照其物理形态的不同，可分为芯片、光有源器件、光无源器件、光模块与子系统四大类。在光通信器件中，光模块为光电转换的核心设备，光模块由特定光器件封装而成。根据咨询机构Ofweek的数据，光器件为光模块重要构成部分，占光模块成本约为73%。公司主要产品滤光片、激光管帽等为光器件重要构成部分，占光器件成本约10%。

　　光电子元器件行业为光通信领域上游行业。光电子元器件是利用电-光子转换效应制成的各种功能器件，是光电子技术的关键和核心部件，其技术发展对光电子产业乃至整个电子信息产业有着重大影响，代表着现代光电技术与微电子技术的前沿研究领域。从光电子元器件的应用来看，主要应用领域如下：①光通信领域的光通信器件（芯片、光模块、光器件等）、光纤光缆等光通信器件；②显示领域的液晶显示面板、OLED显示面板等光显示器件；③照明领域的LED照明芯片、LED照明模块、OLED照明面板等光照明器件；④传感领域的图像传感器、光纤传感器、红外传感器、环境光传感器、激光传感器等光传感器件。

　　3 公司主要会计数据和财务指标

　　3.1 近3年的主要会计数据和财务指标

　　单位：元  币种：人民币

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　　3.2 报告期分季度的主要会计数据

　　单位：元  币种：人民币

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　　季度数据与已披露定期报告数据差异说明

　　□适用  √不适用

　　4 股本及股东情况

　　4.1 普通股股东和表决权恢复的优先股股东数量及前10 名股东持股情况表

　　单位: 股

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　　4.2 公司与控股股东之间的产权及控制关系的方框图

　　√适用  □不适用

　　■

　　4.3 公司与实际控制人之间的产权及控制关系的方框图

　　√适用  □不适用

　　■

　　4.4 报告期末公司优先股股东总数及前10 名股东情况

　　□适用  √不适用

　　5 公司债券情况

　　□适用  √不适用

　　三 经营情况讨论与分析

　　1 报告期内主要经营情况

　　报告期内，公司半导体板块业务持续发力，光传感光电子业务板块发展良好，公司整体实现营业收入13.97亿元、总资产59.57亿元、归属于母公司所有者净利润2.61亿元、每股收益1.013元；较上年同期分别增加41.63%、82.88%、136.36%、122.64%。

　　2 导致暂停上市的原因

　　□适用  √不适用

　　3 面临终止上市的情况和原因

　　□适用  √不适用

　　4 公司对会计政策、会计估计变更原因及影响的分析说明

　　□适用  √不适用

　　5 公司对重大会计差错更正原因及影响的分析说明

　　□适用  √不适用

　　6 与上年度财务报告相比，对财务报表合并范围发生变化的，公司应当作出具体说明。

　　√适用  □不适用

　　公司合并财务报表的合并范围以控制为基础确定，所有子公司均纳入合并财务报表。本期纳入合并范围的公司为本公司和20家子公司和21家孙公司，比上年合并范围新增5家子公司和2家孙公司，具体见本附注“九、在其他主体中的权益”。

　　证券代码：603690    证券简称：至纯科技      公告编号：2021-062

　　上海至纯洁净系统科技股份有限公司关于2020年度利润分配预案的公告

　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担个别及连带责任。

　　重要内容提示:

　　●每股分配比例：每10股派发现金红利1.6383元（含税）

　　●本次利润分配以实施权益分派股权登记日登记的总股本为基数，具体日期将在权益分派实施公告中明确

　　●若在实施权益分派的股权登记日前公司总股本发生变动，拟维持分配总额不变，相应调整每股分配比例，并将另行公告具体调整情况。

　　●本年度现金分红比例低于30%主要由于公司将继续投入半导体湿法工艺设备及与设备相关的电子材料、后续服务，公司高纯工艺系统、光传感系统业务回款周期较长，需要公司预留一定的资金，降低因业务发展资金需求而产生的财务风险。

