本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　本公告所载中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）2020年度主要财务数据为初步核算数据，未经会计师事务所审计，具体数据以公司2020年年度报告中披露的数据为准，提请投资者注意投资风险。

　　一、2020年度主要财务数据和指标

　　单位： 万元

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　　注：1、本报告期初数同法定披露的上年年末数。

　　2、以上财务数据及指标以合并报表数据填列，但未经审计，最终结果以公司2020年年度报告为准。

　　二、经营业绩和财务状况情况说明

　　（一）报告期的经营情况、财务状况及影响经营业绩的主要因素

　　1、报告期的经营情况、财务状况

　　报告期内，公司实现营业收入227,329.19万元，较上年同期增长16.76%;归属于母公司所有者的净利润49,219.92万元，较上年同期增长161.02%；归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净利润为2,331.94万元，较上年同期减少84.19%。于报告期末，公司总资产为580,087.69万元，较报告期初增加21.51%；归属于母公司的所有者权益436,893.42万元，较报告期初增加16.47%。

　　2、影响经营业绩的主要因素

　　（1）2020年，公司营业收入为22.73亿元，同比增长16.76%，其中受益于半导体设备市场发展及公司产品竞争优势，公司2020年刻蚀设备收入为12.89亿元，同比增长约58.49%；由于市场原因，公司2020年MOCVD设备收入为4.96亿元，同比下降约34.47%。

　　（2）公司2020年投资青岛聚源芯星股权投资合伙企业（有限合伙）3亿元而间接持有中芯国际集成电路制造有限公司（以下简称“中芯国际”）科创板股票，因中芯国际股价变动导致公司产生公允价值变动收益约2.62亿元。

　　（二）财务指标增减变动幅度达30%以上的主要原因说明

　　1.营业利润、利润总额和归属于母公司所有者的净利润较上年同期分别增长164.54%、162.85%和161.02%，主要系：（1）上述中芯国际科创板股票投资公允价值变动收益约2.62亿元；（2）公司2020年计入非经常性损益的政府补助较2019年增加约2.26亿元。

　　2.归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净利润较上年同期减少84.04%，主要系公司2020年因实施股权激励计划产生股份支付费用约1.24亿元（属于经常性损益），2019年无该类费用发生。若剔除股份支付费用的影响，2020年归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净利润约为1.47亿元，较上年同期约减少0.43%。

　　三、风险提示

　　本公告所载2020年度主要财务数据为初步核算数据，未经会计师事务所审计，具体数据以公司2020年年度报告中披露的数据为准，提请投资者注意投资风险。

　　特此公告。

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会

　　2021年2月25日