本公司监事会及全体监事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担个别及连带责任。

　　重要内容提示：

　　●被担保人名称：江苏启微半导体设备有限公司（以下简称“启微半导体”）

　　●本次担保金额及累计为其提供的担保余额：本次因公司控股子公司启微半导体向银行申请贷款事宜，公司与南京银行股份有限公司启东支行签订了《最高额保证合同》；本次公司为启微半导体提供担保金额为2,000.00万元人民币。本次担保事项后，公司已累计为启微半导体提供担保金额为19,060.09万元，在公司2020年年度股东大会批准的担保额度范围内。

　　●本次担保是否有反担保：无

　　一、担保情况概述

　　经上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”或“本公司”）2020年年度股东大会审议通过，同意公司2021年度为控股子公司申请授信提供总额不超过4.5亿元的担保。详情请见公司分别于2021年4月30日和2021年5月21日在上海证券交易所网站（www.sse.com）披露的《关于2021年度新增授信及担保额度预计的公告》（公告编号：2021-060）和《2020年年度股东大会决议公告》（公告编号：2021-077）。

　　近日，就公司控股子公司启微半导体向银行申请贷款事宜，公司与南京银行股份有限公司启东支行签订了《最高额保证合同》；本次公司为启微半导体提供担保金额为2,000万元人民币。本次担保事项后，公司已累计为启微半导体提供担保金额为19,060.09万元，在公司2020年年度股东大会批准的担保额度范围内。

　　二、被担保人基本情况

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　　上述数据系启微半导体2020年度财务数据，以上数据已经审计。

　　三、担保协议主要内容

　　1、合同签署人

　　保证人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司

　　债权人：南京银行股份有限公司启东支行

　　债务人：江苏启微半导体设备有限公司

　　2、担保额度：2,000.00万元

　　3、保证方式：连带责任保证

　　4、担保范围：主债权及其利息（包括复利和罚息）、违约金、损害赔偿金、主合同项下债务人应付的其他款项以及甲方为实现债权而发生的费用。

　　5、保证期间：合同债权确定期间为2021年8月25日至2022年8月24日，保证期间为主合同项下债务人每次使用授信额度而发生的债务履行期限届满之日起三年。

　　四、履行的相关程序

　　本次担保事项已经公司2020年年度股东大会审议通过，详见公司于2021年5月21日在上海证券交易所网站《2020年年度股东大会决议公告》（公告编号：2021-077）。

　　五、公司累计对外担保情况

　　截至本公告日，本次新增担保后，公司实际对外担保总额为65,852.74万元人民币，占上市公司2020年度经审计归属于上市公司股东净资产的20.96%。截至目前，公司不存在对全资及控股子公司以外的担保对象提供担保的情形，公司及控股子公司不存在逾期担保的情形。

　　特此公告。

　　上海至纯洁净系统科技股份有限公司

　　董事会

　　2021年9月7日