　　一、利润分配方案内容

　　经众华会计师事务所（特殊普通合伙）审计，截至2020年12月31日，上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”）母公司累计未分配利润为283,160,770.10元。经董事会决议，公司2020年年度拟以实施权益分派股权登记日登记的总股本为基数分配利润。本次利润分配方案如下：

　　截至2020年12月31日，公司总股本307,804,612股，2021年1月4日，公司第三届董事会第四十一次会议审议通过了《关于公司提前赎回 “至纯转债”的议案》，决定行使“至纯转债”的提前赎回权利，对赎回登记日登记在册的“至纯转债”全部赎回。截至赎回登记日（2021年1月25日）收市后，累计转股数量为 11,932,255股，其中2021年1月1日至2021年1月25日期间，累计转股数量为9,893,862 股，公司总股本由2020年12月31日307,804,612股增加至317,698,474股。2021年1月13日，公司召开第三届董事会第四十二次会议，审议通过了《关于首次向激励对象授予第三期股权激励股票期权与限制性股票的议案》，决定向3名激励对象授予43万股限制性股票。2021年1月26日，上述限制性股票在中国证券登记结算有限责任公司上海分公司办理完成登记工作，公司总股本由317,698,474股增加至318,128,474股。

　　公司拟向全体股东每10股派发现金红利1.6383元（含税）。以公司总股本318,128,474股计算合计拟派发现金红利52,118,987.90元（含税）。2020年度公司现金分红比例为20.00%。

　　若在本公告披露之日起至实施权益分派的股权登记期间，因可转债转股、回购股份、股权激励授予股份回购注销、重大资产重组股份回购注销等致使公司总股本发生变动的，公司拟维持分配总额不变，相应调整每股分配比例。如后续总股本发生变化，将另行公告具体调整情况。

　　本次利润分配预案尚需提交股东大会审议。

　　二、本年度现金分红比例低于30%的情况说明

　　报告期内，上市公司盈利260,599,716.15元，母公司累计未分配利润为283,160,770.11元，上市公司拟分配的现金红利总额为52,118,987.90元，占本年度归属于上市公司股东的净利润比例低于30%，具体原因说明如下：

　　随着国内下游厂商对半导体设备需求的增长， 公司将紧跟客户需求，继续投入对半导体湿法工艺设备的研发。同时，随着客户产线的持续运营，公司将对设备相关的电子材料及后续服务进行投入；公司高纯工艺系统、光传感系统业务类似于工程建设项目，回款周期较长，需要公司预留一定的资金，降低因业务发展资金需求而产生的财务风险。

　　三、公司履行的决策程序

　　（一）董事会会议的召开、审议和表决情况

　　公司于2021年4月29日召开第四届董事会第三次会议审议通过了此次利润分配预案，同意本次利润分配方案并同意将该议案提交公司2020年年度股东大会审议。

　　（二）独立董事意见

　　结合公司股本、财务状况、发展计划及资金需求等因素，公司独立董事认为公司2020年度利润分配预案兼顾了股东合理回报及公司可持续发展的需要，现金分红水平具有合理性，符合公司利润分配政策，有利于维护股东的长远利益。同意将该议案提交股东大会审议通过后实施。

　　（三）监事会意见

　　公司2020年度利润分配预案符合《公司法》、《证券法》和《公司章程》中对于分红的相关规定，符合公司股利分配政策，体现了公司对投资者的回报，2020年度利润分配预案具备合法性、合规性及合理性。对关于2020年度利润分配预案无异议。

　　四、相关风险提示

　　1、本次利润分配预案结合了公司发展阶段、未来的资金需求等因素，不会对公司经营现金流产生重大影响，不会影响公司正常经营和长期发展。

　　2、本次利润分配预案尚需提交2020年度股东大会批准，敬请广大投资者注意投资风险。

　　特此公告。

　　上海至纯洁净系统科技股份有限公司董事会

　　2021年4月30日

　　证券代码：603690   证券简称：至纯科技   公告编号：2021-057

　　上海至纯洁净系统科技股份有限公司第四届董事会第三次会议决议公告

　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担个别及连带责任。

　　一、 董事会会议召开情况

　　上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”或“本公司”）董事会已于2021年4月16日向全体董事发出了第四届董事会第三次会议通知，第四届董事会第三次会议于2020年4月29日上午在公司五楼会议室现场召开，会议由董事长、总经理蒋渊女士主持。会议应参加表决董事5名，实际参加表决董事5名。公司监事和其他相关人员列席会议。会议的召开符合《公司法》、《公司章程》的规定，所作决议合法有效。

　　二、 董事会会议审议情况

　　1、审议通过《2020年度总经理工作报告》

　　表决结果：同意4票，反对0票，弃权0票，关联董事蒋渊回避表决。

　　2、审议通过《2020年年度报告》及其摘要

　　表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。

　　本议案尚需提交公司股东大会审议。

　　详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《2020年年度报告》及其摘要。

　　3、审议通过《2021年第一季度报告》及其摘要

　　表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。

　　详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《2021年第一季度报告》及其摘要。

　　4、审议通过《2020年度董事会工作报告》

　　表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。

　　本议案尚需提交公司股东大会审议。

　　详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《2020年度董事会工作报告》。

　　5、审议通过《2020年度独立董事述职报告》

　　表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。

　　详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《2020年度独立董事述职报告》。

　　6、审议通过《2020年度募集资金存放与实际使用情况的专项报告》

　　表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。

　　详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《2020年度募集资金存放与实际使用情况的专项报告》。

　　7、审议通过《2020年度财务决算报告》

　　表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。

　　本议案尚需提交公司股东大会审议。

　　8、审议通过《关于公司2021年度日常关联交易预计的议案》

　　表决结果：同意3票，反对0票，弃权0票，关联董事蒋渊、赵浩回避表决。

　　详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《关于公司2021年度日常关联交易预计的公告》。

　　9、审议通过《关于公司2021年度新增授信及担保额度预计的议案》

　　表决结果：同意4票，反对0票，弃权0票，关联董事赵浩回避表决。

　　本议案尚需提交公司股东大会审议。

　　详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《关于公司2021年度新增授信及担保额度预计的公告》。

　　10、审议通过《关于公司2021年度金融衍生品交易计划的议案》

　　表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。

　　本议案尚需提交公司股东大会审议。

　　详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《关于公司2021年度金融衍生品交易计划的公告》。

　　11、审议通过《2020年度利润分配预案》

　　表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。

　　本议案尚需提交公司股东大会审议。

　　详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《关于2020年度利润分配预案的公告》。

　　12、审议通过《2020年度内部控制评价报告》

　　表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。

　　详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《2020年度内部控制评价报告》。

　　13、审议通过《关于续聘公司2021年度审计机构的议案》

　　表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。

　　本议案尚需提交公司股东大会审议。

　　详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《关于续聘公司2021年度审计机构的公告》。

　　14、审议通过《2020年度董事会审计委员会履职情况报告》

　　表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。

　　详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《2020年度董事会审计委员会履职情况报告》。

　　15、审议通过《2020年度企业社会责任报告》

　　表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。

　　详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《2020年度企业社会责任报告》。

　　16、审议通过《关于计提信用及资产减值准备的议案》

　　表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。

　　本议案尚需提交公司股东大会审议。

　　详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《关于计提信用及资产减值准备的公告》。

　　17、审议通过《关于调整第二期首次授予的股票期权行权价格的议案》

　　表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。

　　详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《关于调整第二期首次授予的股票期权行权价格的公告》。

　　18、审议通过《关于第二期股权激励首次授予的股票期权第一个行权期行权条件成就的议案》

　　表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。

　　详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《关于第二期股权激励首次授予的股票期权第一个行权期行权条件成就的公告》。

　　19、审议通过《关于回购注销第一、二、三期股权激励计划中部分限制性股票、股票期权的议案》

　　表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。

　　详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《关于回购注销第一、二、三期股权激励计划中部分限制性股票、股票期权的公告》。

　　20、审议通过《关于修订<公司章程>的议案》

　　表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。

　　根据《中华人民共和国证券法》的最新修订并结合公司实际，拟对《公司章程》的部分条款进行修订。具体修订条款如下：

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　　本议案尚需提交公司股东大会审议。

　　详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《上海至纯洁净系统科技股份有限公司章程》。

　　21、审议通过《关于修订<信息披露管理制度>的议案》

　　表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。

　　根据《中华人民共和国证券法》、《上市公司信息披露管理办法》的最新修订并结合公司实际，拟对《信息披露管理制度》的部分条款进行修订。具体修订条款如下：

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　　详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《上海至纯洁净系统科技股份有限公司信息披露管理制度》。

　　22、审议通过《关于修订<内幕信息知情人登记管理制度>的议案》

　　表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。

　　根据《中华人民共和国证券法的最新修订并结合公司实际，拟对《内幕信息知情人登记管理制度》的部分条款进行修订。具体修订条款如下：

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　　详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《上海至纯洁净系统科技股份有限公司内幕信息知情人登记管理制度》。

　　23、审议通过《关于修订<控股股东及实际控制人行为规范>的议案》

　　表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。

　　根据《中华人民共和国证券法的最新修订并结合公司实际，拟对《控股股东及实际控制人行为规范》的部分条款进行修订。具体修订条款如下：

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　　详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《上海至纯洁净系统科技股份有限公司控股股东及实际控制人行为规范》。

　　24、审议通过《关于提请召开2020年年度股东大会的议案》

　　表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。

　　公司将于2021年5月20日召开2020年度股东大会，审议此次董事会相关议案。

　　详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《2020年年度股东大会通知》。

　　特此公告。

　　上海至纯洁净系统科技股份有限公司董事会

　　2021年4月30日

　　证券代码：603690   证券简称：至纯科技    公告编号：2021-064

　　上海至纯洁净系统科技股份有限公司关于2020年度计提信用及资产减值准备的公告

　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担个别及连带责任。

　　上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”）第四届董事会第三次会议、第四届监事会第二次会议审议通过了《关于计提信用及资产减值准备的议案》。根据《企业会计准则》及公司会计政策的相关规定，基于谨慎性原则，公司对各项需要计提减值的资产进行了评估，并对预计可收回金额低于其账面价值的各项资产计提减值准备。

　　公司2020年计提各项信用减值准备合计人民币2,549.00万元，资产减值准备404.53万元（其中2020年1-6月共计提信用减值准备人民币1,163.56万元，详见公司于2020年8月31日在上海证券交易所网站披露的公告）。 具体如下：

　　单位：人民币万元

　　■

　　一、计提减值准备对公司的影响

　　2020年公司合并报表计提信用减值准备2,549.00万元，计提资产减值准备404.53万元，减少利润总额2,953.53万元。

　　二、计提信用及资产减值准备的具体说明

　　1、信用减值准备

　　公司于资产负债表日对应收款项预计可收回金额进行判断，无论是否存在重大融资成分，公司均按照整个存续期的预期信用准备计量。当单项应收票据及应收账款无法以合理成本评估预期信用准备的信息时，公司依据信用风险特征将其划分为若干组合，在组合基础上计算预期信用准备。如果有客观证据表明某项应收票据及应收账款已经发生信用减值，则本公司对该应收票据及应收账款单项计提坏账准备并确认预期信用准备。对于划分为组合的应收票据及应收账款，本公司参考历史信用准备经验，结合当前状况以及对未来经济状况的预测，通过违约风险敞口和整个存续期预期信用准备率，计算预期信用准备。当单项其他应收款无法以合理成本评估预期信用准备的信息时，本公司依据信用风险特征将其他应收款划分为若干组合，在组合基础上计算预期信用准备。经测试，2020年计提信用减值准备共计2,549.00万元。

　　2、资产减值准备

　　公司存货成本高于其可变现净值的，计提存货跌价准备，计入当期损益。公司确定存货的可变现净值，以取得的确凿证据为基础，并且考虑持有存货的目的、资产负债表日后事项的影响等因素。为执行销售合同或者劳务合同而持有的存货，其可变现净值以合同价格为基础计算。持有存货的数量多于销售合同订购数量的，超出部分的存货的可变现净值以一般销售价格为基础计算。

　　公司在确定与合同成本有关的资产的减值准备时，首先对按照其他相关企业会计准则确认的、与合同有关的其他资产确定减值准备；然后根据其账面价值高于本公司因转让与资产相关的商品预期能够取得的剩余对价以及为转让该相关商品估计将要发生的成本这两项的差额的，超出部分应当计提减值准备，并确认为资产减值准备。

　　经测试，2020年计提资产减值准备共计404.53万元。

　　三、独立董事关于公司计提减值准备的意见

　　公司本次计提信用及资产减值准备事项是基于谨慎性原则，符合《企业会计准则》和公司相关制度的规定，并履行了相应的决策程序。本次计提信用及资产减值准备能够真实公允地反映公司的实际资产、财务状况。同意本次计提信用及资产减值准备事项。

　　四、审计委员会关于公司计提减值准备的意见

　　审计委员会认为：公司本次计提信用及资产减值准备符合《企业会计准则》和公司会计政策的规定，能够更加真实公允地反映公司2020年度财务状况及经营成果，有助于向投资者提供更加准确的会计信息，不存在损害公司及全体股东特别是中小股东利益的情况。

　　五、监事会关于公司计提减值准备的意见

　　监事会认为：公司本次计提信用及资产减值准备的决策程序合法合规，符合《企业会计准则》及公司相关制度的规定，符合公司实际情况，同意本次计提信用及资产减值准备。

　　特此公告。

　　上海至纯洁净系统科技股份有限公司董事会

　　2021年4月30日

　　证券代码：603690     证券简称：至纯科技       公告编号：2021-065

　　上海至纯洁净系统科技股份有限公司关于调整第二期首次授予的股票期权行权价格的公告

　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担个别及连带责任。

　　上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”）于2021年4月29日召开第四届董事会第三次会议、第四届监事会第二次会议，审议通过了《关于调整第二期首次授予的股票期权行权价格的议案》，现将有关事项说明如下：

　　一、第二期股权激励计划批准及实施情况

　　1、2019年6月26日，公司召开第三届董事会第二十三次会议，审议通过了《关于<上海至纯洁净系统科技股份有限公司第二期股票期权与限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》（以下简称《激励计划（草案）》）、《关于<上海至纯洁净系统科技股份有限公司第二期股票期权与限制性股票激励计划实施考核管理办法>的议案》等相关议案，拟授予200万份股票期权与102万股限制性股票，其中首次授予160万份股票期权与82万份限制性股票，预留部分为40万份股票期权与20万份限制性股票。具体内容详见公司于2019年6月27日发布的《至纯科技关于第二期股票期权与限制性股票激励计划（草案）摘要的公告》（公告编号：2019-043）。

　　2、2019年6月27日至2019年7月6日，公司在内部公示了激励对象名单，公示期满后，监事会对激励对象名单进行了核查并对公示情况进行了说明，具体内容详见公司于2019年7月6日发布的《至纯科技监事会关于公司第二期股权激励对象名单审核及公示情况的说明》（公告编号2019-048）。

　　3、2019年7月12日，公司召开2019年第一次临时股东大会，审议通过了《关于<上海至纯洁净系统科技股份有限公司第二期股票期权与限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》、《上海至纯洁净系统科技股份有限公司第二期股票期权与限制性股票激励计划实施考核管理办法》等议案，具体内容详见公司于2019年7月13日公布的《至纯科技2019年第一次临时股东大会决议公告》（公告编号：2019-056）

　　4、2019年8月30日，公司召开了第三届董事会第二十五次会议，审议通过了《关于调整公司第二期股权激励计划相关事项的议案》、《关于首次向激励对象授予第二期股权激励股票期权与限制性股票的议案》，对激励对象人数及授予权益数量进行调整，并确定本次股权激励首次授予日为2019年8月30日。公司监事会和独立董事对此发表同意意见。具体内容详见公司于2019年8月31日发布的《至纯科技关于调整第二期股权激励计划相关事项的公告》（公告编号：2019-064）、《至纯科技关于首次授予第二期股权激励股票期权与限制性股票的公告》（公告编号：2019-065）。

　　5、2019年9月26日，在中国证券登记结算有限责任公司上海分公司办理完成公司第二期股票期权与限制性股票激励计划首次授予所涉及的股票期权和限制性股票的登记工作。

　　6、2021年4月29日，公司召开了第四届董事会第三次会议，审议通过了《关于调整第二期首次授予的股票期权行权价格的议案》等。因公司实施了2019年度利润分配，分配方案为每股派发现金红利 0.0856 元（含税），故第二期股权激励计划首次授予的股票期权行权价格由18.51元/份调整为18.4244元/份。公司独立董事对此发表了同意的独立意见。

　　二、本次调整公司股票期权行权价格的说明

　　公司于2020年5月21日召开2019年年度股东大会，审议通过了 2019年年度利润分配方案。本次利润分配以实施权益分派股权登记日登记的总股本为基数，向全体股东每10股派发现金红利 0.856 元（含税）。该利润分配方案已于2020年6月29日实施完毕。根据公司《第二期股票期权与限制性股票激励计划》的相关规定，若在行权前有派息、资本公积转增股本、派送股票红利、股票拆细、配股或缩股等事项，应对行权价格进行相应的调整。因此，公司对第二期首次授予的股票期权行权价格进行调整如下：

　　派息：P＝P0-V

　　其中：P0 为调整前的行权价格；V 为每股的派息额；P 为调整后的行权价格。经派息调整后，P仍须大于1。

　　本次调整后：第二期股票期权与限制性股票激励计划首次授予的股票期权行权价格 P=18.51-0.0856=18.4244元/份；

　　三、本次调整对公司业绩的影响

　　本次调整公司第二期首次授予的股票期权行权价格不会对公司的财务状况和经营成果产生实质性影响，也不会影响公司管理团队的勤勉尽职。公司管理团队将继续认真履行工作职责，尽力为股东创造价值。

　　四、独立董事意见

　　独立董事认为：根据公司2019年度权益分派方案及《第二期股票期权与限制性股票激励计划》的规定，第二期股权激励计划首次授予的股票期权行权价格由18.51元/份调整为18.4244元/份。本次调整符合《第二期股票期权与限制性股票激励计划》及相关法律法规的规定，且本次调整已取得股东大会授权、履行了必要的审议程序，符合公司及全体股东的利益。因此，我们同意调整公司第二期首次授予的股票期权的行权价格。

　　五、监事会核查意见

　　公司监事会认为，激励对象获授股票期权后，公司实施了2019年度权益分派，董事会根据公司股东大会的授权及《第二期股票期权与限制性股票激励计划》的规定，对公司第二期首次授予的股票期权行权价格进行调整，调整程序合法合规。监事会同意本次对公司第二期首次授予的股票期权行权价格的调整。

　　六、法律意见书的结论性意见

　　上海博行律师事务所认为，公司调整股票期权的行权价格已获得必要的授权和批准；符合《上市公司股权激励管理办法》、《第二期股票期权与限制性股票激励计划》的相关规定。

　　特此公告。

　　上海至纯洁净系统科技股份有限公司董事会

　　2021年4月30日

　　证券代码：603690   证券简称：至纯科技    公告编号：2021-067

　　上海至纯洁净系统科技股份有限公司关于第二期股权激励首次授予的股票期权第一个行权期采用自主行权的提示性公告

　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担个别及连带责任。

　　上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”）于2021年4月29日召开第四届董事会第三次会议、第四届监事会第二次会议，根据公司2019年第一次临时股东大会的授权，审议通过了《关于第二期股权激励首次授予的股票期权第一个行权期行权条件成就的议案》。公司第二期股权激励首次授予的股票期权第一个行权期采用自主行权模式行权，主要安排如下：

　　1、行权期内，公司激励对象在符合规定的有效期内可通过主办券商中信建投证券股份有限公司系统自主进行申报行权

　　2、行权数量：40.2万份

　　若在行权前公司资本公积转增股本、派送股票红利、股票拆细、配股、缩股等事项，股权期权数量将进行相应调整。

　　3、行权人数：18人

　　4、行权价格：18.4244元/股

　　若在行权前公司有派息、资本公积转增股本、派送股票红利、股份拆细、配股或缩股等事项，行权价格将进行相应调整。

　　5、行权方式：自主行权

　　6、股票来源：公司向激励对象定向增发的 A 股普通股

　　7、行权安排：行权截止日为2022年2月28日，行权所得股票可于行权日（T日）后的第二个交易日（T+2）日上市交易。公司董事会将根据政策规定的行权窗口期确定行权日。

　　8、本次行权对象名单及行权情况

　　■

　　注：实际行权数量以中国证券登记结算有限责任公司上海分公司登记为准。

　　9、可行权日必须为交易日，但不得在下列期间内行权：

　　（1）公司定期报告公告前30日内，因特殊原因推迟定期报告公告日期的，自原预约公告日前30日起算，至公告前1日；

　　（2）公司业绩预告、业绩快报公告前10日内；

　　（3）自可能对公司股票及其衍生品种交易价格产生较大影响的重大事件发生之日或者进入决策程序之日，至依法披露后2个交易日内；

　　（4）中国证监会及证券交易所规定的其他期间。

　　10、公司将在定期报告中或以临时报告形式披露每季度股权激励对象变化、股票期权重要参数调整情况、激励对象自主行权情况以及公司股份变化情况等信息。

　　特此公告。

　　上海至纯洁净系统科技股份有限公司董事会

　　2021年4月30日

　　证券代码：603690   证券简称：至纯科技   公告编号：2021-069

　　上海至纯洁净系统科技股份有限公司关于回购注销部分限制性股票减少注册资本通知债权人的公告

　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担个别及连带责任。

　　上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”）回购注销第一期限制性股票激励计划部分限制性股票的相关议案，已经2021年4月29日召开的公司第四届董事会第三次会议审议通过，详见刊登于2021年4月30日上海证券交易所网站（http://www.sse.con.cn）的相关公告。根据回购议案，公司将回购第一期限制性股票激励计划预留授予部分中离职激励对象1人已授予尚未解除限售的限制性股票3万股并向中国证券登记结算有限责任公司上海分公司申请注销该部分股票。本次回购注销完成后，公司总股本将减少3万股，公司注册资本也相应减少3万元。

　　公司本次回购注销部分股权激励限制性股票将导致注册资本减少，根据《中华人民共和国公司法》等相关法律、法规的规定，公司特此通知债权人，债权人自本公告之日起四十五日内，有权要求公司清偿债务或者提供相应的担保。债权人未在规定期限内行使上述权利的，本次回购注销将按法定程序继续实施。公司债权人如要求公司清偿债务或提供相应担保的，应根据《中华人民共和国公司法》等法律、法规的有关规定向公司提出书面要求，并随附有关证明文件。

　　债权申报所需材料：公司债权人可持证明债权债务关系存在的合同、协议及其他凭证的原件及复印件到公司申报债权。债权人为法人的，需同时携带法人营业执照副本原件及复印件、法定代表人身份证明文件；委托他人申报的，除上述文件外，还需携带法定代表人授权委托书和代理人有效身份证的原件及复印件。债权人为自然人的，需同时携带有效身份证的原件及复印件；委托他人申报的，除上述文件外，还需携带授权委托书和代理人有效身份证件的原件及复印件。

　　债权申报具体方式如下：

　　1、债权申报登记地点：上海市闵行区紫海路170号

　　2、申报时间： 2020年4月30日起 45 天内（9:00-11:30; 13:30-17:00）

　　3、联系人：证券部

　　4、联系电话：021-80238290

　　特此公告。

　　上海至纯洁净系统科技股份有限公司董事会

　　2021年4月30日

　　证券代码：603690   证券简称：至纯科技       公告编号：2021-073

　　上海至纯洁净系统科技股份有限公司关于股东部分股份解除质押的公告

　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担个别及连带责任。

　　重要内容提示:

　　●上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”）控股股东之一蒋渊女士本次解除质押股份6,970,000股,占其所持公司股份的9.84%，占公司股份总数的2.19%。

　　●本次部分股份解除质押前，蒋渊女士持有公司70,802,240股非限售流通股，占公司股份总数的22.26%，累计质押股份数量为35,749,891股，占其所持公司股份的50.49%；公司控股股东、实际控制人蒋渊女士及其一致行动人陆龙英女士、共青城尚纯科技产业投资合伙企业（有限合伙）（以下简称“尚纯投资”）合计持有公司99,886,403股非限售流通股，占公司股份总数的31.40%，累计质押股份数量为35,749,891股，占其合计所持公司股份的35.79%，占公司股份总数的11.24%。

　　●本次部分股份解除质押后，蒋渊女士累计质押公司股份28,779,891股，占其所持公司股份的40.65%，占公司股份总数的9.05%；公司控股股东、实际控制人蒋渊女士及其一致行动人陆龙英女士、尚纯投资合计质押股份数量为28,779,891股，占其合计所持公司股份的28.81%，占公司股份总数的9.05%。

　　公司于近日获悉，公司控股股东蒋渊女士将其已质押的部分非限售流通股解除质押。

　　蒋渊女士部分股份解质押的具体情况如下：

　　■

　　对于后续的质押或解质押计划，公司将按照相关规定及时进行信息披露。

　　特此公告。

　　上海至纯洁净系统科技股份有限公司董事会

　　2021年4月30日

　　证券代码：603690    证券简称：至纯科技      公告编号：2021-074

　　上海至纯洁净系统科技股份有限公司关于2020年度现金分红比例低于30%的情况说明

　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担个别及连带责任。

　　重要内容提示:

　　●2020年度现金分红比例低于30%主要由于公司将继续投入半导体湿法工艺设备及与设备相关的电子材料、后续服务，公司高纯工艺系统、光传感系统业务回款周期较长，需要公司预留一定的资金，降低因业务发展资金需求而产生的财务风险。

　　一、本年度现金分红比例低于30%的情况说明

　　报告期内，上市公司盈利260,599,716.15元，母公司累计未分配利润为283,160,770.10元，上市公司拟分配的现金红利总额为52,118,987.90元，占本年度归属于上市公司股东的净利润比例低于30%，具体原因说明如下：

　　（一）上市公司所处行业情况及特点

　　公司的主营业务主要包括高纯工艺系统的研发、生产和销售；半导体湿法清洗设备研发、生产和销售；光传感应用及相关光学元器件的研发、生产和销售。其中，高纯工艺系统集成业务及光传感及光器件占公司主营业务收入的比例较高，合计达到84.40%，该两项业务回款周期较长，均为一年及一年以上水平，因此公司在开展业务的过程中，需要预留充裕的周转资金。

　　■

　　（二）上市公司发展阶段和自身经营模式

　　公司自2017年上市以来，适逢半导体行业高速发展阶段，公司也以高纯工艺集成系统为切入点进入半导体行业，逐步向半导体设备业务延伸，并通过并购子公司上海波汇科技有限公司，拓展了光传感及光器件领域的业务，实现了连年高速增长。2016年至2020年，公司营业收入年复合增长率为51.77%，符合成长型企业的增长水平。

　　为把握行业历史机遇，延续增长趋势，公司一方面持续扩大业务，增加存货与订单规模，另一方面积极投入研发，促进技术成果转化。

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　　（三）上市公司盈利水平及资金需求

　　2020年，尽管疫情对全球范围内的企业经营都带来一定程度的影响，公司仍按既定目标取得成绩并持续健康发展。报告期内，公司半导体板块业务持续力，光传感光电子

　　公司代码：603690                                                  公司简称：至纯科技

　　上海至纯洁净系统科技股份有限公司